[發明專利]振動器件及其制造方法、電路裝置、電子設備和移動體

有效

• 申請號: 201910015092.3
• 申請日: 2019-01-08
• 公開（公告）號: CN110022132B
• 公開（公告）日: 2023-06-02
• 發明（設計）人: 木屋洋
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: H03B5/32
• 分類號: H03B5/32
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 鄧毅;劉暢

本發明提供振動器件及其制造方法、電路裝置、電子設備和移動體，能夠實現振子的穩定支承和振子的振動特性的提高。振動器件包含：振子，其具有第1和第2電極；以及電路裝置，其具有驅動電路和輸出電路，該驅動電路對振子進行驅動，該輸出電路輸出與被驅動電路驅動時的振子的振動特性對應的監測信號。電路裝置包含：第1端子，其與第1電極電連接，輸出從驅動電路到振子的輸出信號；第2端子，其與第2電極電連接，被輸入從振子到驅動電路的輸入信號；第3端子，其不與振子的第1電極和第2電極電連接；以及監測端子，其輸出監測信號。振子利用設置于第1、第2和第3端子的導電性凸塊而被支承在電路裝置的有源面側。

技術領域

本發明涉及振動器件、電路裝置、振動器件的制造方法、電子設備以及移動體等。

背景技術

作為使用了振子的振動器件的現有技術，具有專利文獻1、2所公開的技術。專利文獻1是作為振動器件之一的振蕩器的現有技術，公開了振子的頻率調整方法。在該頻率調整方法中，通過從離子槍向振子照射離子束而將振子的一部分去除，使振子的質量減少。此時使用設置在振子與離子槍之間的遮光器對質量的去除量進行調整，從而調整振子的振蕩頻率。專利文獻2是作為振動器件之一的陀螺儀傳感器(物理量測量裝置)的現有技術，公開了振子的檢測失諧(detection?detuning)的調整方法。在該調整方法中，根據使振動模式的諧振頻率發生變化時的泄漏振動信號的變化來測量檢測失諧。然后，根據該測量值，對驅動模式下的振動的諧振頻率和該檢測模式下的振動的諧振頻率中的至少一方進行調整，從而調整振子的檢測失諧。

專利文獻1：日本特開2013-74360號公報

專利文獻2：日本特開2004-286476號公報

通過使用這樣的調整方法，實現了振子的振動特性的提高。但是，振子的振動特性會根據溫度變化等環境變化而發生變動，或者隨著被稱為老化的時間變化而發生變動。例如，在專利文獻1和2的振動器件中，為了將振子固定于振動器件的封裝體，有時使用粘接劑。在該情況下，當對粘接劑施加熱時，振子的振動特性因排氣等原因而隨時間發生變化。并且，在現有技術的方法中，在對振子單體進行了振動特性的調整之后，將振子和電路裝置安裝在封裝體中而作為產品來出廠。但是，振動器件在產品狀態下通過電路裝置的驅動電路來進行驅動，從而使振子進行振動。因此，僅通過對振子單體的振動特性的調整，無法實現振動特性的適當調整。

發明內容

本發明是為了解決上述課題的至少一部分而完成的，能夠作為以下方式或形式來實現。

本發明的一個方式涉及振動器件，該振動器件包含：振子，其具有第1電極和第2電極；以及電路裝置，其具有驅動電路和輸出電路，該驅動電路對所述振子進行驅動，該輸出電路輸出與被所述驅動電路驅動時的所述振子的振動特性對應的監測信號，所述電路裝置包含：第1端子，其與所述第1電極電連接，輸出從所述驅動電路到所述振子的輸出信號；第2端子，其與所述第2電極電連接，被輸入從所述振子到所述驅動電路的輸入信號；第3端子，其不與所述第1電極和所述第2電極電連接；以及監測端子，其輸出所述監測信號，所述振子利用設置于所述第1端子、所述第2端子和所述第3端子的導電性凸塊而被支承在所述電路裝置的有源面側。