[發(fā)明專利]晶圓清洗機(jī)構(gòu)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910027363.7
• 申請(qǐng)日: 2019-01-11
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN109755160A
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-05-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 胡孝偉;劉志偉;張金環(huán)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京半導(dǎo)體專用設(shè)備研究所（中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十五研究所）
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;H01L21/02
• 代理公司: 北京超凡志成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11371
• 代理人: 王獻(xiàn)茹

1.晶圓清洗機(jī)構(gòu)，其特征在于，包括驅(qū)動(dòng)電機(jī)、晶圓夾緊支架及晶圓噴洗機(jī)件，

所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)上設(shè)置有進(jìn)氣口、進(jìn)液口及接線口，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)內(nèi)部中空，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)內(nèi)設(shè)置有氣流管路及液流管路，所述進(jìn)氣口與氣流管路相通，所述進(jìn)液口與液流管路相通；

所述晶圓夾緊支架設(shè)置于所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)的輸出軸上，所述晶圓夾緊支架具有夾持部，所述晶圓夾緊支架的夾持部形成晶圓夾緊位；

所述晶圓噴洗機(jī)件設(shè)置于所述晶圓夾緊支架上，并位于所述晶圓夾緊位下方；所述晶圓噴洗機(jī)件具有噴氣管及噴液管，所述噴氣管與所述氣流管路相通，所述噴液管與所述液流管路相通。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓清洗機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)的輸出軸露出于所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)的頂部；

所述進(jìn)氣口及進(jìn)液口設(shè)置于所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)的底部，并且所述進(jìn)氣口及進(jìn)液口的朝向與所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)的輸出軸的設(shè)置方向相垂直；

所述接線口設(shè)置于所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)的側(cè)部。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓清洗機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述晶圓噴洗機(jī)件的噴氣管具有兩條；

所述氣流管路具有主氣流管部及分氣流管部，所述進(jìn)氣口與所述氣流管路的主氣流管部的一端相通，所述氣流管路的主氣流管部的另一端在靠近所述晶圓噴洗機(jī)件的位置分為兩條所述分氣流管部，所述晶圓噴洗機(jī)件的噴氣管與相對(duì)應(yīng)的所述氣流管路的分氣流管部相通。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶圓清洗機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述氣流管路在其主氣流管部與分氣流管部的分路處設(shè)置有密封件。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶圓清洗機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述晶圓噴洗機(jī)件的兩條所述噴氣管位于同一直線上。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的晶圓清洗機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述晶圓噴洗機(jī)件的噴液管具有一條，所述晶圓噴洗機(jī)件的噴液管設(shè)于所述晶圓噴洗機(jī)件的兩條所述噴氣管之間，所述晶圓噴洗機(jī)件的噴液管與所述晶圓噴洗機(jī)件的兩條所述噴氣管處于同一平面，并且所述晶圓噴洗機(jī)件分別與所述晶圓噴洗機(jī)件的兩條所述噴氣管相垂直。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓清洗機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述氣流管路及液流管路在靠近于所述晶圓噴洗機(jī)件位置的外圍設(shè)置有第一防水件，所述第一防水件緊貼所述氣流管路及液流管路。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的晶圓清洗機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述第一防水件的的外圍還設(shè)置有第二防水件。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓清洗機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述晶圓夾緊支架具有至少三個(gè)連接臂，

所述晶圓夾緊支架的連接臂的一端轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置有夾持爪，所述夾持爪的上端部具有所述夾持部，所述夾持爪的下端部設(shè)置有用于調(diào)節(jié)所述夾持爪的調(diào)節(jié)機(jī)件。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的晶圓清洗機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述調(diào)節(jié)機(jī)件包括下調(diào)節(jié)塊、上調(diào)節(jié)塊及壓簧，

所述夾持爪的下端部開(kāi)設(shè)有安裝孔，所述下調(diào)節(jié)塊及上調(diào)節(jié)塊設(shè)置于所述安裝孔處，并與所述安裝孔螺紋連接；所述壓簧的一端設(shè)置于所述下調(diào)節(jié)塊上，所述壓簧的另一端穿過(guò)所述上調(diào)節(jié)塊，并抵于所述晶圓夾緊支架的連接臂上。