[發(fā)明專利]OLED顯示面板及其制作方法

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• 申請?zhí)枺?/td>: 201910038820.2
• 申請日: 2019-01-16
• 公開（公告）號: CN109768070A
• 公開（公告）日: 2019-05-17
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 唐甲;任章淳
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市華星光電半導(dǎo)體顯示技術(shù)有限公司
• 主分類號: H01L27/32
• 分類號: H01L27/32
• 代理公司: 深圳翼盛智成知識產(chǎn)權(quán)事務(wù)所(普通合伙) 44300
• 代理人: 黃威

1.一種OLED顯示面板的制造方法，其特征在于，該方法包括以下步驟：

提供基板，所述基板包括彩膜層和有源區(qū)，所述彩膜層和有源區(qū)在水平面上的投影不重合；

形成覆蓋所述有源區(qū)的疊層結(jié)構(gòu)，所述疊層結(jié)構(gòu)自下到上依次包括柵極介質(zhì)層、透明導(dǎo)電層和金屬層；

使用同一張掩膜版將所述疊層結(jié)構(gòu)圖形化，形成位于所述有源區(qū)上方的柵極疊層和位于所述彩膜層上方的第一陽極疊層；

去除所述陽極疊層中的金屬層，暴露出所述透明導(dǎo)電層，形成陽極疊層；

形成覆蓋所述緩沖層、有源區(qū)、柵極疊層和陽極疊層的層間介質(zhì)層，所述層間介質(zhì)層具有多個通孔；

形成源漏金屬層，所述源漏金屬層通過所述通孔形成與所述源極、漏極和陽極之間的電連接；

形成覆蓋所述源漏金屬層的平坦化層，所述平坦化層上具有暴露出所述陽極疊層的電極區(qū)域的通孔；

形成覆蓋所述平坦化層的發(fā)光結(jié)構(gòu)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的OLED顯示面板的制造方法，其特征在于，所述有源區(qū)在水平方向的投影與所述彩膜層在水平方向的投影不重合。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的OLED顯示面板的制造方法，其特征在于，使用同一張掩膜版將所述疊層結(jié)構(gòu)圖形化的方法包括以下步驟：

形成覆蓋所述疊層結(jié)構(gòu)的光刻膠，所述光刻膠具有第一厚度；

采用一張掩膜版將所述光刻膠圖形化，形成位于有源區(qū)上方的柵極光刻膠和位于彩膜層上方的陽極光刻膠，所述柵極光刻膠的厚度大于所述陽極光刻膠厚度；

以所述柵極光刻膠和陽極光刻膠為掩膜，將所述金屬層圖形化，形成柵極疊層和陽極疊層，暴露出所述緩沖層和有源區(qū)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的OLED顯示面板的制造方法，其特征在于，所述掩膜版同時具有用于形成柵極疊層的第一圖形和用于形成陽極疊層的第二圖形。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的OLED顯示面板的制造方法，其特征在于，所述柵極光刻膠的厚度大于或等于所述陽極光刻膠厚度的兩倍。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的OLED顯示面板的制造方法，其特征在于，所述掩膜版的第一圖形和第二圖形具有不同的透光率，所述第一圖形的透光率大于所述第二圖形的透光率。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的OLED顯示面板的制造方法，其特征在于，在使用同一張掩膜版將所述疊層結(jié)構(gòu)圖形化之后，還包括以下步驟：

以所述柵極光刻膠和陽極光刻膠為掩膜，將所述有源區(qū)導(dǎo)體化，在柵極疊層兩側(cè)的有源區(qū)中形成源區(qū)和漏區(qū)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的OLED顯示面板的制造方法，其特征在于，所述層間介質(zhì)層的通孔包括：

暴露出源極的第一通孔、暴露出漏極的第二通孔、暴露出所述陽極疊層的第一區(qū)域的第三通孔、以及暴露出所述陽極疊層的電極區(qū)域的第四通孔；其中，所述電極區(qū)域緊貼位于所述陽極電極上方的發(fā)光結(jié)構(gòu)，所述第一區(qū)域位于所述電極區(qū)域之外且不與所述電極區(qū)域電連接。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的OLED顯示面板的制造方法，其特征在于，所述源漏金屬層通過第一通孔與源極電連接、通過第二通孔與漏區(qū)電連接、通過第二通孔和第三通孔將所漏區(qū)與陽極電連接。

10.一種OLED顯示面板，其特征在于，所述顯示面板包括：

基板，所述基板包括彩膜層和有源區(qū)，所述彩膜層和有源區(qū)在水平面上的投影不重合；

位于所述有源區(qū)上方的柵極疊層和位于所述彩膜層上方的陽極疊層，所述柵極疊層自下到上依次包括柵極介質(zhì)層、透明導(dǎo)電層和金屬層，所述陽極疊層自下到上依次包括柵極介質(zhì)層和透明導(dǎo)電層；

覆蓋所述緩沖層、有源區(qū)、柵極疊層和陽極疊層的層間介質(zhì)層，所述層間介質(zhì)層具有多個通孔；

通過所述通孔與所述源極、漏極和陽極電連接的源漏金屬層；

覆蓋所述源漏金屬層的平坦化層，所述平坦化層上具有暴露出所述陽極疊層的電極區(qū)域的通孔；

覆蓋所述平坦化層的發(fā)光結(jié)構(gòu)。