[發明專利]用于運行可調的光學諧振器的方法和設備以及光學諧振器

在審

• 申請號: 201910022738.0
• 申請日: 2019-01-10
• 公開（公告）號: CN110031963A
• 公開（公告）日: 2019-07-19
• 發明（設計）人: C.胡貝爾;C.舍林;C.D.克雷默;R.諾爾特邁爾;R.雷德爾
• 申請（專利權）人: 羅伯特·博世有限公司
• 主分類號: G02B26/00
• 分類號: G02B26/00
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 孫云漢;申屠偉進

1.一種用于運行可調的光學諧振器（100）的方法（300），其中所述光學諧振器（100）具有：第一鏡面元件（102）；在鏡面距離方面能相對于所述第一鏡面元件（102）移動地布置的第二鏡面元件（104）；被分配給所述第一鏡面元件（102）的第一電極（106）；和被分配給所述第二鏡面元件（104）的第二電極（112），其中所述第二電極（112）與所述第一電極（106）對置地來布置，其中通過在所述第一電極（106）上施加第一交變電位（202），所述第二鏡面元件（104）能偏移，其中所述方法（300）包括如下步驟：

將具有驅動頻率的用于改變所述鏡面距離的驅動交變電位與具有探測頻率的用于探測所述鏡面距離的探測交變電位疊加（310），以便獲得所述第一交變電位（202）；

在所述第一電極（106）上施加（320）所述第一交變電位（202）；

量取（330）附在所述第二電極（112）上的電極電位（206）；而且

在使用交變電位（202）和電極電位（206）的情況下產生（340）表示所述鏡面距離的距離信號（U_out）。

2.根據權利要求1所述的方法（300），其中所述光學諧振器（100）具有第三電極（116），其中所述第二電極（112）與所述第三電極（116）對置地來布置，其中通過在所述第一電極（106）上施加所述第一交變電位（202）而在所述第三電極（116）上施加另一交變電位（204），所述第二鏡面元件（104）能雙向地偏移，其中在疊加（310）的步驟中，將具有另一驅動頻率的用于雙向地改變所述鏡面距離的另一驅動交變電位與具有另一探測頻率的用于探測所述鏡面距離的另一探測交變電位疊加，以便獲得所述另一交變電位（204），而且在施加（320）的步驟中，在所述第三電極（116）上施加所述另一交變電位（204）。

3.根據上述權利要求之一所述的方法（300），所述方法具有如下步驟：在使用所述電極電位（206）作為輸入信號（214）的情況下通過運算放大器（208）來將輸出信號（216）輸出，其中在產生（340）的步驟中，在使用所述輸出信號（216）的情況下產生所述距離信號（U_out）。

4.根據權利要求3所述的方法（300），其中在產生（340）的步驟中，所述輸出信號（216）在使用所述第一交變電位（202）的情況下被解調制，以便獲得直流電壓作為所述距離信號（U_out）。

5.根據上述權利要求之一所述的方法（300），其中在疊加（310）的步驟中，將所述驅動交變電位與如下探測交變電位疊加，所述探測交變電位的頻率大于所述光學諧振器（100）的機械諧振頻率。

6.根據權利要求2至5之一所述的方法（300），其中在施加（320）的步驟中，所述第一交變電位（202）與所述另一交變電位（204）反相。

7.一種設備（200），所述設備具有單元（208、218），所述單元被構造為：實施和/或操控根據上述權利要求之一所述的方法（300）。

8.一種光學諧振器（100），其具有如下特征：

第一鏡面元件（102）；

在鏡面距離方面能相對于所述第一鏡面元件（102）移動地布置的第二鏡面元件（104）；

被分配給所述第一鏡面元件（102）的第一電極（106）；

被分配給所述第二鏡面元件（104）的第二電極（112）；和

第三電極（116），其中所述第二電極（112）與所述第一電極（106）和所述第三電極（116）對置地來布置，其中通過在所述第一電極（106）上施加第一交變電位（202）而在所述第三電極（116）上施加另一交變電位（204），所述第二鏡面元件（104）能雙向地偏移。

9.根據權利要求8所述的光學諧振器（100），所述光學諧振器具有根據權利要求7所述的設備（200）。