[發(fā)明專利]一種探針卡、包括探針卡的測(cè)試設(shè)備、測(cè)試方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910048374.3
• 申請(qǐng)日: 2019-01-18
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN110231501A
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-09-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李嘉琳;李玲;吳昊;鄭柳;焦倩倩;楊霏;潘艷
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 全球能源互聯(lián)網(wǎng)研究院有限公司
• 主分類號(hào): G01R1/073
• 分類號(hào): G01R1/073
• 代理公司: 北京安博達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11271
• 代理人: 徐國(guó)文

1.一種探針卡，其特征在于，包括PCB板、空心針和探針；

所述空心針和所述探針?lè)謩e與所述PCB板連接，且所述空心針和所述探針相鄰設(shè)置；

所述空心針用于噴射阻燃?xì)怏w。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針卡，其特征在于，所述探針卡還包括壓力腔；

所述空心針的針尾置于壓力腔內(nèi)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針卡，其特征在于，所述探針卡還包括第一支撐臂和第二支撐臂；

所述空心針通過(guò)第一支撐臂與所述PCB板設(shè)有的接觸點(diǎn)連接，所述探針通過(guò)第二支撐臂與所述PCB板設(shè)有的接觸點(diǎn)連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針卡，其特征在于，所述PCB板中心位置設(shè)有孔，所述空心針豎穿過(guò)所述孔。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針卡，其特征在于，所述空心針為中空筒狀結(jié)構(gòu)，其外徑為1～2mm，內(nèi)徑為0.5～1mm。。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針卡，其特征在于，所述探針為一個(gè)或至少兩個(gè)，所述探針的個(gè)數(shù)與所述PCB板設(shè)有的接觸點(diǎn)的個(gè)數(shù)相等。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的探針卡，其特征在于，當(dāng)所述探針為至少兩個(gè)時(shí)，所述空心針設(shè)置于至少兩個(gè)探針中間。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的探針卡，其特征在于，所述探針豎直設(shè)置或以預(yù)設(shè)傾斜度設(shè)置；

當(dāng)所述探針為至少兩個(gè)時(shí)，至少兩個(gè)探針的針尖水平高度相等。

9.根據(jù)權(quán)利要求2所述的探針卡，其特征在于，所述探針采用銅、鋁或銀制成，所述壓力腔采用銅制成。

10.一種測(cè)試設(shè)備，其特征在于，包括如權(quán)利要求1-9任一所述的探針卡、管路和高壓測(cè)試裝置；

所述探針卡的壓力腔與所述管路連接，且所述探針卡通過(guò)接口插入所述高壓測(cè)試裝置；

所述管路中充斥阻燃?xì)怏w。

11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的測(cè)試設(shè)備，其特征在于，所述管路上設(shè)有調(diào)壓閥。

12.根據(jù)權(quán)利要求9所述的測(cè)試設(shè)備，其特征在于，所述高壓測(cè)試裝置包括高壓直流電流源、檢測(cè)裝置和載片臺(tái)；

所述高壓直流電流源與檢測(cè)裝置連接，用于為檢測(cè)裝置提供電源；

所述檢測(cè)裝置設(shè)有卡槽，所述探針卡通過(guò)接口插入所述卡槽；

所述載片臺(tái)位于檢測(cè)裝置內(nèi)部，用于放置所述待測(cè)半導(dǎo)體芯片。

13.一種采用權(quán)利要求10-12任一所述的測(cè)試裝置的測(cè)試方法，其特征在于，包括：

將權(quán)利要求1-9任一所述的探針卡放置在所述高壓測(cè)試裝置中；

將待測(cè)半導(dǎo)體芯片放置在所述高壓測(cè)試裝置的載片臺(tái)上；

開(kāi)啟所述管路上的調(diào)壓閥，并將所述管路中阻燃?xì)怏w的壓力調(diào)節(jié)至預(yù)設(shè)壓力值；

調(diào)節(jié)所述載片臺(tái)的高度，使所述探針卡的探針與待測(cè)半導(dǎo)體芯片接觸；

開(kāi)啟所述高壓測(cè)試裝置，測(cè)試所述待測(cè)半導(dǎo)體芯片的靜態(tài)參數(shù)。