[發(fā)明專利]石墨盤檢測方法和裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910060012.6
• 申請日: 2019-01-22
• 公開（公告）號: CN109870416B
• 公開（公告）日: 2021-10-01
• 發(fā)明（設計）人: 喬楠;李昱樺;劉旺平;胡加輝;李鵬
• 申請（專利權）人: 華燦光電（浙江）有限公司
• 主分類號: G01N21/25
• 分類號: G01N21/25;G01N21/95;G01N29/04;C23C16/44;B07C5/38;B07C5/36;B07C5/34
• 代理公司: 北京三高永信知識產(chǎn)權代理有限責任公司 11138
• 代理人: 徐立

1.一種石墨盤檢測方法，其特征在于，所述方法包括：

拍攝石墨盤的表面，得到所述石墨盤的表面圖像，所述石墨盤的表面是所述石墨盤用來承載外延片的一面；

根據(jù)所述石墨盤的表面圖像判斷所述石墨盤的表面是否存在破損；

當所述石墨盤的表面不存在破損時，根據(jù)所述石墨盤的表面圖像判斷所述石墨盤的表面是否存在色差；

當所述石墨盤的表面不存在色差時，對所述石墨盤進行超聲波掃描，得到所述石墨盤的反射率；

根據(jù)所述石墨盤的反射率對所述石墨盤進行分類，同一外延生長設備采用同一類所述石墨盤進行外延生長。

2.根據(jù)權利要求1所述的方法，其特征在于，所述拍攝石墨盤的表面，得到所述石墨盤的表面圖像，包括：

將所述石墨盤的表面分為多個區(qū)域；

依次拍攝所述石墨盤的表面的多個區(qū)域，得到多張所述石墨盤的表面圖像。

3.根據(jù)權利要求1所述的方法，其特征在于，所述根據(jù)所述石墨盤的表面圖像判斷所述石墨盤的表面是否存在破損，包括：

顯示所述石墨盤的表面圖像；接收人工操作指令，所述人工操作指令用于指示所述石墨盤的表面是否存在破損；

或者，所述根據(jù)所述石墨盤的表面圖像判斷所述石墨盤的表面是否存在破損，包括：

將所述石墨盤的表面圖像輸入預定的分類器，根據(jù)所述分類器的結(jié)果確定所述石墨盤的表面是否存在破損。

4.根據(jù)權利要求1-3任一項所述的方法，其特征在于，所述根據(jù)所述石墨盤的表面圖像判斷所述石墨盤的表面是否存在色差，包括：

將所述石墨盤的表面圖像分為多個區(qū)域；

計算每個區(qū)域的平均灰階值；

計算任意兩個相鄰區(qū)域的平均灰階值的差值；

當存在任意兩個相鄰區(qū)域的平均灰階值的差值大于閾值時，確定所述石墨盤的表面存在色差。

5.根據(jù)權利要求1-3任一項所述的方法，其特征在于，所述對所述石墨盤進行超聲波掃描，得到所述石墨盤的反射率，包括：

發(fā)射超聲波；

接收經(jīng)過所述石墨盤反射回的超聲波；

根據(jù)發(fā)射的超聲波的強度和反射回的超聲波的強度，確定所述石墨盤的反射率。

6.一種石墨盤檢測裝置，其特征在于，所述裝置包括：

拍攝模塊，用于拍攝石墨盤的表面，得到所述石墨盤的表面圖像，所述石墨盤的表面是所述石墨盤用來承載外延片的一面；

第一判斷模塊，用于根據(jù)所述石墨盤的表面圖像判斷所述石墨盤的表面是否存在破損；

第二判斷模塊，用于當所述石墨盤的表面不存在破損時，根據(jù)所述石墨盤的表面圖像判斷所述石墨盤的表面是否存在色差；

掃描模塊，用于當所述石墨盤的表面不存在色差時，對所述石墨盤進行超聲波掃描，得到所述石墨盤的反射率；

分類模塊，用于根據(jù)所述石墨盤的反射率對所述石墨盤進行分類，同一外延生長設備采用同一類所述石墨盤進行外延生長。

7.根據(jù)權利要求6所述的裝置，其特征在于，所述拍攝模塊，用于將所述石墨盤的表面分為多個區(qū)域；依次拍攝所述石墨盤的表面的多個區(qū)域，得到多張所述石墨盤的表面圖像。

8.根據(jù)權利要求6所述的裝置，其特征在于，所述第一判斷模塊，用于顯示所述石墨盤的表面圖像；接收人工操作指令，所述人工操作指令用于指示所述石墨盤的表面是否存在破損；或者，將所述石墨盤的表面圖像輸入預定的分類器，根據(jù)所述分類器的結(jié)果確定所述石墨盤的表面是否存在破損。

9.根據(jù)權利要求6-8任一項所述的裝置，其特征在于，所述第二判斷模塊，用于將所述石墨盤的表面圖像分為多個區(qū)域；計算每個區(qū)域的平均灰階值；計算任意兩個相鄰區(qū)域的平均灰階值的差值；當存在任意兩個相鄰區(qū)域的平均灰階值的差值大于閾值時，確定所述石墨盤的表面存在色差。

10.根據(jù)權利要求6-8任一項所述的裝置，其特征在于，所述掃描模塊，用于發(fā)射超聲波；接收經(jīng)過所述石墨盤反射回的超聲波；根據(jù)發(fā)射的超聲波的強度和反射回的超聲波的強度，確定所述石墨盤的反射率。