[發明專利]動態冷卻劑混合歧管

在審

• 申請號: 201910022167.0
• 申請日: 2019-01-10
• 公開（公告）號: CN110021541A
• 公開（公告）日: 2019-07-16
• 發明（設計）人: 亞歷山大·查爾斯·馬卡奇
• 申請（專利權）人: 朗姆研究公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 上海勝康律師事務所 31263
• 代理人: 李獻忠;張華

1.一種用于控制布置在襯底支撐組件上的襯底的溫度的系統，該系統包括：

第一源和第二源，其分別供應在第一溫度和第二溫度下的流體；

第一三通比例閥，其具有連接到所述第一源的輸入端口、連接到供應管線以將所述流體從所述第一源供應到所述襯底支撐組件的第一輸出端口、以及連接到所述第一源的第二輸出端口；

第二三通比例閥，其具有連接到所述第二源的輸入端口、連接到所述供應管線以將所述流體從所述第二源供應到所述襯底支撐組件的第一輸出端口、以及連接到所述第二源的第二輸出端口；

第三三通比例閥，其具有連接到返回管線以從所述襯底支撐組件接收所述流體的輸入端口，分別連接到所述第一源和所述第二源以將從所述襯底支撐組件接收的所述流體返回到所述第一源和所述第二源的第一輸出端口和第二輸出端口；和

控制器，其用以：

控制所述第一三通比例閥和第二三通比例閥以：

將經由相應的所述輸入端口從所述第一源和所述第二源接收的流體的第一部分輸出，以經由所述供應管線以預定溫度和預定流速將所述流體供應到所述襯底支撐組件；以及

將通過相應的所述輸入端口從所述第一源和所述第二源接收的所述流體的第二部分分別經由所述第一三通比例閥和第二三通比例閥的所述第二輸出端口返回到所述第一源和所述第二源；以及

控制所述第三三通比例閥，以將經由所述返回管線從所述襯底支撐組件接收的所述流體在所述第一源和所述第二源之間分配。

2.根據權利要求1所述的系統，其中，所述控制器基于經由所述供應管線以所述預定溫度和所述預定流速供應到所述襯底支撐組件的所述流體來控制所述襯底的溫度。

3.根據權利要求1所述的系統，其中所述第一源和所述第二源以固定流速將所述流體供應到所述第一三通比例閥和第二三通比例閥。

4.根據權利要求1所述的系統，其還包括：

與所述供應管線相關聯的溫度傳感器；和

與所述返回管線相關聯的流量計，

其中所述控制器基于從所述溫度傳感器和所述流量計接收的數據控制所述第一三通比例閥和第二三通比例閥。

5.根據權利要求1所述的系統，其中，所述控制器基于所述第一源和所述第二源中的每一個中的所述流體的重量的指示來控制所述第三三通比例閥。

6.根據權利要求1所述的系統，其中所述第三三通比例閥將從所述襯底支撐組件接收的所述流體在所述第一源和所述第二源之間分配，以將所述第一源和所述第二源的流體水平保持在第一閾值和第二閾值之間。

7.根據權利要求1所述的系統，其還包括將所述第一三通比例閥、所述第二三通比例閥和所述第三三通比例閥，以及將所述第一源和所述第二源連接到所述第一三通比例閥、所述第二三通比例閥和所述第三三通比例閥的流體管線包圍的外殼，其中所述外殼包括入口和出口，并且其中氮氣經由所述入口和所述出口穿過所述外殼，以從所述外殼中排出潮濕空氣。

8.一種用于控制布置在襯底支撐組件上的襯底的溫度的系統，該系統包括：

第一源和第二源，其分別以所述固定流速供應在第一溫度和第二溫度下的流體；

第一三通比例閥和第二三通比例閥，其用于從所述第一源和所述第二源接收固定流速的在所述第一溫度和第二溫度下的流體，以混合所接收的所述流體的第一部分以將具有預定溫度的所述流體以預定流速供應到所述襯底支撐組件，并使所接收的所述流體的第二部分返回到所述第一源和所述第二源；

第三三通比例閥，其用于從襯底支撐組件接收所述預定流速的所述流體，并將從所述襯底支撐組件接收的所述流體返回到所述第一源和所述第二源；和

控制器，其用于控制所述第一三通比例閥和所述第二三通比例閥以便以所述預定流速將具有所述預定溫度的流體供應到所述襯底支撐組件，以及用于控制所述第三三通比例閥以將從所述襯底支撐組件接收的所述流體在所述第一源和所述第二源之間分配。