[發明專利]用于周期性樣式的異常檢測

有效

• 申請號: 201910067930.1
• 申請日: 2019-01-24
• 公開（公告）號: CN111476938B
• 公開（公告）日: 2023-04-28
• 發明（設計）人: 張兆禮;馬衛民;楊康康;趙焱
• 申請（專利權）人: 中科晶源微電子技術（北京）有限公司
• 主分類號: G07D7/202
• 分類號: G07D7/202
• 代理公司: 北京匯知杰知識產權代理有限公司 11587
• 代理人: 楊彥鴻;張婷婷

本發明提供了用于周期性樣式的基于圖像的異常檢測的方法、裝置以及系統。該方法包括：接收從檢驗圖像確定的圖像樣式(T)，其中，該圖像樣式(T)包括沿著空間方向的多個周期性片段；處理器通過以第一方式重新排列圖像樣式(T)的多個周期性片段，從而確定第一參考樣式(R1)，并且，通過以第二方式重新排列圖像樣式(T)的多個周期性片段，從而確定第二參考樣式(R2)；通過將圖像樣式(T)的一部分與第一參考樣式(R1)的一部分和第二參考樣式(R2)的一部分相比較，從而確定圖像樣式(T)中是否存在異常；以及基于圖像樣式(T)的一部分與第一參考樣式(R1)的一部分和第二參考樣式(R2)的一部分不同，確定圖像樣式(T)中存在異常。

技術領域

本公開涉及用于周期性樣式的異常檢測的領域，尤其是，涉及用于圖像的周期性樣式的異常檢測。

背景技術

周期性樣式存在于許多制造流程中，例如印刷品(例如，鈔票、文章、票據或賬本)或者已制成的半導體設備(例如，集成電路的裸片或掩模)。周期性樣式被期望在制造流程中重復，且沒有任何誤差或缺陷，但是，由于流程的限制，難以在最終產品中避免缺陷。能夠使用光學或電子束檢驗設備，以在周期性樣式中檢測缺陷。能夠對試樣的表面進行掃描，以產生檢驗圖像。能夠使用圖像處理方法以從檢驗圖像檢驗并識別潛在缺陷。

檢驗圖像通常包括在空間中周期性地重復的圖像單元(或者被稱為“周期”或“周期性片段”)。例如，對于鈔票印刷而言，已印制的未裁開的鈔票紙(banknote?sheet)包括多個已印制的鈔票，檢驗圖像中的、代表鈔票紙中的鈔票的樣式能夠為一個周期性片段。再例如，對于包括多個重復的單元結構的集成電路而言，檢驗圖像中的代表集成電路的單元結構的樣式能夠為一個周期性片段。

異常是不同的周期之間的不一致的樣式特征，并能夠存在于周期性樣式中。異常能夠表示目標特征或缺陷。因此，期望一種檢測周期性樣式中的異常的方法。為了檢測這種異常，能夠產生參考樣式，并將其與周期性樣式相比。在處理期間，通常按照具有有限的長度的單元對周期性樣式進行處理。

發明內容

本文公開了用于周期性樣式的基于圖像的異常檢測的方法、裝置以及系統的實施方式。

在一個方面，公開了一種用于周期性樣式的基于圖像的異常檢測的方法。該方法，包括：接收從檢驗圖像確定的圖像樣式(T)，其中，該圖像樣式(T)包括沿著空間方向的多個周期性片段；處理器通過以第一方式重新排列所述圖像樣式(T)的多個周期性片段，從而確定第一參考樣式(R1)，并且，通過以第二方式重新排列所述圖像樣式(T)的多個周期性片段，從而確定第二參考樣式(R2)；通過將所述圖像樣式(T)的一部分與所述第一參考樣式(R1)的一部分和所述第二參考樣式(R2)的一部分相比較，從而確定所述圖像樣式(T)中是否存在異常；以及基于所述圖像樣式(T)的一部分與所述第一參考樣式(R1)的一部分和所述第二參考樣式(R2)的一部分不同，確定所述圖像樣式(T)中存在異常。

在另一方面，公開了一種用于周期性樣式的基于圖像的異常檢測的裝置。該裝置包括處理器和存儲器。該存儲器連接至所述處理器，并配置成存儲指令，該指令在被所述處理器執行時，與所述處理器一起運行，從而進行以下步驟：接收從檢驗圖像確定的圖像樣式(T)，其中，該圖像樣式(T)包括沿著空間方向的多個周期性片段；通過以第一方式重新排列所述圖像樣式(T)的多個周期性片段，從而確定第一參考樣式(R1)，并且，通過以第二方式重新排列所述圖像樣式(T)的多個周期性片段，從而確定第二參考樣式(R2)；以及在將所述圖像樣式(T)的一部分與所述第一參考樣式(R1)的一部分和所述第二參考樣式(R2)的一部分相比較之后，基于所述圖像樣式(T)的一部分與所述第一參考樣式(R1)的一部分和所述第二參考樣式(R2)的一部分不同，確定所述圖像樣式(T)中存在異常。