[發明專利]一種檢測鋁蝕刻液中硝酸含量的方法在審
| 申請號： | 201910022341.1 | 申請日： | 2019-01-10 |
| 公開（公告）號： | CN109406433A | 公開（公告）日： | 2019-03-01 |
| 發明（設計）人： | 蔣萌;曾以亞;簡重光 | 申請（專利權）人： | 惠科股份有限公司 |
| 主分類號： | G01N21/31 | 分類號： | G01N21/31 |
| 代理公司： | 深圳中一專利商標事務所 44237 | 代理人： | 高星 |
| 地址： | 518000 廣東省深圳市寶安區石巖街道水田村民*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 硝酸 硝酸根離子 鋁蝕刻液 吸光度 待測樣品 標準溶液 紫外可見分光光度計 特征波長 線性公式 種檢測 稀釋 測試 標準曲線 檢測條件 濃度計算 紫外吸收 刻蝕液 波長 擬合 繪制 配置 申請 | ||
1.一種檢測鋁蝕刻液中硝酸含量的方法，其特征在于，采用紫外可見分光光度法檢測鋁蝕刻液中硝酸含量，包括以下步驟：
配置不同濃度的硝酸標準溶液；
在特征波長下，采用紫外可見分光光度計測試不同濃度的所述硝酸標準溶液的吸光度，繪制濃度-吸光度的標準曲線，擬合得到硝酸根離子的濃度-吸光度的線性公式，其中，所述特征波長為對硝酸根離子有紫外吸收的波長；
將待測鋁蝕刻液稀釋處理后獲得待測樣品，在與所述硝酸標準溶液相同的檢測條件下，采用紫外可見分光光度計測試所述待測樣品的吸光度，將測得的吸光度值代入所述線性公式中，計算所述待測樣品的硝酸根離子濃度；
根據待測樣品的稀釋倍數，計算所述待測鋁蝕刻液中的硝酸根離子濃度，根據所述待測鋁蝕刻液中的硝酸根離子濃度計算所述待測刻蝕液中硝酸的含量。
2.如權利要求1所述的檢測鋁蝕刻液中硝酸含量的方法，其特征在于，所述特征波長為300nm～310nm。
3.如權利要求1所述的檢測鋁蝕刻液中硝酸含量的方法，其特征在于，所述配置不同濃度的硝酸標準溶液的步驟包括：
提供濃硝酸，將所述濃硝酸稀釋至0.8～1.2mol/L，得到中間液；
用滴定法標定所述中間液，計算所述中間液中硝酸根離子的濃度；
將所述中間液稀釋成不同倍數，根據稀釋倍數，計算稀釋后的中間液的硝酸根離子濃度，得到不同濃度的硝酸標準溶液。
4.如權利要求3所述的檢測鋁蝕刻液中硝酸含量的方法，其特征在于，所述濃硝酸為質量分數為70％-75％的硝酸水溶液。
5.如權利要求3所述的檢測鋁蝕刻液中硝酸含量的方法，其特征在于，所述用滴定法標定所述中間液的步驟包括：以1.0mol/L的氫氧化鈉標準溶液作為滴定劑，采用自動電位滴定法進行滴定，選取第一個等當點作為滴定終點。
6.如權利要求3所述的檢測鋁蝕刻液中硝酸含量的方法，其特征在于，所述用滴定法標定所述中間液的步驟包括：以1.0mol/L的氫氧化鈉標準溶液作為滴定劑，以酚酞作為指示液，采用手動滴定法進行滴定。
7.如權利要求1-6任一項所述的檢測鋁蝕刻液中硝酸含量的方法，其特征在于，在檢測所述待測樣品的吸光度前，還包括采用已知濃度的濃硝酸對所述標準曲線進行校驗處理。
8.如權利要求1-6任一項所述的檢測鋁蝕刻液中硝酸含量的方法，其特征在于，所述待測樣品的稀釋倍數為10-30倍。
9.如權利要求3-6任一項所述的檢測鋁蝕刻液中硝酸含量的方法，其特征在于，將所述中間液稀釋成不同倍數的步驟中，稀釋倍數為10-200倍。
10.如權利要求1-6任一項所述的檢測鋁蝕刻液中硝酸含量的方法，其特征在于，所述不同濃度的硝酸標準溶液的份數大于等于5份。
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