[發(fā)明專利]一種MEMS照明器件及照明方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910014278.7
• 申請日: 2019-01-08
• 公開（公告）號: CN109917542A
• 公開（公告）日: 2019-06-21
• 發(fā)明（設計）人: 汪際軍
• 申請（專利權）人: 全普光電科技（上海）有限公司
• 主分類號: G02B26/08
• 分類號: G02B26/08
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種MEMS照明器件，其特征在于，包括：

MEMS掃描微鏡芯片，包含反射鏡；反射鏡懸浮在整個芯片中；

紅光發(fā)射單元、綠光發(fā)射單元和紅光反射單元，分別設置于反射鏡中，用于向外界發(fā)射可見光束；其中，MEMS掃描微鏡沿著扭臂進行擺動，每擺動一次，所述紅光發(fā)射單元、綠光發(fā)射單元和紅光反射單元隨之擺動并發(fā)射出隨之擺動的光束，從而實現動態(tài)發(fā)光。

2.根據權利要求1所述的MEMS照明器件，其特征在于，還包括：微透明罩；所述微透明罩設置于所述MEMS掃描微鏡芯片上，用于將所述紅光發(fā)射單元、綠光發(fā)射單元和紅光反射單元發(fā)射的光透射到外界。

3.根據權利要求1所述的MEMS照明器件，其特征在于，所述反射鏡通過磁場懸浮在整個芯片中；或者所述MEMS掃描微鏡芯片還具有扭臂；所述反射鏡通過扭臂懸架在整個芯片中。

4.根據權利要求1所述的MEMS照明器件，其特征在于，所述MEMS掃描微鏡芯片周圍設置有驅動電路單元，分別連接所述扭臂和所述紅光發(fā)射單元、綠光發(fā)射單元和紅光反射單元，用于控制扭臂的旋轉和所述紅光發(fā)射單元、綠光發(fā)射單元和紅光反射單元的發(fā)光。

5.根據權利要求1所述的MEMS照明器件，其特征在于，所述紅光發(fā)射單元、綠光發(fā)射單元和紅光反射單元為激光發(fā)射器。

6.根據權利要求1所述的MEMS照明器件，其特征在于，所述芯片具有溝槽，所述反射鏡置于所述溝槽中，并且通過扭臂連接所述反射鏡外圍的芯片部分；所述反射鏡通過扭臂進行扭轉。

7.根據權利要求6所述的MEMS照明器件，其特征在于，

環(huán)繞反射鏡的芯片中具有互連電路；所述互連電路連接所述反射鏡和所述光發(fā)射單元；所述芯片至少包括：

處理器，與所述扭臂和所述紅光發(fā)射單元、綠光發(fā)射單元和紅光反射單元分別相電連，用于處理所述反射鏡的驅動邏輯和所述紅光發(fā)射單元、綠光發(fā)射單元和紅光反射單元的信息傳輸邏輯。

8.根據權利要求1所述的MEMS照明器件，其特征在于，所述MEMS發(fā)光微鏡的厚度不大于500μm。

9.根據權利要求2所述的MEMS照明器件，其特征在于，所述MEMS掃描微鏡芯片為雙軸MEMS掃描微鏡芯片。

10.一種采用權利要求1所述的MEMS照明器件的照明方法，其特征在于，包括：所述反射鏡沿著扭臂進行擺動，同時紅光發(fā)射單元、綠光發(fā)射單元和紅光反射單元向外發(fā)射光束，并且伴隨著所述反射鏡的擺動，所發(fā)射的光束也進行擺動。

11.根據權利要求10所述的照明方法，其特征在于，所述反射鏡每擺動一次，所述紅光發(fā)射單元、綠光發(fā)射單元和紅光反射單元向外發(fā)射一個角度的光束；所述反射鏡在X方向擺動，使得所述光發(fā)射單元向外發(fā)射出沿X方向的光束，所述反射鏡在Y方向擺動一次，所述光發(fā)射單元向外發(fā)射的光束沿Y方向移動一次。