[發明專利]元件安裝裝置

有效

• 申請號: 201880099589.1
• 申請日: 2018-11-21
• 公開（公告）號: CN113170607B
• 公開（公告）日: 2023-01-31
• 發明（設計）人: 大月孝浩;清水利律
• 申請（專利權）人: 株式會社富士
• 主分類號: H05K13/04
• 分類號: H05K13/04
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219
• 代理人: 楊青;安翔

元件安裝裝置具備設置成能夠通過水平移動裝置而在水平方向上移動并測定基板表面的高度的基板高度傳感器。元件安裝裝置使基板高度傳感器向多個測定點水平移動并且在多個測定點處分別測定基板表面的高度。接著，元件安裝裝置基于測定出的基板表面的高度來求出基板表面中的目標安裝位置的水平方向上的位置偏差。并且，元件安裝裝置基于測定出的基板表面的垂直方向上的高度來求出目標安裝位置的垂直方向上的位置偏差。并且，元件安裝裝置基于求出的水平方向上的位置偏差和垂直方向上的位置偏差來校正目標安裝位置，并將元件向校正后的位置安裝。

技術領域

本說明書公開了元件安裝裝置。

背景技術

以往，提出了一種元件安裝裝置，利用頭部具備的吸嘴來吸附由元件供給裝置供給的電子元件，輸送吸附的元件并將其向基板表面安裝(參照例如專利文獻1)。該元件安裝裝置在頭部具備激光傳感器，利用激光傳感器來測定基板的表面高度。并且，元件安裝裝置基于測定到的基板的表面高度來對安裝高度的值進行校正，基于校正后的安裝高度而向基板表面安裝元件。

另外，還提出了一種元件安裝裝置，計測基板的翹曲高度，根據計測到的翹曲高度來算出安裝位置的XY方向(水平方向)上的位置偏差量，基于算出的位置偏差量來修改頭部的移動量并安裝元件(參照例如專利文獻2)。該元件安裝裝置具備在基板搬運輸送機的相向的基板按壓塊之間的空間(被基板按壓塊把持的基板的背面側)配置的角度傳感器(非接觸型的光學式傳感器)。元件安裝裝置通過角度傳感器來計測基板的翹曲高度。

在先技術文獻

專利文獻1：日本特開2010-186940號公報

專利文獻2：日本特開2014-3153號公報

然而，專利文獻1記載的元件安裝裝置雖然能夠校正安裝高度，但是對于由基板表面的傾斜引起的水平方向上的位置偏差沒有任何考慮。另外，專利文獻2記載的元件安裝裝置通過在基板的背面側設置的角度傳感器(非接觸型的光學式傳感器)來推定基板的翹曲，因此對于在基板中產生凹凸或基板均勻地傾斜等其他傾斜方式無法充分地應對。

發明內容

本公開的主要目的在于能夠更適當地校正由基板表面的傾斜引起的水平方向的元件的位置偏差。

本公開為了達成上述的主要目的而采用了以下的手段。

本公開為一種元件安裝裝置，將元件向由基板輸送裝置輸送的基板的基板表面安裝，

上述元件安裝裝置具備：

頭部，具有保持元件的保持部件；

水平移動裝置，使上述頭部相對于上述基板表面在水平方向上移動；

垂直移動裝置，使上述保持部件相對于上述基板表面在垂直方向上移動；

基板高度傳感器，設置成能夠通過上述水平移動裝置而在上述水平方向上移動，測定上述基板表面的高度；及

控制裝置，對上述水平移動裝置和上述基板高度傳感器進行控制以使上述基板高度傳感器向多個測定點水平移動并且在上述多個測定點處分別測定上述基板表面的高度，上述控制裝置基于在上述多個測定點處分別測定出的上述基板表面的高度來求出上述基板表面的傾斜角，基于求出的上述基板表面的傾斜角來求出上述基板表面中的目標安裝位置的水平方向上的位置偏差并且基于測定出的上述基板表面的高度來求出上述目標安裝位置的垂直方向上的位置偏差，基于求出的上述水平方向上的位置偏差和上述垂直方向上的位置偏差來校正上述目標安裝位置，對上述頭部、上述水平移動裝置和上述垂直移動裝置進行控制以將上述元件向校正后的位置安裝。