[發明專利]使用二衍射級成像的離軸照明覆蓋測量

在審

• 申請號: 201880096229.6
• 申請日: 2018-12-14
• 公開（公告）號: CN112567296A
• 公開（公告）日: 2021-03-26
• 發明（設計）人: Y·沙立波;Y·帕斯卡維爾;V·萊溫斯基;A·瑪納森;S·埃桑巴赫;G·拉雷多;A·希爾德斯海姆
• 申請（專利權）人: 科磊股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G02B7/38;G01N21/47;G01N21/952
• 代理公司: 北京律盟知識產權代理有限責任公司 11287
• 代理人: 劉麗楠

1.一種由具有照明支部及收集支部的計量工具測量計量目標的方法，所述方法包含：

由所述照明支部以利特羅(Littrow)配置照明所述目標以產生包含-1衍射級及0衍射級的第一測量信號及包含+1衍射級及0衍射級的第二測量信號，其中所述第一測量信號的所述-1衍射級及所述第二測量信號的所述+1衍射級與所述照明的方向成180°衍射；

由所述收集支部執行所述第一測量信號的第一測量及所述第二測量信號的第二測量；及

從所述第一測量及所述第二測量導出至少一個計量度量。

2.根據權利要求1所述的方法，其中通過空間光調制及/或通過數字光處理來實施所述照明。

3.根據權利要求1所述的方法，其中以多個波長實施所述照明以實施靈活利特羅配置。

4.根據權利要求1所述的方法，其中通過空間光調制及/或通過數字光處理來實施所述測量的所述執行。

5.根據權利要求1所述的方法，其中在兩個測量方向上同時實施所述照明及所述測量的所述執行。

6.根據權利要求1所述的方法，其中使用交替應用于具有四個極的照明源以對應于兩個測量方向上的同時照明的一對快門來實施所述照明。

7.根據權利要求1到6中任一權利要求所述的方法，其進一步包含衰減所述0衍射級中的至少一者。

8.根據權利要求1所述的方法，其中所述至少一個計量度量包含從等式3計算的所述目標的覆蓋。

9.根據權利要求1所述的方法，其進一步包含通過相對于給定計量目標設計將所述目標的周期性結構間距減小1/2來將所述計量目標的大小減半。

10.根據權利要求1所述的方法，其中以0°及180°的晶片定向實施所述第一測量及所述第二測量。

11.根據權利要求1到10中任一權利要求所述的方法，其至少部分由至少一個計算機處理器實施。

12.一種計算機程序產品，其包含計算機可讀存儲媒體，所述計算機可讀存儲媒體具有隨其體現且經配置以至少部分實施根據權利要求1到10中任一權利要求所述的方法的計算機可讀程序。

13.一種計量模塊，其包含根據權利要求12所述的計算機程序產品。

14.一種計量測量，其由根據權利要求1到10中任一權利要求所述的方法執行。

15.一種計量工具，其包含：

照明支部，其經配置用于以利特羅配置照明目標以產生包含-1衍射級及0衍射級的第一測量信號及包含+1衍射級及0衍射級的第二測量信號，其中所述第一測量信號的所述-1衍射級及所述第二測量信號的所述+1衍射級與所述照明的方向成180°衍射；

收集支部，其經配置以執行所述第一測量信號的第一測量及所述第二測量信號的第二測量；及

處理單元，其經配置以從所述第一測量及所述第二測量導出至少一個計量度量。

16.根據權利要求15所述的計量工具，其中所述照明支部及所述收集支部中的至少一者包含經配置以實施對應于通過多個波長的照明的靈活利特羅配置的空間光調制器及/或數字光處理器。

17.根據權利要求15所述的計量工具，其中所述照明支部及所述收集支部經配置以在兩個測量方向上同時實施所述照明及所述測量的所述執行。

18.根據權利要求15所述的計量工具，其中所述照明支部包含交替應用于具有四個極的照明源以對應于兩個測量方向上的同時照明的一對快門。