[發(fā)明專利]一種半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)系統(tǒng)及其方法

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• 申請?zhí)枺?/td>: 201910025472.5
• 申請日: 2019-01-11
• 公開（公告）號: CN109742043A
• 公開（公告）日: 2019-05-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 田麗玖
• 申請（專利權(quán)）人: 田麗玖
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)系統(tǒng)，該生產(chǎn)系統(tǒng)包括清洗設(shè)備，其特征在于，該清洗設(shè)備包括機(jī)箱（1）、清洗罩（2）、旋轉(zhuǎn)裝置（3）、清洗裝置（4）和除塵裝置（5），所述的機(jī)箱（1）內(nèi)設(shè)置有內(nèi)置腔體（11），內(nèi)置腔體（11）底部設(shè)置有出水口；所述的清洗罩（2）設(shè)置在內(nèi)置腔體（11）的底板上，清洗罩（2）頂部設(shè)置有開口（21）；所述的旋轉(zhuǎn)裝置（3）設(shè)置在清洗罩（2）內(nèi)，旋轉(zhuǎn)裝置（3）包括旋轉(zhuǎn)驅(qū)動模塊（31）和轉(zhuǎn)盤（32），旋轉(zhuǎn)驅(qū)動模塊（31）的下部固定設(shè)置在機(jī)箱（1）內(nèi)，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動模塊（31）的上部與轉(zhuǎn)盤（32）的底部中心連接，轉(zhuǎn)盤（32）的頂部設(shè)置有小固定平臺（321）和大固定平臺（322），且大固定平臺（321）高于小固定平臺（321）；所述的清洗裝置（4）設(shè)置在清洗罩（2）外的一側(cè)，清洗裝置（4）包括第一清洗升降模塊（41）、第一清洗旋轉(zhuǎn)模塊（42）和用于清洗晶圓的清洗模塊（43），所述的第一清洗升降模塊（41）與第一清洗旋轉(zhuǎn)模塊（42）的下部連接，且通過第一清洗升降模塊（41）能帶動第一清洗旋轉(zhuǎn)模塊（42）升降；所述的第一清洗旋轉(zhuǎn)模塊（42）的上部通過連接管（44）連接清洗模塊（43），且第一清洗旋轉(zhuǎn)模塊（42）通過連接管（44）帶動清洗模塊（43）來回擺動；所述的除塵裝置（5）設(shè)置在清洗罩（2）外的另一側(cè)，除塵裝置（5）包括第二清洗升降模塊（51）、第二清洗旋轉(zhuǎn)模塊（52）和用于清刷晶圓的除塵模塊（53），第二清洗升降模塊（51）與第二清洗旋轉(zhuǎn)模塊（52）的下部連接，且通過第二清洗升降模塊（51）能帶動第二清洗旋轉(zhuǎn)模塊（52）升降；第二清洗旋轉(zhuǎn)模塊（52）的上部通過連接臂（54）連接清刷模塊（53），且第二旋轉(zhuǎn)模塊（52）通過連接臂（54）能帶清刷模塊（53）來回擺動。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征在于，所述的小固定平臺（321）為4個小夾具，每個小夾具均包括小固定柱（3211）、第一夾具頭（3212）和小掩膜版（3214），小固定柱（3211）的底部固定設(shè)置在轉(zhuǎn)盤（32）頂面上，第一夾具頭（3212）與小固定柱（3211）的頂部固定連接，第一夾具頭（3212）上通過銷釘連接有第一壓桿（3213），所述的4個小夾具呈小正方形狀設(shè)置；所述的小掩膜版（3214）固定在4個小夾具上；所述的大固定平臺（322）為4個大夾具，每個大夾具均包括大固定柱（3221）、第二夾具頭（3222）和大掩膜版（3223），大固定柱（3221）的底部固定設(shè)置在轉(zhuǎn)盤（32）的頂面上，第二夾具頭（3222）與大固定柱（3221）的頂部固定連接，第二夾具頭（3222）上通過銷釘連接有第二壓桿（3223），所述的4個大夾具呈大正方形狀設(shè)置；所述的大掩膜版（3224）固定在4個小夾具上。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征在于，所述的第一清洗升降模塊（41）和第二清洗升降模塊（51）均包括支撐架（451）、第一電機(jī)（452）、第一聯(lián)軸器（453）、升降轉(zhuǎn)軸（454）和連接塊（455），所述的支撐架（451）固定設(shè)置在機(jī)箱（1）上，所述的第一電機(jī)（452）固定設(shè)置在支撐架（451）的下部，第一電機(jī)（452）通過第一聯(lián)軸器（453）與升降轉(zhuǎn)軸（454）連接；所述的連接塊（455）設(shè)置在升降轉(zhuǎn)軸（454）上，且連接塊（455）與升降轉(zhuǎn)軸（454）螺紋連接；所述的第一清洗旋轉(zhuǎn)模塊（42）和第二清洗旋轉(zhuǎn)模塊（52）均包括第二電機(jī)（541）、第二聯(lián)軸器（542）、清洗轉(zhuǎn)軸（543）和連接架（544），所述的連接架（544）與所述的連接塊（455）固定連接，所述的第二電機(jī)（541）固定設(shè)置在連接架（544）的底部，第二電機(jī)（541）的轉(zhuǎn)動軸穿過連接架（544）底部與第二聯(lián)軸器（542）的下端連接，第二聯(lián)軸器（542）的上端與清洗轉(zhuǎn)軸（543）連接，第一清洗旋轉(zhuǎn)模塊（42）的清洗轉(zhuǎn)軸（543）的上端與連接管（44）內(nèi)端連接，第二清洗旋轉(zhuǎn)模塊（52）的清洗轉(zhuǎn)軸（543）與連接管（54）的內(nèi)端連接。