[發明專利]X射線分析裝置

在審

• 申請號: 201880096596.6
• 申請日: 2018-08-27
• 公開（公告）號: CN112601952A
• 公開（公告）日: 2021-04-02
• 發明（設計）人: 秋山剛志
• 申請（專利權）人: 株式會社島津制作所
• 主分類號: G01N23/223
• 分類號: G01N23/223;G01N23/2204
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇

1.一種X射線分析裝置，具備：

試樣支承部，其對配置于各待機位置的多個試樣進行支承；

搬送部，其具有用于把持所述試樣的把持部，所述搬送部使所述試樣在所述各待機位置與測定位置之間移動；

X射線照射部，其朝向配置于所述測定位置的所述試樣照射初級X射線；

檢測器，其檢測從被照射了所述初級X射線的所述試樣產生的熒光X射線；以及

試樣室，其包括以能夠分離的方式設置的第一部分和第二部分，在所述測定位置配置有所述試樣的狀態下所述試樣室收容所述試樣和所述把持部，

其中，所述第一部分設置在所述測定位置的周邊，

所述第二部分設置于所述搬送部，

在所述測定位置配置有所述試樣的狀態下，所述第二部分抵接于所述第一部分，由此成為形成有所述試樣室的狀態。

2.根據權利要求1所述的X射線分析裝置，其中，

還具備試樣臺，所述試樣臺用于在所述測定位置載置所述試樣，

所述試樣臺具有第一主表面和第二主表面，其中，所述第一主表面朝向所述X射線照射部和所述檢測器側，所述第二主表面位于所述第一主表面的相反側，用于載置所述試樣，

所述把持部被設置為能夠在與所述第二主表面垂直的法線方向上移動，

所述第一部分是筒狀構件，所述筒狀構件具有平行于所述法線方向的筒軸，所述筒狀構件以使在所述筒軸的方向上的一端側被所述試樣臺封閉的方式設置在所述第二主表面上，

所述第二部分是以能夠從所述筒狀構件的在所述筒軸的方向上的另一端側與所述筒狀構件相向的方式設置的蓋構件，

在所述把持部沿著所述法線方向以靠近所述第二主表面的方式移動而將所述試樣配置于所述測定位置的狀態下，所述蓋構件將所述筒狀構件的所述另一端側封閉，由此成為形成有所述試樣室的狀態。

3.根據權利要求1或2所述的X射線分析裝置，其中，

所述把持部維持在所述測定位置把持了所述試樣的狀態，

所述X射線照射部朝向被所述把持部把持的所述試樣照射所述初級X射線。

4.根據權利要求1至3中的任一項所述的X射線分析裝置，其特征在于，

所述把持部被設置為能夠繞與所述試樣的分析面垂直的旋轉軸進行旋轉。