[發(fā)明專利]晶圓清洗機(jī)構(gòu)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910027363.7
• 申請日: 2019-01-11
• 公開（公告）號: CN109755160A
• 公開（公告）日: 2019-05-14
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 胡孝偉;劉志偉;張金環(huán)
• 申請（專利權(quán)）人: 北京半導(dǎo)體專用設(shè)備研究所（中國電子科技集團(tuán)公司第四十五研究所）
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/02
• 代理公司: 北京超凡志成知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11371
• 代理人: 王獻(xiàn)茹

本發(fā)明提供一種晶圓清洗機(jī)構(gòu)，包括驅(qū)動電機(jī)、晶圓夾緊支架及晶圓噴洗機(jī)件，驅(qū)動電機(jī)上設(shè)置有進(jìn)氣口、進(jìn)液口及接線口，驅(qū)動電機(jī)內(nèi)部中空，驅(qū)動電機(jī)內(nèi)設(shè)置有氣流管路及液流管路，進(jìn)氣口與氣流管路相通，進(jìn)液口與液流管路相通；晶圓夾緊支架設(shè)置于驅(qū)動電機(jī)的輸出軸上，晶圓噴洗機(jī)件設(shè)置于晶圓夾緊支架上；晶圓噴洗機(jī)件具有噴氣管及噴液管，噴氣管與氣流管路相通，噴液管與液流管路相通。本發(fā)明晶圓清洗機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)設(shè)置較為科學(xué)，在晶圓的清洗作業(yè)時，能更好地對晶圓的下表面進(jìn)行清洗，使晶圓的清洗效果更為理想，即晶圓表面有更好的潔凈度及平整度，從而提升晶圓的加工質(zhì)量，使得晶圓的加工質(zhì)量更為理想。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及晶圓清洗器具技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種晶圓清洗機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)

晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片，由于其形狀為圓形，故稱為晶圓；在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu)，而成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品。集成電路的制造是電子信息產(chǎn)業(yè)的核心，是推動國民經(jīng)濟(jì)和社會信息化發(fā)展的最主要的高新技術(shù)之一。

在晶圓的加工中，需要對晶圓進(jìn)行化學(xué)機(jī)械拋光處理，拋光處理后的晶圓需要進(jìn)行清洗作業(yè)。在晶圓的清洗工序中，需要在晶圓清洗機(jī)構(gòu)上對晶圓進(jìn)行固定，再進(jìn)行清洗。然而，現(xiàn)有的大多數(shù)晶圓清洗機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)都較為簡單，晶圓清洗機(jī)構(gòu)在對晶圓的下表面進(jìn)行清洗作業(yè)時，往往難以達(dá)到理想的清洗效果，即晶圓表面的潔凈度及平整度不夠理想，從而使得晶圓難以達(dá)到理想的加工質(zhì)量。

發(fā)明內(nèi)容

鑒于上述問題，本發(fā)明提供了一種晶圓清洗機(jī)構(gòu)，該晶圓清洗機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)設(shè)置較為科學(xué)，在晶圓的清洗作業(yè)時，能更好地對晶圓的下表面進(jìn)行清洗，使晶圓的清洗效果更為理想，即晶圓表面有更好的潔凈度及平整度，從而提升晶圓的加工質(zhì)量，使得晶圓的加工質(zhì)量更為理想。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用如下的技術(shù)方案：

晶圓清洗機(jī)構(gòu)，包括驅(qū)動電機(jī)、晶圓夾緊支架及晶圓噴洗機(jī)件，

所述驅(qū)動電機(jī)上設(shè)置有進(jìn)氣口、進(jìn)液口及接線口，所述驅(qū)動電機(jī)內(nèi)部中空，所述驅(qū)動電機(jī)內(nèi)設(shè)置有氣流管路及液流管路，所述進(jìn)氣口與氣流管路相通，所述進(jìn)液口與液流管路相通；

所述晶圓夾緊支架設(shè)置于所述驅(qū)動電機(jī)的輸出軸上，所述晶圓夾緊支架具有夾持部，所述晶圓夾緊支架的夾持部形成晶圓夾緊位；

所述晶圓噴洗機(jī)件設(shè)置于所述晶圓夾緊支架上，并位于所述晶圓夾緊位下方；所述晶圓噴洗機(jī)件具有噴氣管及噴液管，所述噴氣管與所述氣流管路相通，所述噴液管與所述液流管路相通。

作為上述晶圓清洗機(jī)構(gòu)的進(jìn)一步可選方案，所述驅(qū)動電機(jī)的輸出軸露出于所述驅(qū)動電機(jī)的頂部；

所述進(jìn)氣口及進(jìn)液口設(shè)置于所述驅(qū)動電機(jī)的底部，并且所述進(jìn)氣口及進(jìn)液口的朝向與所述驅(qū)動電機(jī)的輸出軸的設(shè)置方向相垂直；

所述接線口設(shè)置于所述驅(qū)動電機(jī)的側(cè)部。

作為上述晶圓清洗機(jī)構(gòu)的進(jìn)一步可選方案，所述晶圓噴洗機(jī)件的噴氣管具有兩條；

所述氣流管路具有主氣流管部及分氣流管部，所述進(jìn)氣口與所述氣流管路的主氣流管部的一端相通，所述氣流管路的主氣流管部的另一端在靠近所述晶圓噴洗機(jī)件的位置分為兩條所述分氣流管部，所述晶圓噴洗機(jī)件的噴氣管與相對應(yīng)的所述氣流管路的分氣流管部相通。

作為上述晶圓清洗機(jī)構(gòu)的進(jìn)一步可選方案，所述氣流管路在其主氣流管部與分氣流管部的分路處設(shè)置有密封件。

作為上述晶圓清洗機(jī)構(gòu)的進(jìn)一步可選方案，所述晶圓噴洗機(jī)件的兩條所述噴氣管位于同一直線上。