[發明專利]一種觸控傳感器的制備方法有效
| 申請號： | 201910067496.7 | 申請日： | 2019-01-24 |
| 公開（公告）號： | CN109799934B | 公開（公告）日： | 2022-06-28 |
| 發明（設計）人： | 周群飛;焦超 | 申請（專利權）人： | 藍思科技（長沙）有限公司 |
| 主分類號： | G06F3/044 | 分類號： | G06F3/044;C23C14/24;C23C14/04 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人： | 羅滿 |
| 地址： | 410100 湖南省長*** | 國省代碼： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 傳感器 制備 方法 | ||
1.一種觸控傳感器的制備方法，其特征在于，包括：
通過真空熱蒸鍍工藝在基板表面的可視區域設置導電膜層；其中，所述導電膜層包括多個用于感應觸碰區域的導電單元；
通過真空熱蒸鍍工藝在所述基板表面的非可視區域設置與所述導電單元電連接的引線，以制成所述觸控傳感器；
所述通過真空熱蒸鍍工藝在基板表面的可視區域設置導電膜層包括：
通過真空熱蒸鍍工藝在基板表面的可視區域設置所述導電膜層；其中，位于第一區域的所述導電單元沿第一方向相互串聯；
通過真空熱蒸鍍工藝在所述導電膜層表面設置隔離層；其中，所述隔離層包括多個隔離橋，所述隔離橋的兩端分別與沿第二方向相鄰的第二區域的所述導電單元相接觸；
通過真空熱蒸鍍工藝在所述隔離層表面設置連接層；其中，所述連接層包括多個連接線，所述連接線位于所述隔離橋背向所述基板一側表面，所述連接線的兩端分別與沿所述第二方向相鄰的所述第二區域的所述導電單元電連接。
2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，在所述通過真空熱蒸鍍工藝在所述基板表面的非可視區域設置與所述導電單元電連接的引線之前，所述方法還包括：
在所述基板表面的非可視區域設置遮擋層。
3.根據權利要求2所述的方法，其特征在于，所述在所述基板表面的非可視區域設置遮擋層包括：
通過黃光工藝在所述基板表面的非可視區域設置遮擋層。
4.根據權利要求3所述的方法，其特征在于，所述遮擋層為油墨層。
5.根據權利要求3所述的方法，其特征在于，所述遮擋層為BM層。
6.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，在所述通過真空熱蒸鍍工藝在所述基板表面的非可視區域設置與所述導電單元電連接的引線之后，所述方法還包括：
通過真空熱蒸鍍工藝在所述導電膜層表面設置覆蓋所述導電膜層的保護層。
7.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述隔離橋為氮化硅薄膜或PI膜。
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