[發(fā)明專利]基板搬運機械手

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910064989.5
• 申請日: 2019-01-23
• 公開（公告）號: CN109625970B
• 公開（公告）日: 2020-10-30
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 羅善高
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市華星光電技術(shù)有限公司
• 主分類號: B25J15/08
• 分類號: B25J15/08;B65G49/06
• 代理公司: 深圳市德力知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 44265
• 代理人: 林才桂;王中華

1.一種基板搬運機械手，其特征在于，包括：承載臂(10)及設(shè)于所述承載臂(10)上且位于所述承載臂(10)的第一端邊緣的滾動機構(gòu)(20)；所述滾動機構(gòu)(20)包括安裝座(21)、滾輪(22)、搖桿(23)及彈性件(24)；

所述安裝座(21)設(shè)于所述承載臂(10)的第一端邊緣上，所述搖桿(23)相對于水平面向靠近承載臂(10)第二端的方向傾斜布置，且所述搖桿(23)的靠近承載臂(10)第一端的一端連接所述安裝座(21)，所述搖桿(23)的靠近承載臂(10)第二端的一端連接滾輪(22)，所述搖桿(23)的兩端點之間設(shè)有一支點(231)，所述彈性件(24)的兩端分別連接所述支點(231)及安裝座(21)；

所述滾輪(22)能夠繞其中心軸轉(zhuǎn)動，當(dāng)基板(100)置于所述滾輪(22)上時，基板(100)的重力下壓所述彈性件(24)，進而帶動所述搖桿(23)及滾輪(22)均向下擺動，同時所述滾輪(22)轉(zhuǎn)動帶動所述基板(100)向靠近所述承載臂(10)的第二端的方向移動，當(dāng)所述基板(100)脫離所述滾輪(22)后，所述彈性件(24)回彈，所述搖桿(23)及滾輪(22)向上回擺。

2.如權(quán)利要求1所述的基板搬運機械手，其特征在于，還包括設(shè)于承載臂(10)的多個支撐頂針(30)，所述多個支撐頂針(30)間隔排列于所述滾動機構(gòu)(20)與所述承載臂(10)的第二端之間；

所述基板(100)脫離所述滾輪(22)后，置于所述多個支撐頂針(30)上，由所述多個支撐頂針(30)支撐。

3.如權(quán)利要求1所述的基板搬運機械手，其特征在于，所述彈性件(24)帶動所述搖桿(23)擺動的幅度為10～20°。

4.如權(quán)利要求1所述的基板搬運機械手，其特征在于，所述支點(231)位于所述搖桿(23)的中點。

5.如權(quán)利要求1所述的基板搬運機械手，其特征在于，所述彈性件(24)包括彈性底座(241)及支撐柱(242)，所述彈性底座(241)固定于所述安裝座(21)上，所述支撐柱(242)的一端連接所述彈性底座(241)，另一端連接支點(231)。

6.如權(quán)利要求5所述的基板搬運機械手，其特征在于，所述彈性底座(241)為彈簧。

7.如權(quán)利要求1所述的基板搬運機械手，其特征在于，所述搖桿(23)的靠近承載臂(10)第二端的一端與所述滾輪(22)的中心點相連。

8.如權(quán)利要求1所述的基板搬運機械手，其特征在于，所述安裝座(21)靠近所述承載臂(10)第二端的一側(cè)表面為向遠離所述承載臂(10)第二端向下傾斜的斜面。

9.如權(quán)利要求8所述的基板搬運機械手，其特征在于，所述斜面相對于水平面向下傾斜40～60°。

10.如權(quán)利要求1所述的基板搬運機械手，其特征在于，所述滾輪(22)采用防塵材料制作。