[發(fā)明專利]轉(zhuǎn)盤(pán)式集成電路芯片搬運(yùn)裝置用真空分配模塊及搬運(yùn)裝置

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910072024.0
• 申請(qǐng)日: 2019-01-25
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN109625961A
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-04-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 蘆俊;潘小華
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇信息職業(yè)技術(shù)學(xué)院
• 主分類號(hào): B65G47/91
• 分類號(hào): B65G47/91
• 代理公司: 南京天翼專利代理有限責(zé)任公司 32112
• 代理人: 王秀娟

1.一種轉(zhuǎn)盤(pán)式集成電路芯片搬運(yùn)裝置用真空分配模塊，包括真空吸盤(pán)，其特征在于，所述真空吸盤(pán)上設(shè)有若干按壓式真空吸筆，所述真空吸筆沿真空吸盤(pán)周向均勻分布，吸口朝下；真空吸盤(pán)的上側(cè)設(shè)有真空分配倉(cāng)，所述真空分配倉(cāng)通過(guò)氣管與各真空吸筆連通；所述真空分配倉(cāng)包括真空倉(cāng)上蓋板及真空倉(cāng)下蓋板，真空倉(cāng)上蓋板設(shè)有若干貫穿板厚的第一真空通孔，所述第一真空通孔沿真空倉(cāng)蓋板圓周方向均勻分布；真空倉(cāng)下蓋板設(shè)有第二真空通孔，第二真空通孔的孔道成L型，由豎直孔道及水平孔道組成，豎直孔道的上端延伸至真空倉(cāng)下蓋板的上表面與第一真空通孔一一對(duì)應(yīng)；水平孔道沿真空倉(cāng)下蓋板徑向均勻分布，其末端延伸至真空倉(cāng)下蓋板的外周面；真空倉(cāng)上蓋板與真空倉(cāng)下蓋板轉(zhuǎn)動(dòng)密封連接，真空倉(cāng)下蓋板與真空吸盤(pán)固定連接；真空倉(cāng)上蓋板、真空倉(cāng)下蓋板及真空吸盤(pán)的中心部軸向設(shè)有一一對(duì)應(yīng)的中心通孔。

2.如權(quán)利要求1所述的真空分配模塊，其特征在于，所述第一真空通孔為上小下大的階梯通孔，所述第二真空通孔的豎直孔道呈上大下小的階梯狀，兩階梯孔的大孔相對(duì)。

3.如權(quán)利要求1或2所述的真空分配模塊，其特征在于，真空倉(cāng)上蓋板的第一真空通孔的進(jìn)氣口及第二真空通孔的出氣口設(shè)有氣管接頭。

4.如權(quán)利要求1所述的真空分配模塊，其特征在于，所述真空倉(cāng)還包括真空倉(cāng)連接板，真空倉(cāng)連接板設(shè)有若干貫穿板厚的第三真空通孔及連接板安裝孔，第三真空通孔與第二真空通孔的豎直孔道一一對(duì)應(yīng)，連接板安裝孔與真空倉(cāng)下蓋板的中心通孔對(duì)應(yīng)；真空倉(cāng)連接板與真空倉(cāng)下蓋板通過(guò)螺釘連接為一體，真空倉(cāng)連接板與真空倉(cāng)上蓋板轉(zhuǎn)動(dòng)密封連接，真空倉(cāng)連接板采用高分子耐磨自潤(rùn)滑材料制成，真空倉(cāng)上蓋板采用Cr12MoV制成并進(jìn)行熱處理至HRC60。

5.如權(quán)利要求4所述的真空分配模塊，其特征在于，所述真空倉(cāng)下蓋板采用鋁合金材料制成，連接板的螺紋孔鑲嵌鋼制牙套。

6.如權(quán)利要求4所述的真空分配模塊，其特征在于，所述第一真空通孔為上小下大的階梯通孔，所述第三真空通孔為上大下小的階梯通孔，兩階梯孔的大孔相對(duì)。

7.如權(quán)利要求1所述的真空分配模塊，其特征在于，所述真空吸筆包括吸筆、吸筆限位塊、吸筆夾持塊及復(fù)位彈簧；吸筆限位塊安裝在真空吸盤(pán)的下側(cè)面，吸筆夾持塊通過(guò)導(dǎo)向柱與吸筆限位塊連接，吸筆夾持塊上設(shè)有第一通氣孔，所述第一通氣孔與氣管連通；吸筆可活動(dòng)設(shè)于吸筆夾持塊中，吸筆中設(shè)有真空腔及第二通氣孔，第二通氣孔與真空腔相通；吸筆中真空與空壓的有無(wú)通過(guò)電磁閥切換從真空分配倉(cāng)獲得。

8.一種轉(zhuǎn)盤(pán)式集成電路芯片搬運(yùn)裝置，其特征在于，包括轉(zhuǎn)臺(tái)伺服電機(jī)、真空倉(cāng)安裝板、獨(dú)立下壓機(jī)構(gòu)，及如權(quán)利要求1～7任意一項(xiàng)所述的真空分配模塊；轉(zhuǎn)臺(tái)伺服電機(jī)的中心設(shè)有固定軸，固定軸穿過(guò)真空吸盤(pán)、真空分配倉(cāng)的中心通孔與真空倉(cāng)安裝板固定連接，真空倉(cāng)安裝板上設(shè)有電磁閥組，電磁閥組用于真空倉(cāng)與外部真空系統(tǒng)及空壓系統(tǒng)的切換連接，伺服電機(jī)的轉(zhuǎn)子與真空吸盤(pán)固定連接驅(qū)動(dòng)真空吸盤(pán)做360°轉(zhuǎn)動(dòng)，獨(dú)立下壓機(jī)構(gòu)安裝在真空倉(cāng)安裝板上，其下壓桿正對(duì)真空吸筆，獨(dú)立下壓機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)真空吸筆下壓。

9.如權(quán)利要求8所述的搬運(yùn)裝置，其特征在于，所述真空分配模塊的真空倉(cāng)上蓋板通過(guò)兩根定位銷與真空倉(cāng)安裝板固定連接，真空倉(cāng)上蓋板與真空倉(cāng)安裝板之間設(shè)有螺旋壓縮彈簧，螺旋壓縮彈簧的一端抵靠真空倉(cāng)安裝板的下側(cè)面，另一端抵靠真空倉(cāng)上蓋板。

10.如權(quán)利要求8所述的搬運(yùn)裝置，其特征在于，所述獨(dú)立下壓機(jī)構(gòu)包括支架、凸輪、下壓桿及下壓伺服電機(jī)，下壓伺服電機(jī)通過(guò)支架固定在真空倉(cāng)安裝板上，下壓伺服電機(jī)的輸出軸與凸輪固定連接，下壓桿可活動(dòng)安裝在支架上，下壓桿的頂面與凸輪的回轉(zhuǎn)面貼合連接，伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)凸輪轉(zhuǎn)動(dòng)，凸輪帶動(dòng)下壓桿做上下直線運(yùn)動(dòng)。