[發(fā)明專利]基板翻轉(zhuǎn)裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910042829.0
• 申請(qǐng)日: 2019-01-17
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN110092172A
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-08-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 西尾仁孝;高松生芳;上野勉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 三星鉆石工業(yè)股份有限公司
• 主分類號(hào): B65G47/248
• 分類號(hào): B65G47/248
• 代理公司: 北京康信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11240
• 代理人: 玉昌峰;李罡

1.一種基板翻轉(zhuǎn)裝置，使基板翻轉(zhuǎn)，其特征在于，

所述基板翻轉(zhuǎn)裝置具備：

第一吸附部；

第二吸附部；

翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，在所述第一吸附部的吸附面與所述第二吸附部的吸附面相互對(duì)置的狀態(tài)下使所述第一吸附部以及所述第二吸附部一體地旋轉(zhuǎn)半周；以及

輸送機(jī)構(gòu)，選擇性移送所述第一吸附部以及所述第二吸附部中的在所述翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)中被定位于移送位置的吸附部。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板翻轉(zhuǎn)裝置，其特征在于，

所述翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)具備：

導(dǎo)軌，使所述第一吸附部以及所述第二吸附部一體地旋轉(zhuǎn)半周；以及

引導(dǎo)板，被所述導(dǎo)軌引導(dǎo)并與所述第一吸附部以及所述第二吸附部分別連接，

所述導(dǎo)軌經(jīng)由所述引導(dǎo)板與所述第一吸附部以及所述第二吸附部分別連接，

在所述第一吸附部的吸附面與所述第二吸附部的吸附面相互對(duì)置的狀態(tài)下，所述導(dǎo)軌成為圓形，所述引導(dǎo)板沿著所述導(dǎo)軌能夠旋轉(zhuǎn)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板翻轉(zhuǎn)裝置，其特征在于，

所述翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)還具備對(duì)所述導(dǎo)軌進(jìn)行支承的支承板，

所述引導(dǎo)板經(jīng)由所述導(dǎo)軌與所述支承板連接，

所述輸送機(jī)構(gòu)與所述支承板連結(jié)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基板翻轉(zhuǎn)裝置，其特征在于，

所述導(dǎo)軌、所述引導(dǎo)板以及所述支承板分別被分割成兩部分，

分割成兩部分的所述導(dǎo)軌進(jìn)行組合而成為圓形，并且以使一方的導(dǎo)軌配置于所述移送位置側(cè)的方式分別被分割成兩部分的所述支承板支承，

分割成兩部分的所述引導(dǎo)板相對(duì)于進(jìn)行組合而成為圓形的所述導(dǎo)軌，以在所述移送位置與遠(yuǎn)離所述移送位置的位置之間相互能夠旋轉(zhuǎn)的方式組合，

所述第一吸附部與所述第二吸附部分別與分割成兩部分的所述引導(dǎo)板連接，

所述輸送機(jī)構(gòu)僅與分割成兩部分的所述支承板中的配置于所述移送位置側(cè)的支承板連結(jié)，選擇性移送位于所述移送位置側(cè)且經(jīng)由所述導(dǎo)軌以及所述引導(dǎo)板與所述支承板連接的吸附部。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板翻轉(zhuǎn)裝置，其特征在于，

所述翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)具備：

導(dǎo)軌，與所述第一吸附部以及所述第二吸附部分別連接；以及

引導(dǎo)板，被所述導(dǎo)軌引導(dǎo)，且使所述第一吸附部以及所述第二吸附部一體地旋轉(zhuǎn)半周，

所述引導(dǎo)板經(jīng)由所述導(dǎo)軌與所述第一吸附部以及所述第二吸附部分別連接，

在所述第一吸附部的吸附面與所述第二吸附部的吸附面相互對(duì)置的狀態(tài)下，所述導(dǎo)軌成為圓形，所述引導(dǎo)板沿著所述導(dǎo)軌相對(duì)地能夠旋轉(zhuǎn)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基板翻轉(zhuǎn)裝置，其特征在于，

所述翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)還具備對(duì)所述引導(dǎo)板進(jìn)行支承的支承板，

所述導(dǎo)軌經(jīng)由所述引導(dǎo)板與所述支承板連接，

所述輸送機(jī)構(gòu)與所述支承板連結(jié)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基板翻轉(zhuǎn)裝置，其特征在于，

所述導(dǎo)軌、所述引導(dǎo)板以及所述支承板分別被分割成兩部分，

分割成兩部分的所述引導(dǎo)板以一方的引導(dǎo)板配置于所述移送位置側(cè)的方式分別被分割成兩部分的所述支承板支承，

分割成兩部分的所述導(dǎo)軌進(jìn)行組合而成為圓形，相對(duì)于所述引導(dǎo)板以在所述移送位置與遠(yuǎn)離所述移送位置的位置之間相互能夠旋轉(zhuǎn)的方式組合，

所述第一吸附部與所述第二吸附部分別與分割成兩部分的所述導(dǎo)軌連接，

所述輸送機(jī)構(gòu)僅與分割成兩部分的所述支承板中的配置于所述移送位置側(cè)的支承板連結(jié)，選擇性移送位于所述移送位置側(cè)且經(jīng)由所述引導(dǎo)板以及所述導(dǎo)軌與所述支承板連接的吸附部。