[發明專利]用于運輸載體的設備、用于豎直地處理基板的處理系統以及切換載體的運輸路徑的方法

有效

• 申請號: 201880093733.0
• 申請日: 2018-05-24
• 公開（公告）號: CN112189058B
• 公開（公告）日: 2022-12-20
• 發明（設計）人: 奧利弗·海默爾;克里斯蒂安·沃爾夫岡·埃曼;拉爾夫·林登貝格
• 申請（專利權）人: 應用材料公司
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50;B65G49/07;C23C14/56;H01J37/32;H01L21/67;H01L21/677
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006
• 代理人: 徐金國;趙靜

描述了一種用于在真空腔室(210)中運輸載體(10)的設備(100)。設備(100)包括在運輸方向(T)上沿著第一運輸路徑(T1)設置的第一運輸系統(101)。第一運輸系統(101)包括第一下部軌道區段(11L)和第一上部軌道區段(11U)。第一上部軌道區段(11U)包括具有用于在載體運輸空間(15)中非接觸地保持載體(10)的一個或多個第一致動器(121)的一個或多個磁性軸承(120)。另外，第一上部軌道區段(11U)包括具有用于在所述運輸方向(T)移動載體(10)的一個或多個第二致動器(132)的驅動單元(130)。一個或多個第一致動器(121)和一個或多個第二致動器(132)布置在載體運輸空間(15)上方。另外，設備(100)包括：路徑切換組件(150)，用于在路徑切換方向(S)上將載體從所述第一運輸路徑(T1)移開；以及致動器(124)，用于修改第一下部軌道區段(11L)與第一上部軌道區段(11U)之間的距離。

技術領域

本公開內容的實施方式涉及用于運輸載體、特別是在處理大面積基板期間使用的載體的設備和方法。更具體地，本公開內容的實施方式涉及用于非接觸地運輸載體的設備和方法，該設備和方法可被采用在用于豎直基板處理(例如，在大面積基板上沉積材料以用于顯示器生產)的處理系統中。特別地，本公開內容的實施方式涉及具有路徑切換組件的用于運輸載體的設備，該路徑切換組件被配置為在兩個或更多個運輸路徑之間移動載體，并且涉及用于在豎直基板處理系統中改變載體的運輸路徑的方法。

背景技術

用于在基板上進行層沉積的技術包括例如濺射沉積、物理氣相沉積(PVD)、化學氣相沉積(CVD)和熱蒸發。所涂覆的基板可用于若干應用和若干技術領域中。例如，所涂覆的基板可用于顯示裝置領域中。顯示裝置可用于制造電視機屏幕、計算機監視器、移動電話、其他手持裝置以及用于顯示信息的類似者。典型地，通過用不同材料的層的堆疊涂覆基板生產顯示器。

為了沉積層堆疊，可使用處理模塊的直列布置。直列處理系統包括多個連串的處理模塊，諸如沉積模塊和任選地另外的處理模塊，例如清潔模塊和/或蝕刻模塊，其中處理方面在處理模塊中連串地進行，使得可在直列處理系統中連續地或準連續地處理多個基板。

在處理期間，可由載體、即用于承載基板的承載裝置承載基板。典型地，使用一個或多個運輸系統來將載體運輸通過真空腔室。運輸系統可被配置為用于沿著一個或多個運輸路徑運送載體。至少兩個運輸路徑可彼此靠近地設置在真空系統中，例如用于在向前方向上運輸載體的第一運輸路徑和用于在與向前方向相反的返回方向上運輸載體的第二運輸路徑。

常規的運輸系統具有被配置為支撐載體并沿著運輸路徑運送載體和/或將載體從一個運輸路徑運送到另一個運輸路徑(也被稱為“路徑切換”或“軌道切換”)的輥或其他支撐件。載體移動期間的在載體與載體支撐件之間的摩擦可能會產生顆粒，這些顆粒會不利地影響真空系統內的真空狀況。顆?？赡軙廴境练e在基板上的層，并且所沉積的層的品質可能會降低。因此，需要的是在減少或最小化顆粒產生的情況下在處理系統中運輸載體。另外，具有挑戰的是，例如以低成本提供用于高溫真空環境的穩健載體運輸系統。

因此，持續需要用于運輸載體和改變載體的運輸路徑的設備和方法以及提供克服現有技術的至少一些問題的改進的真空處理系統。

發明內容

鑒于上文，提供了根據獨立權利要求的用于在真空腔室中運輸載體的設備、用于豎直地處理基板的處理系統以及切換載體的運輸路徑的方法。另外的方面、優點和特征從從屬權利要求、說明書和附圖中顯而易見。