[發(fā)明專(zhuān)利]物理量傳感器、電子設(shè)備以及移動(dòng)體

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910071638.7
• 申請(qǐng)日: 2019-01-25
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN110082565B
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-11-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 柳澤良直
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 精工愛(ài)普生株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): G01P15/125
• 分類(lèi)號(hào): G01P15/125
• 代理公司: 北京康信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11240
• 代理人: 玉昌峰;吳孟秋

1.一種物理量傳感器，其特征在于，包括：

傳感器元件；

半導(dǎo)體電路；以及

基板，安裝有所述傳感器元件和所述半導(dǎo)體電路，并設(shè)置有串行通信用布線(xiàn)，

所述傳感器元件與所述半導(dǎo)體電路層疊，

在俯視所述傳感器元件時(shí)，相對(duì)于穿過(guò)所述傳感器元件的中心的假想中心線(xiàn)，連接所述傳感器元件與所述半導(dǎo)體電路的電連接部配置在所述串行通信用布線(xiàn)的相反側(cè)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的物理量傳感器，其特征在于，

在所述俯視下，相對(duì)于所述假想中心線(xiàn)，在所述串行通信用布線(xiàn)的所述相反側(cè)設(shè)置有GND布線(xiàn)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的物理量傳感器，其特征在于，

所述GND布線(xiàn)設(shè)置于所述基板。

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的物理量傳感器，其特征在于，

所述串行通信用布線(xiàn)包括主機(jī)輸入從機(jī)輸出用布線(xiàn)、從機(jī)輸入主機(jī)輸出用布線(xiàn)以及串行時(shí)鐘線(xiàn)用布線(xiàn)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的物理量傳感器，其特征在于，

所述串行通信用布線(xiàn)通過(guò)填充于貫通所述基板的貫通孔的導(dǎo)電體與設(shè)置于所述基板相反側(cè)的面的端子電連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的物理量傳感器，其特征在于，

所述傳感器元件與所述半導(dǎo)體電路之間的連接方法是倒裝芯片安裝。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的物理量傳感器，其特征在于，

所述物理量傳感器包括GND平面布線(xiàn)，所述GND平面布線(xiàn)與安裝有所述基板的所述傳感器元件和半導(dǎo)體電路的面分離設(shè)置。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的物理量傳感器，其特征在于，

在從所述傳感器元件與所述半導(dǎo)體電路重合方向的俯視下，所述GND平面布線(xiàn)配置為與所述傳感器元件重合。

9.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的物理量傳感器，其特征在于，

所述基板是層疊多個(gè)基板的層疊基板。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的物理量傳感器，其特征在于，

所述層疊基板的層疊數(shù)為三層。

11.根據(jù)權(quán)利要求7所述的物理量傳感器，其特征在于，

所述物理量傳感器包括：

環(huán)狀基板，在安裝有所述基板的所述傳感器元件和半導(dǎo)體電路的面使所述傳感器元件和所述半導(dǎo)體電路環(huán)繞在內(nèi)側(cè)并層疊；以及

蓋，具有導(dǎo)電性，以使由所述基板和所述環(huán)狀基板構(gòu)成的凹陷部成為封閉空間的方式，密封所述凹陷部的開(kāi)口部。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的物理量傳感器，其特征在于，

所述蓋與所述GND平面布線(xiàn)經(jīng)由形成于設(shè)置在所述基板以及所述環(huán)狀基板的側(cè)面的堞形結(jié)構(gòu)的導(dǎo)電層或者填充在貫通所述環(huán)狀基板的孔中的導(dǎo)電體而電連接。

13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的物理量傳感器，其特征在于，

在形成于所述基板的多個(gè)布線(xiàn)中，模擬用布線(xiàn)的寬度大于信號(hào)用布線(xiàn)的寬度。

14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的物理量傳感器，其特征在于，

在將所述模擬用布線(xiàn)的寬度設(shè)為L(zhǎng)1，將所述信號(hào)用布線(xiàn)的寬度設(shè)為L(zhǎng)2時(shí)，滿(mǎn)足L1/L2≥2。

15.一種電子設(shè)備，其特征在于，具備：

權(quán)利要求1至14中任一項(xiàng)所述的物理量傳感器；

控制部，基于從所述物理量傳感器輸出的檢測(cè)信號(hào)進(jìn)行控制；以及

校正部，對(duì)所述檢測(cè)信號(hào)進(jìn)行校正。

16.一種移動(dòng)體，其特征在于，具備：

權(quán)利要求1至14中任一項(xiàng)所述的物理量傳感器；以及

姿態(tài)控制部，基于從所述物理量傳感器輸出的檢測(cè)信號(hào)進(jìn)行姿態(tài)控制。