[發(fā)明專利]加工裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910042945.2
• 申請(qǐng)日: 2019-01-17
• 公開（公告）號(hào): CN110071056A
• 公開（公告）日: 2019-07-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 竹之內(nèi)研二
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社迪思科
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;B23Q11/10;C02F1/32;C02F1/72
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 褚瑤楊;龐東成

1.一種加工裝置，其特征在于，其具有：

保持單元，其對(duì)被加工物進(jìn)行保持；

加工單元，其對(duì)該保持單元所保持的被加工物進(jìn)行加工；

加工液提供單元，其在利用該加工單元對(duì)該保持單元所保持的被加工物進(jìn)行加工時(shí)至少對(duì)被加工物提供包含氧化劑的加工液；

加工廢液回收部，其對(duì)包含從該加工液提供單元提供至被加工物的該加工液的加工廢液進(jìn)行回收；

排出路，其將該加工廢液從該加工廢液回收部排出至該加工裝置外；以及

廢液處理機(jī)構(gòu)，其配設(shè)在該排出路中，在該加工廢液在該排出路中流通的期間將該加工廢液所含的該加工液分解。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加工裝置，其中，

該氧化劑為過(guò)氧化氫，該廢液處理單元包含對(duì)該加工廢液照射紫外線的紫外線照射單元。