[發明專利]用于周期性樣式的異常檢測

有效

• 申請號: 201910067930.1
• 申請日: 2019-01-24
• 公開（公告）號: CN111476938B
• 公開（公告）日: 2023-04-28
• 發明（設計）人: 張兆禮;馬衛民;楊康康;趙焱
• 申請（專利權）人: 中科晶源微電子技術（北京）有限公司
• 主分類號: G07D7/202
• 分類號: G07D7/202
• 代理公司: 北京匯知杰知識產權代理有限公司 11587
• 代理人: 楊彥鴻;張婷婷

1.一種用于周期性樣式的基于圖像的異常檢測的方法，包括：

接收從檢驗圖像確定的圖像樣式(T)，其中，該圖像樣式(T)包括沿著空間方向的多個周期性片段；

處理器通過以第一方式重新排列所述圖像樣式(T)的多個周期性片段，從而確定第一參考樣式(R1)，并且，通過以第二方式重新排列所述圖像樣式(T)的多個周期性片段，從而確定第二參考樣式(R2)；其中，所述第一參考樣式(R1)和所述第二參考樣式(R2)包括與所述圖像樣式(T)相同數量的片段，所述第一參考樣式(R1)包括從所述圖像樣式(T)的第一組連續周期性片段復制的第一部分和從所述圖像樣式(T)的第二組連續周期性片段復制的第二部分，所述第二參考樣式(R2)包括從所述圖像樣式(T)的第三組連續周期性片段復制的第三部分和從所述圖像樣式(T)的第四組連續周期性片段復制的第四部分，所述第一組連續周期性片段、所述第二組連續周期性片段、所述第三組連續周期性片段、以及所述第四組連續周期性片段是所述圖像樣式(T)的不同的周期性片段；

通過將所述圖像樣式(T)的一部分與所述第一參考樣式(R1)的一部分和所述第二參考樣式(R2)的一部分相比較，從而確定所述圖像樣式(T)中是否存在異常；以及

基于所述圖像樣式(T)的一部分與所述第一參考樣式(R1)的一部分和所述第二參考樣式(R2)的一部分不同，確定所述圖像樣式(T)中存在異常。

2.如權利要求1所述的方法，其中，

所述圖像樣式(T)的第一個片段與所述第一參考樣式(R1)的第一部分的第一個片段和所述第二參考樣式(R2)的第三部分的第一個片段對齊，所述圖像樣式(T)的最后一個片段與所述第一參考樣式(R1)的第二部分的最后一個片段和所述第二參考樣式(R2)的第四部分的最后一個片段對齊。

3.如權利要求1所述的方法，其中，所述圖像樣式(T)包括n個周期性片段，n是大于1的整數，

所述第一組連續周期性片段包括所述圖像樣式(T)的n₁個連續周期性片段，不包括所述圖像樣式(T)的第一個周期性片段，n₁是正整數，

所述第二組連續周期性片段包括所述圖像樣式(T)的(n-n₁)個連續周期性片段，不包括所述圖像樣式(T)的最后一個周期性片段，

所述第三組連續周期性片段包括所述圖像樣式(T)的n₂個連續周期性片段，不包括所述圖像樣式(T)的最初兩個周期性片段，n₂是正整數，

所述第四組連續周期性片段包括所述圖像樣式(T)的(n-n₂)個連續周期性片段，不包括所述圖像樣式(T)的最后兩個周期性片段。

4.如權利要求3所述的方法，其中，所述第一組連續周期性片段包括所述圖像樣式(T)的第(m₁+1)個周期性片段至第(m₁+n₁)個周期性片段，m₁是小于或等于n₁的正整數，n₁小于或等于(n-m₁)，

所述第二組連續周期性片段包括所述圖像樣式(T)的第(n₁-m₁+1)個周期性片段至第(n-m₁)個周期性片段，

所述第三組連續周期性片段包括所述圖像樣式(T)的第(m₂+1)個周期性片段至第(m₂+n₂)個周期性片段，m₂是小于或等于n₂且與m₁不同的正整數，n₂小于或等于(n-m₂)，

所述第四組連續周期性片段包括所述圖像樣式(T)的第(n₂-m₂+1)個周期性片段至第(n-m₂)個周期性片段。