[發明專利]一種MEMS照明器件及照明方法

在審

• 申請號: 201910014278.7
• 申請日: 2019-01-08
• 公開（公告）號: CN109917542A
• 公開（公告）日: 2019-06-21
• 發明（設計）人: 汪際軍
• 申請（專利權）人: 全普光電科技（上海）有限公司
• 主分類號: G02B26/08
• 分類號: G02B26/08
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明提供了一種MEMS照明器件及照明方法，將光發射單元集成于MEMS掃描微鏡的反射鏡中，MEMS掃描微鏡沿著扭臂進行擺動，每擺動一次，光發射單元擺動并發射出隨之擺動的光束，從而實現動態發光。因此，本發明的MEMS發光微鏡可以應用于照明領域，實現光源的動態發射，提高發光均勻性，降低光能損耗，提高光束亮度和強度。

技術領域

本發明涉及照明技術領域，具體涉及一種MEMS照明器件及照明方法。

背景技術

半導體發光器件是利用光電效應或熱電效應制成的器件。光電器件主要有， 利用半導體光敏特性工作的光電導器件，利用半導體光伏效應制作的光電池和 半導體發光器件。

在半導體發光器件的一種應用中，探測器利用發光器件發出的光來探測物 體，通過反射光線來分析，從而實現探測。這種發光源是靜態的。同樣，在現 有的光照明或光輻射領域，光源都是靜態的。靜態光源的出光角度會受到很大 限制。并且，往往具有照射頻率低，獲取圖像信息速率慢，圖像分辨率低的缺 點。在眾多領域，比如、探測、醫療、照明等領域，受到一定的限制。例如， 探測領域由于掃描與發光器件分離，導致能量損失；醫療領域，需要更高的掃 描速率和分辨率來分辨病灶；照明領域，需要更高的亮度和光束的均勻性等。

MEMS微鏡是指采用光學MEMS技術制造的，把微光反射鏡與MEMS驅 動器集成在一起的光學MEMS器件。MEMS掃描微鏡基于MEMS微機電系統 的快速掃描模式，獲取圖像的分辨率較高，光束損耗小。

因此，研究將MEMS微鏡與發光器件集成，將會對光探測、光照明以及醫 療方面都具有重要意義。

發明內容

為了克服以上問題，本發明旨在提供一種MEMS照明器件，將發光器件與 MEMS掃描微鏡芯片集成于一體，實現了光束的動態發射，光束均勻和保證了 較高的光亮度。

為了達到上述目的，本發明提供了一種MEMS照明器件，包括：

MEMS掃描微鏡芯片，包含反射鏡；反射鏡懸浮在整個芯片中；

紅光發射單元、綠光發射單元和紅光反射單元，分別設置于反射鏡中，用 于向外界發射可見光束；其中，MEMS掃描微鏡沿著扭臂進行擺動，每擺動一 次，所述紅光發射單元、綠光發射單元和紅光反射單元隨之擺動并發射出隨之 擺動的光束，從而實現動態發光。

優選地，還包括：微透明罩；所述微透明罩設置于所述MEMS掃描微鏡芯 片上，用于將所述紅光發射單元、綠光發射單元和紅光反射單元發射的光透射 到外界。

優選地，所述反射鏡通過磁場懸浮在整個芯片中；或者所述MEMS掃描微 鏡芯片還具有扭臂；所述反射鏡通過扭臂懸架在整個芯片中。

優選地，所述MEMS掃描微鏡芯片周圍設置有驅動電路單元，分別連接所 述扭臂和所述紅光發射單元、綠光發射單元和紅光反射單元，用于控制扭臂的 旋轉和所述紅光發射單元、綠光發射單元和紅光反射單元的發光。

優選地，所述紅光發射單元、綠光發射單元和紅光反射單元為激光發射器。

優選地，所述芯片具有溝槽，所述反射鏡置于所述溝槽中，并且通過扭臂 連接所述反射鏡外圍的芯片部分；所述反射鏡通過扭臂進行扭轉。

優選地，環繞反射鏡的芯片中具有互連電路；所述互連電路連接所述反射 鏡和所述光發射單元；所述芯片至少包括：

處理器，與所述扭臂和所述紅光發射單元、綠光發射單元和紅光反射單元 分別相電連，用于處理所述反射鏡的驅動邏輯和所述紅光發射單元、綠光發射 單元和紅光反射單元的信息傳輸邏輯。

優選地，所述MEMS發光微鏡的厚度不大于500μm。

優選地，所述MEMS掃描微鏡芯片為雙軸MEMS掃描微鏡芯片。