[發明專利]用于運行可調的光學諧振器的方法和設備以及光學諧振器

在審

• 申請號: 201910022738.0
• 申請日: 2019-01-10
• 公開（公告）號: CN110031963A
• 公開（公告）日: 2019-07-19
• 發明（設計）人: C.胡貝爾;C.舍林;C.D.克雷默;R.諾爾特邁爾;R.雷德爾
• 申請（專利權）人: 羅伯特·博世有限公司
• 主分類號: G02B26/00
• 分類號: G02B26/00
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 孫云漢;申屠偉進

本發明涉及用于運行可調的光學諧振器的方法和設備以及光學諧振器。本發明涉及一種用于運行可調的光學諧振器（100）的方法（300），其中光學諧振器具有：第一鏡面元件（102）；在鏡面距離方面能相對于第一鏡面元件移動地布置的第二鏡面元件（104）；被分配給第一鏡面元件的第一電極（106）；和被分配給第二鏡面元件的第二電極（112）。第二電極與第一電極對置地來布置，其中通過向第一電極施加交變電位，第二鏡面元件能偏移。在該方法中，首先將用于改變鏡面距離的驅動交變電位與用于探測鏡面距離的探測交變電位疊加，以便獲得交變電位。量取附在第二電極上的電極電位。最后，在使用交變電位和電極電位的情況下產生表示鏡面距離的距離信號。

技術領域

本發明的出發點是一種根據獨立權利要求的前序部分所述的設備或方法。本發明的主題也是一種計算機程序。

背景技術

具有強烈的微型化的可能性的可調的光譜濾波器例如可以借助于MEMS技術作為法布里-珀羅干涉儀（Fabry-Pérot-Interferometer）來實現。

在出版文獻US 6381022 B1中描述了一種針對法布里-珀羅干涉儀的電容分析。

發明內容

在該背景下，利用這里所提出的方案，提出了根據獨立權利要求所述的一種用于運行可調的光學諧振器的方法、一種使用該方法的設備，一種光學諧振器和一種相對應的計算機程序。通過在從屬權利要求中提及的措施，對在獨立權利要求中說明的設備的有利的擴展方案和改進方案都是可能的。

提出了一種用于運行可調的光學諧振器的方法，其中該光學諧振器具有：第一鏡面元件；在鏡面距離方面能相對于第一鏡面元件移動地布置的第二鏡面元件；被分配給第一鏡面元件的第一電極；和被分配給第二鏡面元件的第二電極，其中第二電極與第一電極對置地來布置，其中通過在第一電極上施加第一交變電位，第二鏡面元件能偏移，其中該方法包括如下步驟：

將具有驅動頻率的用于改變鏡面距離的驅動交變電位與具有探測頻率的用于探測鏡面距離的探測交變電位疊加，以便獲得第一交變電位；

在第一電極上施加第一交變電位；

量取附在第二電極上的電極電位；而且

在使用第一交變電位和電極電位的情況下產生表示鏡面距離的距離信號。

按照一個實施方式，第二電極可以通過運算放大器保持在虛擬接地上。因此，在運算放大器的與第二電極耦合的第二輸入端和第一電極之間可以施加引起第一交變電位的第一交變電壓。

在該方法中，可單向移動的鏡面可以差分電容式地來探測，這可以通過施加附加的高頻交變電壓或附加的高頻交變電位來實現。

必要時，可以將具有驅動頻率的用于可選地雙向地改變鏡面距離的可選的、另一驅動交變電位與具有探測頻率的用于探測鏡面距離的另一探測交變電位一起使用，以便獲得另一交變電位。

在此，該光學諧振器具有第三電極，其中第二電極與第三電極對置地來布置，其中通過將第一交變電位施加給第一電極而將另一交變電位施加給第三電極，第二鏡面元件能雙向地偏移。在疊加的步驟中，將具有另一驅動頻率的用于雙向地改變鏡面距離的另一驅動交變電位與具有另一探測頻率的用于探測鏡面距離的另一探測交變電位疊加，以便獲得另一交變電位。在施加的步驟中，可以將該另一交變電位施加給第三電極。

因此，引起該另一交變電位的另一交變電壓可以與引起第一交變電位的第一交變電壓相對應地由驅動交變電位與探測交變電位的疊加形成。