[發(fā)明專利]一種掩膜板安裝架及掩膜板組件

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910001920.8
• 申請(qǐng)日: 2019-01-02
• 公開（公告）號(hào): CN109468587B
• 公開（公告）日: 2021-01-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 姚陽;楊凡;代科;王志強(qiáng);鄭小龍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司;成都京東方光電科技有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/04
• 分類號(hào): C23C14/04;C23C14/24
• 代理公司: 北京中博世達(dá)專利商標(biāo)代理有限公司 11274
• 代理人: 申健

1.一種掩膜板安裝架，其特征在于，包括框體和多個(gè)第一固定單元，多個(gè)所述第一固定單元均設(shè)置于所述框體上并且沿第一方向相隔排布，所述第一方向?yàn)榕c所述框體的厚度方向相垂直的方向，所述框體具有開口，針對(duì)每個(gè)所述第一固定單元，所述第一固定單元包括兩個(gè)均與所述框體活動(dòng)連接的第一子固定單元，在第二方向上，兩個(gè)所述第一子固定單元分別位于所述開口的兩側(cè)并且相對(duì)設(shè)置，所述第二方向?yàn)榕c所述框體的厚度方向、所述第一方向均相垂直的方向；針對(duì)所述第一固定單元中的每個(gè)所述第一子固定單元，所述第一子固定單元包括第一本體以及設(shè)置于所述第一本體上的第一連接部，所述第一連接部用于與掩膜板相連接，在所述第一方向、所述第二方向上，所述第一連接部相對(duì)所述框體的位置均可調(diào)節(jié)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜板安裝架，其特征在于，所述第一子固定單元還包括第一調(diào)節(jié)螺桿以及第二調(diào)節(jié)螺桿，所述第一本體在所述第一方向、所述第二方向上均可相對(duì)所述框體移動(dòng)；

所述第一調(diào)節(jié)螺桿沿所述第二方向延伸，并且均與所述框體、所述第一本體可轉(zhuǎn)動(dòng)連接，當(dāng)所述第一調(diào)節(jié)螺桿轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，所述第一本體可沿所述第二方向相對(duì)所述框體運(yùn)動(dòng)；

所述第二調(diào)節(jié)螺桿沿所述第一方向延伸，并且均與所述框體、所述第一本體可轉(zhuǎn)動(dòng)連接，當(dāng)所述第二調(diào)節(jié)螺桿轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，所述第一本體能夠沿所述第一方向相對(duì)所述框體運(yùn)動(dòng)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的掩膜板安裝架，其特征在于，所述框體上開設(shè)有第一螺紋孔，所述第一螺紋孔沿所述第二方向延伸，所述第一調(diào)節(jié)螺桿配合穿過所述第一螺紋孔后與所述第一本體可轉(zhuǎn)動(dòng)卡接，以使所述第一調(diào)節(jié)螺桿與所述第一本體在所述第二方向上的位置相對(duì)固定；

所述框體上開設(shè)有滑槽，所述滑槽沿所述第二方向延伸，所述第一本體上開設(shè)有第二螺紋孔，所述第二螺紋孔沿所述第一方向延伸，所述第二調(diào)節(jié)螺桿配合穿過所述第二螺紋孔后伸入到所述滑槽中，所述第二調(diào)節(jié)螺桿與所述滑槽滑動(dòng)配合并且還與所述滑槽可轉(zhuǎn)動(dòng)卡接，以使所述第二調(diào)節(jié)螺桿與所述框體在所述第一方向上的位置相對(duì)固定。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜板安裝架，其特征在于，所述第一連接部為夾緊機(jī)構(gòu)，所述夾緊機(jī)構(gòu)包括第一夾體和第二夾體，所述第一夾體、所述第二夾體均設(shè)置于所述第一本體上，在所述框體的厚度方向上，所述第一夾體和所述第二夾體之間可相對(duì)移動(dòng)，以使所述夾緊機(jī)構(gòu)在夾緊狀態(tài)和松開狀態(tài)之間切換。

5.根據(jù)權(quán)利要求1～4中任一項(xiàng)所述的掩膜板安裝架，其特征在于，在所述框體的厚度方向上，所述第一連接部相對(duì)所述框體的位置可調(diào)節(jié)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的掩膜板安裝架，其特征在于，所述第一子固定單元還包括第三調(diào)節(jié)螺桿，所述第一本體在所述第一方向、所述第二方向上均可相對(duì)所述框體移動(dòng)；所述第一本體包括第一子本體和第二子本體，在所述框體的厚度方向上，所述第一子本體與所述框體的位置相對(duì)固定，并且所述第二子本體可相對(duì)所述框體移動(dòng)；

所述第一連接部為夾緊機(jī)構(gòu)，所述夾緊機(jī)構(gòu)包括第一夾體和第二夾體，所述第一夾體設(shè)置于所述第一子本體上，并且在所述框體的厚度方向上可相對(duì)所述第一子本體移動(dòng)，所述第二夾體固定設(shè)置于所述第二子本體上；

所述第三調(diào)節(jié)螺桿包括第一子螺桿和第二子螺桿，所述第一子本體上開設(shè)有第三螺紋孔和第四螺紋孔，所述第三螺紋孔、所述第四螺紋孔均沿所述框體的厚度方向延伸，所述第一子螺桿配合穿過所述第三螺紋孔后與所述第一夾體可轉(zhuǎn)動(dòng)卡接，以使所述第一子螺桿與所述第一夾體在所述框體的厚度方向上的位置相對(duì)固定；所述第二子螺桿配合穿過所述第四螺紋孔后與所述第二子本體可轉(zhuǎn)動(dòng)卡接，以使所述第一子螺桿與所述第二子本體在所述框體的厚度方向上的位置相對(duì)固定。