[發明專利]一種自動化OLED模組階段用制造設備有效
| 申請號: | 201910027986.4 | 申請日: | 2017-12-04 |
| 公開(公告)號: | CN109786302B | 公開(公告)日: | 2020-11-20 |
| 發明(設計)人: | 曹云娟 | 申請(專利權)人: | 蘇州艾納格信息科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/677 | 分類號: | H01L21/677;H01L21/683;H01L51/56 |
| 代理公司: | 蘇州周智專利代理事務所(特殊普通合伙) 32312 | 代理人: | 周雅卿 |
| 地址: | 215400 江蘇省蘇州市太*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 自動化 oled 模組 階段 制造 設備 | ||
1.一種自動化OLED模組階段用制造設備,其特征在于:包括兩個對稱設置的直線驅動滑軌(1),在所述直線驅動滑軌(1)上安裝有支撐座(2),所述支撐座(2)具有與水平方向構成銳角夾角且呈斜向上延展狀的底板(21),在所述底板(21)的上方設有矩形支撐框(22),在所述矩形支撐框(22)的中部設有用于前、后兩側工位操作的貫穿槽體,在所述矩形支撐框(22)與底板(21)之間設有支撐塊(23),所述底板(21)安裝在直線驅動滑軌(1)上,且所述底板(21)的后端設有用于驅動其來回往復移動的第三油缸(8),在所述底板(21)的后端還設有限位卡塊(9),
在所述直線驅動滑軌(1)之間且位于底板(21)的下方的中部位置設有第一脫鉤組件(3),所述第一脫鉤組件(3)具有固定在底板(21)的底部的第一U型吊板(31),所述第一U型吊板(31)的U型開口朝上,且在所述第一U型吊板(31)的U型開口內滑動安裝有第一頂升塊(32),所述第一頂升塊(32)的上表面緊貼底板(21)的底部,所述第一頂升塊(32)的下表面與第一U型吊板(31)的U型開口上相對應的表面之間設有預留撬動間隙,在所述第一頂升塊(32)的前端穿過第一U型吊板(31)并依次鉸接設有第一連接栓板(33)、第一倒置鉤體(34),在所述第一U型吊板(31)的后側設有第一油缸(35),所述第一油缸(35)的缸體的上端與第一頂升塊(32)的后端鉸接,所述第一油缸(35)的伸縮端部穿過第一U型吊板(31)的下部并與第一倒置鉤體(34)的下部鉸接,
在所述矩形支撐框(22)的頂端的左、右兩側均設有第二脫鉤組件(4),所述第二脫鉤組件(4)具有固定在矩形支撐框(22)頂端的第二U型吊板(41),所述第二U型吊板(41)的U型開口朝下,且在所述第二U型吊板(41)的U型開口內滑動安裝有第二頂升塊(42),在所述矩形支撐框(22)頂部設有接觸塊(46),所述第二頂升塊(42)的下表面緊貼接觸塊(46)的上表面,所述第二頂升塊(42)的上表面與第二U型吊板(41)的U型開口上相對應的表面之間設有預留撬動間隙,在所述第二頂升塊(42)的前端穿過第二U型吊板(41)并依次鉸接設有第二連接栓板(43)、第二倒置鉤體(44),在所述第二U型吊板(41)的后側設有第二油缸(45),所述第二油缸(45)的缸體的下端與第二頂升塊(42)的后端鉸接,所述第二油缸(45)的伸縮端部穿過第二U型吊板(41)的上部并與第二倒置鉤體(44)的上部鉸接,
所述第一脫鉤組件(3)與第二脫鉤組件(4)在豎直方向上呈三角狀分布,且在所述第一脫鉤組件(3)與第二脫鉤組件(4)之間設有呈三角狀的OLED面板配送框(5),在所述OLED面板配送框(5)上相對應的位置設有脫模倒扣(51),在位于上方的脫模倒扣(51)的下側、在位于下方的脫模倒扣(51)的上側均設有OLED面板卡槽(52),在所述OLED面板配送框(5)的中部也設有用于前、后兩側工位操作的貫穿槽體,在所述OLED面板配送框(5)的后側設有環形氣隙密封凹槽(53)。
2.如權利要求1所述的一種自動化OLED模組階段用制造設備,其特征在于:所述設備還具有與OLED面板配送框(5)相配套的真空吸盤頭(6),所述真空吸盤頭(6)具有錐形氣嘴本體(61),在所述錐形氣嘴本體(61)的開口端部設有球形壓緊環(62),在所述球形壓緊環(62)處設有連接橡膠套體(63),所述連接橡膠套體(63)依次分為用于包覆球形壓緊環(62)的延展段(631)、緩沖段(632)、密封段(633),所述緩沖段(632)的橫截面在徑向方向朝錐形氣嘴本體(61)內、外兩側均呈半圓弧形凸起狀,所述密封段(633)的橫截面半徑與環形氣隙密封凹槽(53)相適應。
3.如權利要求1所述的一種自動化OLED模組階段用制造設備,其特征在于:在所述第一頂升塊(32)的頂部表面設有彈性支撐組件(36),所述彈性支撐組件(36)具有位于第一頂升塊(32)的頂部表面的限位栓(361),在所述限位栓(361)上卡設有對稱設置的上彈撥片(362)、下彈撥片(363),在所述上彈撥片(362)與下彈撥片(363)之間設有預壓彈簧(364)。
4.如權利要求1所述的一種自動化OLED模組階段用制造設備,其特征在于:在所述矩形支撐框(22)的前側設有壓力感應器(7)。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





