[發(fā)明專利]光測距裝置以及加工裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201880094330.8
• 申請日: 2018-06-12
• 公開（公告）號: CN112236688A
• 公開（公告）日: 2021-01-15
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 斧原圣史;后藤廣樹
• 申請（專利權(quán)）人: 三菱電機株式會社
• 主分類號: G01S17/34
• 分類號: G01S17/34;G01S7/4913
• 代理公司: 中國貿(mào)促會專利商標事務(wù)所有限公司 11038
• 代理人: 金光華

1.一種光測距裝置，具備：

光輸出部，將頻率伴隨時間的經(jīng)過而變化的頻率掃描光作為參考光來輸出，并且對所述頻率掃描光的偏振波進行復用，輸出相互正交的第一以及第二偏振波的頻率掃描光；

光收發(fā)部，向測定對象物照射所述第一以及第二偏振波的頻率掃描光，將被所述測定對象物反射的頻率掃描光作為反射光來接收；

光干涉部，將所述反射光分離為第一偏振波的反射光和第二偏振波的反射光，從所述第一偏振波的反射光與所述參考光的干涉光抽取相互正交的第一以及第二分量，從所述第二偏振波的反射光與所述參考光的干涉光抽取相互正交的第三以及第四分量；

偏振波旋轉(zhuǎn)部，通過使具有所述第一以及第二分量的第一復信號的偏振波角度和具有所述第三以及第四分量的第二復信號的偏振波角度旋轉(zhuǎn)，取得偏振波的水平分量以及垂直分量之中的一個以上的分量；以及

距離計算部，根據(jù)由所述偏振波旋轉(zhuǎn)部取得的分量，計算所述反射光的頻率與所述參考光的頻率的差分，并根據(jù)所述差分計算直至所述測定對象物為止的距離。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光測距裝置，其特征在于，

所述距離計算部具備：

譜計算部，如果由所述偏振波旋轉(zhuǎn)部取得水平分量，則計算所述水平分量的頻譜，如果由所述偏振波旋轉(zhuǎn)部取得垂直分量，則計算所述垂直分量的頻譜；以及

距離計算處理部，根據(jù)由所述譜計算部計算出的頻譜，計算所述反射光的頻率與所述參考光的頻率的差分，并根據(jù)所述差分計算直至所述測定對象物為止的距離。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光測距裝置，其特征在于，

所述偏振波旋轉(zhuǎn)部取得所述水平分量以及所述垂直分量這雙方，

所述距離計算部具備：

譜計算部，計算由所述偏振波旋轉(zhuǎn)部取得的水平分量的頻譜，并且計算由所述偏振波旋轉(zhuǎn)部取得的垂直分量的頻譜；

譜選擇部，選擇由所述譜計算部計算出的水平分量的頻譜以及垂直分量的頻譜之中的任一方的頻譜；以及

距離計算處理部，根據(jù)由所述譜選擇部選擇的頻譜，計算所述反射光的頻率與所述參考光的頻率的差分，并根據(jù)所述差分計算直至所述測定對象物為止的距離。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光測距裝置，其特征在于，

所述偏振波旋轉(zhuǎn)部取得所述水平分量以及所述垂直分量這雙方，

所述光測距裝置具備相位補償部，該相位補償部根據(jù)由所述偏振波旋轉(zhuǎn)部取得的水平分量和由所述偏振波旋轉(zhuǎn)部取得的垂直分量來構(gòu)建復信號，實施將所述復信號的相位所包含的噪聲分量的相位進行去除的相位補償處理，將相位補償處理后的復信號中的水平分量以及垂直分量之中的一個以上的分量輸出到所述距離計算部。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光測距裝置，其特征在于，

所述光干涉部具備：

光耦合器，將從所述光輸出部輸出的參考光分支為兩路；

偏振光分束器，將由所述光收發(fā)部接收到的反射光分離為第一偏振波的反射光和第二偏振波的反射光；

第一90^°光混合器，從由所述偏振光分束器分離的第一偏振波的反射光和由所述光耦合器分支的一方的參考光，抽取所述第一以及第二分量；以及

第二90^°光混合器，從由所述偏振光分束器分離的第二偏振波的反射光和由所述光耦合器分支的另一方的參考光，抽取所述第三以及第四分量。