[發明專利]一種氣體制備設備

在審

• 申請號: 201910004610.1
• 申請日: 2019-01-03
• 公開（公告）號: CN109482108A
• 公開（公告）日: 2019-03-19
• 發明（設計）人: 李東升
• 申請（專利權）人: 上海正帆科技股份有限公司
• 主分類號: B01J7/00
• 分類號: B01J7/00
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 胡彬

1.一種氣體制備設備，包括容器(300)，所述容器(300)包括上封頭(301)和筒體(302)，所述上封頭(301)和所述筒體(302)通過法蘭密封組件(200)密封連接，其特征在于，所述氣體制備設備還包括密封罩(1)，所述密封罩(1)與所述容器(300)外壁共同構成密封空間，以密封所述法蘭密封組件(200)。

2.根據權利要求1所述的氣體制備設備，其特征在于，所述密封罩(1)包括兩個半圓環形的殼體，所述殼體包括依次連接呈U形的第一板、第二板(12)以及第三板，所述第二板(12)的兩端分別彎折連接有第一連接板(11)和第二連接板(13)，兩個所述殼體的所述第一連接板(11)抵接固定，兩個所述殼體的所述第二連接板(13)抵接固定，以使兩個所述殼體合圍形成一體結構。

3.根據權利要求2所述的氣體制備設備，其特征在于，所述氣體制備設備還包括抽氣組件(4)，所述抽氣組件(4)被配置為將所述密封空間中的氣體抽出。

4.根據權利要求3所述的氣體制備設備，其特征在于，所述抽氣組件(4)包括：

抽氣管(41)和動力組件(43)，所述抽氣管(41)分別與所述動力組件(43)和所述密封空間相連通；以及

抽氣控制閥(42)，設置在所述抽氣管(41)上。

5.根據權利要求4所述的氣體制備設備，其特征在于，所述抽氣管(41)上還設置有泄漏偵測裝置(5)。

6.根據權利要求5所述的氣體制備設備，其特征在于，所述氣體制備設備包括惰性氣體發生裝置(3)，所述惰性氣體發生裝置(3)與所述密封空間相連通。

7.根據權利要求6所述的氣體制備設備，其特征在于，所述氣體制備設備還包括進氣管(31)和惰性氣體發生器(33)，所述進氣管(31)的一端與所述密封空間相連通，另一端與所述惰性氣體發生器(33)相連通。

8.根據權利要求7所述的氣體制備設備，其特征在于，所述惰性氣體發生器(33)為氮氣發生器。

9.根據權利要求7所述的氣體制備設備，其特征在于，所述進氣管(31)上設置有進氣控制閥(32)，所述進氣控制閥(32)被配置為控制所述進氣管(31)內氣體流量的大小。

10.根據權利要求1～9任一項所述的氣體制備設備，其特征在于，所述密封罩(1)上設置有壓力監測裝置(2)，所述壓力監測裝置(2)被配置為檢測所述密封空間的內部壓力。