[發明專利]用于涂覆基板的系統和工藝

在審

• 申請號: 201880096190.8
• 申請日: 2018-11-26
• 公開（公告）號: CN112513318A
• 公開（公告）日: 2021-03-16
• 發明（設計）人: 托爾斯滕·布魯諾·迪特爾;托馬斯·德皮希;克里斯蒂安·尼克
• 申請（專利權）人: 應用材料公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C14/08;C23C14/34;C23C16/54
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006
• 代理人: 徐金國;趙靜

1.用于涂覆基板的系統，所述系統包括：

運輸布置，所述運輸布置用于移動所述基板；

第一涂覆單元，所述第一涂覆單元被配置為用第一材料涂覆所述基板；和

控制器，所述控制器被配置為在所述第一涂覆單元的活動狀態期間使所述基板的移動方向反向至少一次。

2.根據權利要求1所述的系統，進一步包括第二涂覆單元，所述第二涂覆單元被配置為用第二材料涂覆所述基板。

3.根據權利要求2所述的系統，其中所述控制器被配置為在所述第一涂覆單元和所述第二涂覆單元兩者的活動狀態期間使所述移動方向反向。

4.根據前述權利要求中任一項所述的系統；

所述控制器被配置為使所述移動方向反向，使得在所述移動方向的至少3次相繼反向中的每一次期間，所述基板的位點在不同位置處。

5.根據前述權利要求中任一項所述的系統，其中所述控制器被配置為將所述第一材料和所述第二材料中的任一者在所述基板的所述移動方向的反向期間的質量流率減小到比在緊接所述反向之前的通過期間的質量流率和在緊接所述反向之后的通過期間的質量流率兩者低至少10％的值。

6.根據前述權利要求中任一項所述的系統，其中所述第一涂覆單元包括濺射、CVD、PVD或印刷單元中的任一者。

7.根據前述權利要求中任一項所述的系統，其中所述控制器被配置為將關于至少一次通過的所述基板的移動速度和/或所述第一材料的質量流率設置為產生預定厚度的所述第一材料的層的值。

8.根據權利要求2至7中任一項所述的系統，其中所述第一材料的折射率比所述第二材料的折射率低至少2％，所述第一材料特別是SiO2。

9.根據前述權利要求中任一項所述的系統，其中所述基板是柔性基板；

所述運輸布置特別地包括涂覆滾筒；并且

使所述移動方向反向特別地包括改變所述涂覆滾筒的卷繞方向。

10.用于涂覆基板的工藝，所述工藝包括：

在被配置為用第一材料涂覆所述基板的第一涂覆單元的活動狀態期間，使所述基板的移動方向反向至少一次。

11.根據權利要求10所述的工藝，其中所述移動的所述反向發生在用所述第一材料涂覆所述基板期間。

12.根據權利要求10至11中任一項所述的工藝，其中所述移動方向的所述反向發生在同時地用所述第一材料和用第二材料涂覆所述基板期間。

13.根據權利要求10至12中任一項所述的工藝，進一步包括將關于至少一次通過的所述基板的移動速度和/或所述第一材料的質量流率設置為產生預定厚度的所述第一材料的層的值。

14.根據權利要求10至13中任一項所述的工藝，其中所述移動方向的所述反向包括改變涂覆滾筒的卷繞方向。

15.通過根據權利要求10至14中任一項所述的工藝生產的多層堆疊物，包括第一層；

所述第一層包括在使所述移動方向反向之前產生的第一子層和在使所述移動方向反向之后產生的第二子層；

所述第一子層和所述第二子層各自包括所述第一材料；并且

所述第一子層在至少一個物理性質上與所述第二子層不同。