[發明專利]一種掩膜板安裝架及掩膜板組件有效
| 申請號: | 201910001920.8 | 申請日: | 2019-01-02 |
| 公開(公告)號: | CN109468587B | 公開(公告)日: | 2021-01-26 |
| 發明(設計)人: | 姚陽;楊凡;代科;王志強;鄭小龍 | 申請(專利權)人: | 京東方科技集團股份有限公司;成都京東方光電科技有限公司 |
| 主分類號: | C23C14/04 | 分類號: | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司: | 北京中博世達專利商標代理有限公司 11274 | 代理人: | 申健 |
| 地址: | 100015 *** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 掩膜板 安裝 組件 | ||
本發明公開了一種掩膜板安裝架及掩膜板組件,涉及掩膜板技術領域,用于解決相關技術中的掩膜板安裝架不能很好地適應掩膜板的寬度的改變的問題而發明。該掩膜板安裝架,包括框體和多個第一固定單元,多個第一固定單元均設置于框體上并且沿第一方向相隔排布,框體具有開口,第一固定單元包括兩個均與框體活動連接的第一子固定單元,在第二方向上,兩個第一子固定單元分別位于開口的兩側并且相對設置;第一子固定單元包括第一本體以及設置于第一本體上的第一連接部,第一連接部用于與掩膜板相連接,在第一方向、第二方向上,第一連接部相對框體的位置均可調節。本發明可用于掩膜板的張網調節。
技術領域
本發明涉及掩膜板技術領域,尤其涉及一種掩膜板安裝架及掩膜板組件。
背景技術
有機電致發光(OLED,Organic Light-Emitting Diode)器件具有自發光、反應時間快、視角廣、成本低、制造工藝簡單、分辨率佳及高亮度等多項優點,被認為是下一代的平面顯示器新興的應用技術。在OLED器件的生產過程中,真空蒸鍍是一個重要工藝,OLED有機蒸鍍是利用高精度掩膜板作為模具,有機材料高溫揮發后以材料分子狀態透過掩膜板上的有效開口區內的掩膜開口蒸鍍到背板玻璃上。其中,掩膜板的平坦度直接影響蒸鍍的效果,面板的分辨率越高,所需的掩膜板也就越精細,進而對掩膜板的平坦度要求也就越高。
為了保證掩膜板03的平坦度,相關技術中提供了一種掩膜板03安裝架,如圖1所示,包括框體01和拉伸單元02,框體01具有開口011,拉伸單元02包括兩個均與框體01活動連接的第一子拉伸單元021,在第一方向X上,兩個第一子拉伸單元021分別位于開口011的兩側且相對設置,兩個第一子拉伸單元021分別與掩膜板03的兩端一一對應連接,每個第一子拉伸單元021在第一方向X上相對框體01的位置均可以調節。在蒸鍍后,如果掩膜板03出現松弛、下垂,可以通過調節兩個第一子拉伸單元021在第一方向X上相對框體01的位置,來使掩膜板03重新張緊,從而可以使掩膜板03與蒸鍍基板完全貼合。
掩膜板03在使用一段時間后需要更換,然而,上述掩膜板03安裝架不能很好地適應更換不同寬度的掩膜板03,比如當更換后的掩膜板03的寬度較大時,這樣使得相鄰的兩個掩膜板03之間的距離過小,那么相鄰的兩個掩膜板03的邊緣在外力的作用下(比如運送過程中的振動)很容易重疊接觸而造成掩膜板03的損壞;當更換后的掩膜板03的寬度較小時,這樣使得相鄰的兩個掩膜板03之間的距離過大,從而使得基板上蒸鍍區域減少,使得一塊基板所能切割出的顯示面板的數量減少,大大降低了基板的面積利用率。
發明內容
本發明實施例提供一種掩膜板安裝架及掩膜板組件,用于解決相關技術中的掩膜板安裝架不能很好地適應掩膜板的寬度的改變的問題。
為達到上述目的,第一方面,本發明實施例提供了一種掩膜板安裝架,包括框體和多個第一固定單元,多個所述第一固定單元均設置于所述框體上并且沿第一方向相隔排布,所述第一方向為與所述框體的厚度方向相垂直的方向,所述框體具有開口,針對每個所述第一固定單元,所述第一固定單元包括兩個均與所述框體活動連接的第一子固定單元,在第二方向上,兩個所述第一子固定單元分別位于所述開口的兩側并且相對設置,所述第二方向為與所述框體的厚度方向、所述第一方向均相垂直的方向;針對所述第一固定單元中的每個所述第一子固定單元,所述第一子固定單元包括第一本體以及設置于所述第一本體上的第一連接部,所述第一連接部用于與掩膜板相連接,在所述第一方向、所述第二方向上,所述第一連接部相對所述框體的位置均可調節。
進一步地,所述第一子固定單元還包括第一調節螺桿以及第二調節螺桿,所述第一本體在所述第一方向、所述第二方向上均可相對所述框體移動;所述第一調節螺桿沿所述第二方向延伸,并且均與所述框體、所述第一本體可轉動連接,當所述第一調節螺桿轉動時,所述第一本體可沿所述第二方向相對所述框體運動;所述第二調節螺桿沿所述第一方向延伸,并且均與所述框體、所述第一本體可轉動連接,當所述第二調節螺桿轉動時,所述第一本體能夠沿所述第一方向相對所述框體運動。
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