[發明專利]基板翻轉裝置

在審

• 申請號: 201910042829.0
• 申請日: 2019-01-17
• 公開（公告）號: CN110092172A
• 公開（公告）日: 2019-08-06
• 發明（設計）人: 西尾仁孝;高松生芳;上野勉
• 申請（專利權）人: 三星鉆石工業股份有限公司
• 主分類號: B65G47/248
• 分類號: B65G47/248
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 玉昌峰;李罡

本申請提供一種基板翻轉裝置，能夠簡化裝置的結構且節約空間、進一步高效地進行基板的翻轉。使基板(F)翻轉的基板翻轉裝置(1)具備：第一吸附部(110)；第二吸附部(160)；在第一吸附部(110)的吸附面與第二吸附部(160)的吸附面相互對置的狀態下使第一吸附部(110)以及第二吸附部(160)一體地旋轉半周的翻轉機構(200)；選擇性移送第一吸附部(110)以及第二吸附部(160)中的、在翻轉機構(200)中被定位于移送位置(200a)的吸附部(100)的輸送機構(300)。

技術領域

本發明涉及一種使基板翻轉的基板翻轉裝置。

背景技術

通常，玻璃基板等由脆性材料構成的母板經由劃線工序與斷開工序而斷開成規定尺寸的基板。在提供給這些工序時，母板適當地進行正反翻轉。例如，在貼合兩個玻璃基板而構成母板的情況下，在母板的兩面形成有刻劃線。該情況下，在一方的面上形成有刻劃線之后，將母板正反翻轉，在另一方的面上形成刻劃線。除此之外，也存在將形成有刻劃線的母板正反翻轉而提供給斷開工序的情況。

在以下的專利文獻1中，公開了在沿水平方向排列的兩個工作臺間輸送母板時使母板正反翻轉的裝置。該裝置具備將母板沿水平方向輸送的輸送機構、以及使母板翻轉的旋轉機構。在輸送機構以及旋轉機構分別設有吸附板。載置于一方的工作臺的母板被旋轉機構的吸附板吸附而正反翻轉。正反翻轉的母板從旋轉機構的吸附板向輸送機構的吸附板交接。之后，母板被輸送機構向另一方的工作臺輸送并載置于另一方的工作臺。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2014-080336號公報

發明內容

在專利文獻1的結構中，在使母板翻轉時，在旋轉機構使母板移動至規定的位置之后，在該位置處旋轉180度。旋轉后的母板被輸送機構朝向其它的工作臺輸送并載置。這樣，旋轉機構以及輸送機構獨立地移動。因此，需要將用于使基板移動的移動機構分別設于旋轉機構以及輸送機構。因此，用于輸送母板的裝置的結構變得復雜，另外，由于設置兩個移動機構，因此存在裝置整體上大型化這樣的問題。另外，由于旋轉機構以及輸送機構分別移動，因此很難說高效地進行基板的移動以及翻轉。

鑒于所述課題，本發明的目的在于，提供一種能夠使裝置的結構簡單化且節約空間化、進一步能夠高效地進行基板的翻轉的基板翻轉裝置。

本發明的主要方式涉及一種使基板翻轉的基板輸送裝置。該方式所涉及的基板翻轉裝置構成為，具備：第一吸附部；第二吸附部；翻轉機構，在所述第一吸附部的吸附面與所述第二吸附部的吸附面相互對置的狀態下使所述第一吸附部以及所述第二吸附部一體地旋轉半周；以及輸送機構，選擇性移送所述第一吸附部以及所述第二吸附部中的、在所述翻轉機構中被定位于移送位置的吸附部。

根據該結構，第一吸附部以及第二吸附部兼用于基板翻轉時的基板的交接動作、基板的移送動作，因此能夠使基板翻轉裝置的結構簡化。

在本方式所涉及的基板翻轉裝置中，所述翻轉機構能夠構成為，具備：導軌，使所述第一吸附部以及所述第二吸附部一體地旋轉半周；以及引導板，被所述導軌引導并與所述第一吸附部以及所述第二吸附部分別連接。所述導軌經由所述引導板與所述第一吸附部以及所述第二吸附部分別連接。在所述第一吸附部的吸附面與所述第二吸附部的吸附面相互對置的狀態下，所述導軌成為圓形，所述引導板沿著所述導軌能夠旋轉。

根據該結構，第一吸附部以及第二吸附部在彼此的吸附面對置的狀態下，能夠經由引導板沿著導軌旋轉。因此，基板能夠以夾在第一吸附部的吸附面以及第二吸附部的吸附面之間的狀態順暢地旋轉半周。即，與基板的翻轉同時地使第一吸附部以及第二吸附部一體地旋轉半周，因此調換在第一吸附部以及第二吸附部中位于移送位置的一方。基板被位于移送位置的吸附部吸附，通過輸送機構被移送至規定的位置。這樣，與進行基板的正反翻轉同時地進行用于將基板移送至規定的位置的吸附。因此，能夠高效地進行基板的翻轉以及朝向規定的位置的移送。