[發明專利]一種氣體制備設備

在審

• 申請號: 201910004610.1
• 申請日: 2019-01-03
• 公開（公告）號: CN109482108A
• 公開（公告）日: 2019-03-19
• 發明（設計）人: 李東升
• 申請（專利權）人: 上海正帆科技股份有限公司
• 主分類號: B01J7/00
• 分類號: B01J7/00
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 胡彬

本發明涉及半導體技術領域，尤其涉及一種氣體制備設備。本發明提供的氣體制備設備包括容器、法蘭密封組件和密封罩。其中，容器包括上封頭和筒體，并通過法蘭密封組件密封連接，通過密封罩與容器外壁構成密封空間，對法蘭密封組件進行密封，提高氣體制備設備的密封效果，當氣體制備設備在正壓使用時，即便法蘭密封失效，也能有效避免電子特氣泄漏，從而避免發生安全事故和環境污染。

技術領域

本發明涉及半導體技術領域，尤其涉及一種氣體制備設備。

背景技術

隨著科技的不斷發展，電子特氣作為基礎性支撐源材料，在半導體、微電子和太陽能電池等高科技產業中的應用越來越廣泛，電子特氣的制備和提純規模也越來越大。電子特氣通常具有易燃、劇毒和腐蝕等危險性，對操作人員存在一定的安全隱患，且在電子工業中，電子特氣的純度通常要求達到99.9999％以上。

傳統的電子特氣制備設備包括上封頭、筒體和法蘭密封組件，其中上封頭和筒體通過法蘭密封組件進行密封，法蘭密封組件通常包括法蘭、密封墊和緊固螺栓。但是，隨著法蘭尺寸的增大，電子特氣制備設備在高溫、高壓和高真空條件下，法蘭的密封性和可靠性變差，電子特氣制備設備在正壓的使用情況下，會出現電子特氣泄漏的情況，引發安全事故或污染環境。

基于此，亟待發明一種具有良好密封效果的氣體制備設備，當氣體制備設備在正壓使用時，可有效避免電子特氣的泄漏。

發明內容

基于以上所述，本發明的目的在于提供一種氣體制備設備，密封效果良好，當氣體制備設備在正壓使用時，可有效避免電子特氣的泄漏。

為達上述目的，本發明采用以下技術方案：

一種氣體制備設備，包括容器，所述容器包括上封頭和筒體，所述上封頭和所述筒體通過法蘭密封組件密封連接，所述氣體制備設備還包括密封罩，所述密封罩與所述容器外壁共同構成密封空間，以密封所述法蘭密封組件。

可選地，所述密封罩包括兩個呈半圓環形的殼體，所述殼體包括依次連接呈U形的第一板、第二板以及第三板，所述第二板的兩端分別彎折連接有第一連接板和第二連接板，兩個所述殼體的所述第一連接板抵接固定，兩個所述殼體的所述第二連接板抵接固定，以使兩個所述殼體合圍形成一體結構。

可選地，所述氣體制備設備還包括抽氣組件，所述抽氣組件被配置為將所述密封空間中的氣體抽出。

可選地，所述抽氣組件包括：

抽氣管和動力組件，所述抽氣管分別與所述動力組件和所述密封空間相連通；以及

抽氣控制閥，設置在所述抽氣管上。

可選地，所述抽氣管上還設置有泄漏偵測裝置。

可選地，所述氣體制備設備包括惰性氣體發生裝置，所述惰性氣體發生裝置與所述密封空間相連通。

可選地，所述氣體制備設備還包括進氣管和惰性氣體發生器，所述進氣管的一端與所述密封空間相連通，另一端與所述惰性氣體發生器相連通。

可選地，所述惰性氣體發生器為氮氣發生器。

可選地，所述進氣管上設置有進氣控制閥，所述進氣控制閥被配置為控制所述進氣管內氣體流量的大小。

可選地，所述密封罩上設置有壓力監測裝置，所述壓力監測裝置被配置為檢測所述密封空間的內部壓力。

本發明的有益效果為：

本發明提供的氣體制備設備包括容器、法蘭密封組件和密封罩。其中，容器包括上封頭和筒體，并通過法蘭密封組件密封連接，通過密封罩與容器外壁構成密封空間，對法蘭密封組件進行密封，提高氣體制備設備的密封效果，當氣體制備設備在正壓使用時，即便法蘭密封失效，也能有效避免電子特氣泄漏，從而避免發生安全事故和環境污染。