[發(fā)明專利]光測(cè)距裝置以及加工裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201880094330.8
• 申請(qǐng)日: 2018-06-12
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112236688A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-01-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 斧原圣史;后藤?gòu)V樹(shù)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 三菱電機(jī)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): G01S17/34
• 分類號(hào): G01S17/34;G01S7/4913
• 代理公司: 中國(guó)貿(mào)促會(huì)專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 11038
• 代理人: 金光華

將光測(cè)距裝置(3)構(gòu)成為如下：設(shè)置光干涉部(21)和偏振波旋轉(zhuǎn)部(25)，光干涉部將反射光分離為第一偏振波的反射光和第二偏振波的反射光，從第一偏振波的反射光與參考光的干涉光抽取相互正交的第一及第二分量，從第二偏振波的反射光與參考光的干涉光抽取相互正交的第三及第四分量，偏振波旋轉(zhuǎn)部通過(guò)使具有第一及第二分量的第一復(fù)信號(hào)的偏振波角度和具有第三及第四分量的第二復(fù)信號(hào)的偏振波角度旋轉(zhuǎn)，取得偏振波的水平分量及垂直分量中的一個(gè)以上的分量，距離計(jì)算部(27)根據(jù)由偏振波旋轉(zhuǎn)部(25)取得的分量計(jì)算反射光的頻率與參考光的頻率的差分，根據(jù)差分計(jì)算直至測(cè)定對(duì)象物(1)為止的距離。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及計(jì)算直至測(cè)定對(duì)象物為止的距離的光測(cè)距裝置和具備光測(cè)距裝置的加工裝置。

背景技術(shù)

在以下的專利文獻(xiàn)1中，公開(kāi)了一種能夠?qū)λ阉鲗?duì)象的3維形狀進(jìn)行檢測(cè)的異物檢測(cè)裝置。

以下的專利文獻(xiàn)1所公開(kāi)的異物檢測(cè)裝置具備：光輸出單元，輸出激光；以及掃描單元，使用激光對(duì)搜索對(duì)象的搜索范圍進(jìn)行掃描。

另外，異物檢測(cè)裝置具備：偏振波分離單元，使將激光照射到搜索對(duì)象時(shí)的來(lái)自搜索對(duì)象的散射光按每個(gè)偏振波分量分離；以及第一及第二受光單元，接收散射光的各個(gè)偏振波分量。

另外，異物檢測(cè)裝置具備第一及第二相位差檢測(cè)單元，該第一及第二相位差檢測(cè)單元檢測(cè)激光與散射光中的各個(gè)偏振波分量之間的相位差，并且檢測(cè)散射光中的各個(gè)偏振波分量的接收強(qiáng)度。

而且，異物檢測(cè)裝置具備信號(hào)處理單元，該信號(hào)處理單元根據(jù)檢測(cè)結(jié)果來(lái)計(jì)算散射光的偏振波消除率(depolarization rate)，并且根據(jù)偏振波消除率的計(jì)算結(jié)果來(lái)計(jì)算與異物之間的相隔距離，輸出異物的形狀。

因而，不論返回光的偏振波分量如何，異物檢測(cè)裝置都能夠檢測(cè)異物的3維形狀。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)2011-185837號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

專利文獻(xiàn)1所公開(kāi)的異物檢測(cè)裝置在照射激光時(shí)，在光的偏振波面旋轉(zhuǎn)的情況下，被搜索對(duì)象散射的散射光的各個(gè)偏振波分量的接收強(qiáng)度有時(shí)會(huì)下降。

異物檢測(cè)裝置在散射光的各個(gè)偏振波分量的接收強(qiáng)度下降時(shí)，具有直至搜索對(duì)象為止的距離的測(cè)定精度變差這樣的課題。

本發(fā)明是為了解決如上所述的課題而完成的，其目的在于得到一種即使在光的偏振波面旋轉(zhuǎn)的情況下也能夠測(cè)定直至測(cè)定對(duì)象物為止的距離的光測(cè)距裝置以及加工裝置。

本發(fā)明的光測(cè)距裝置具備：光輸出部，將頻率伴隨時(shí)間的經(jīng)過(guò)而變化的頻率掃描光作為參考光來(lái)輸出，并且對(duì)頻率掃描光的偏振波進(jìn)行復(fù)用，輸出相互正交的第一以及第二偏振波的頻率掃描光；光收發(fā)部，向測(cè)定對(duì)象物照射第一以及第二偏振波的頻率掃描光，將被測(cè)定對(duì)象物反射的頻率掃描光作為反射光來(lái)接收；光干涉部，將反射光分離為第一偏振波的反射光和第二偏振波的反射光，從第一偏振波的反射光與參考光的干涉光抽取相互正交的第一以及第二分量，從第二偏振波的反射光與參考光的干涉光抽取相互正交的第三以及第四分量；偏振波旋轉(zhuǎn)部，通過(guò)使具有第一以及第二分量的第一復(fù)信號(hào)的偏振波角度和具有第三以及第四分量的第二復(fù)信號(hào)的偏振波角度旋轉(zhuǎn)，取得偏振波的水平分量以及垂直分量之中的一個(gè)以上的分量；以及距離計(jì)算部，根據(jù)由偏振波旋轉(zhuǎn)部取得的分量，計(jì)算反射光的頻率與參考光的頻率的差分，并根據(jù)差分計(jì)算直至測(cè)定對(duì)象物為止的距離。