[發明專利]X射線分析裝置

在審

• 申請號: 201880096596.6
• 申請日: 2018-08-27
• 公開（公告）號: CN112601952A
• 公開（公告）日: 2021-04-02
• 發明（設計）人: 秋山剛志
• 申請（專利權）人: 株式會社島津制作所
• 主分類號: G01N23/223
• 分類號: G01N23/223;G01N23/2204
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇

X射線分析裝置(1)具備：試樣支承部(10)，其對配置于各待機位置的多個試樣(S)進行支承；搬送部(20)，其具有把持試樣(S)的把持部(26)，搬送部(20)使試樣在各待機位置與測定位置之間移動；X射線照射部(30)，其朝向配置于測定位置的試樣照射初級X射線；檢測器(40)，其檢測從被照射了初級X射線的試樣產生的熒光X射線；以及試樣室(51)，其包括以能夠分離的方式設置的第一部分(511)和第二部分(512)，在測定位置配置有試樣(S)的狀態下收容試樣(S)和把持部(26)。第一部分(511)設置在測定位置的周邊，第二部分(512)設置于搬送部(20)。在測定位置配置有試樣(S)的狀態下，第二部分(512)抵接于第一部分(511)，由此成為形成有試樣室(51)的狀態。

技術領域

本發明涉及一種向試樣照射X射線并進行分析的X射線分析裝置。

背景技術

在以往的X射線分析裝置中公開了如下一種技術：使載置有多個試樣的旋轉臺旋轉，使用升降機構使移動到升降位置的試樣被移動至測量儀器室(參照日本特開昭60-000043號公報(專利文獻1))。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開昭60-000043號公報

發明內容

發明要解決的問題

然而，在專利文獻1所公開的X射線分析裝置中，為了使試樣移動至測量儀器室，必須使旋轉臺旋轉且使各試樣依次移動到升降位置。因此，無法直接使試樣在配置有試樣的各位置與測量儀器室之間移動。在該情況下，由于只能在旋轉臺的規定的移動路徑上配置試樣，因此難以有效地利用裝置內的空間。

在使用搬送機構直接使試樣在配置有試樣的各位置(待機位置)與測量儀器室之間移動的情況下，在將試樣配置于測定位置且使搬送機構從測量儀器室退避后進行X射線分析時，搬送機構的移動路徑變長。在該情況下，在搬送機構的移動時間變長、試樣的數量變多時，試樣的搬送時間也花費相當程度的時間。

另外，在測量儀器室中需要用于容納搬送機構的容納部，在該情況下，在沒有任何辦法的情況下，擔心X射線從該容納部漏出到測量儀器室外。

本發明是鑒于如上所述的問題而完成的，本發明的目的在于提供一種X射線分析裝置，該X射線分析裝置能夠抑制測定時的X射線的泄漏，并且能夠在待機位置與測定位置之間搬送試樣。

用于解決問題的方案

基于本發明的X射線分析裝置具備：試樣支承部，其對配置于各待機位置的多個試樣進行支承；搬送部，其具有把持上述試樣的把持部，上述搬送部使上述試樣在上述各待機位置與測定位置之間移動；X射線照射部，其朝向配置于上述測定位置的上述試樣照射初級X射線；檢測器，其檢測從被照射了上述初級X射線的上述試樣產生的熒光X射線；以及試樣室，其包括以能夠分離的方式設置的第一部分和第二部分，在上述測定位置配置有上述試樣的狀態下收容上述試樣和上述把持部。上述第一部分設置在上述測定位置的周邊，上述第二部分設置于上述搬送部。在上述測定位置配置有上述試樣的狀態下，上述第二部分抵接于上述第一部分，由此成為形成有上述試樣室的狀態。

根據上述構成，在X射線分析裝置中，通過設置搬送試樣的搬送部，能夠在各待機位置與測定位置之間搬送試樣。并且，在搬送部上設置作為以能夠分離的方式設置的試樣室的一部分的第二部分，在試樣配置于測定位置的狀態下，上述第二部分抵接于作為該試樣室的另一部分的第一部分，由此成為形成有試樣室的狀態。在該狀態下，用于把持試樣的把持部以及該試樣被收容在試樣室內，因此在測定時透過了試樣的X射線的一部分被試樣室遮蔽。由此，能夠抑制X射線漏出到試樣室的外部。