[發明專利]用于運輸載體的設備、用于豎直地處理基板的處理系統以及切換載體的運輸路徑的方法

有效

• 申請號: 201880093733.0
• 申請日: 2018-05-24
• 公開（公告）號: CN112189058B
• 公開（公告）日: 2022-12-20
• 發明（設計）人: 奧利弗·海默爾;克里斯蒂安·沃爾夫岡·埃曼;拉爾夫·林登貝格
• 申請（專利權）人: 應用材料公司
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50;B65G49/07;C23C14/56;H01J37/32;H01L21/67;H01L21/677
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006
• 代理人: 徐金國;趙靜

1.一種用于在真空腔室(210)中運輸載體(10)的設備(100)，包括：

第一運輸系統(101)，所述第一運輸系統在運輸方向(T)上沿著第一運輸路徑(T1)設置并且包括第一下部軌道區段(11L)和第一上部軌道區段(11U)，所述第一上部軌道區段(11U)包括：

一個或多個磁性軸承(120)，所述一個或多個磁性軸承(120)具有用于在載體運輸空間(15)中非接觸地保持所述載體(10)的一個或多個第一致動器(121)，以及

驅動單元(130)，所述驅動單元(130)具有用于在所述運輸方向(T)上移動所述載體(10)的一個或多個第二致動器(132)，所述一個或多個第一致動器(121)和所述一個或多個第二致動器(132)布置在所述載體運輸空間(15)上方并布置在大氣空間中，并且其中所述一個或多個第二致動器(132)相對于所述一個或多個第一致動器(121)側向地布置；

路徑切換組件(150)，所述路徑切換組件(150)用于在路徑切換方向(S)上將所述載體從所述第一運輸路徑(T1)移開；以及

致動器(124)，所述致動器(124)用于修改所述第一下部軌道區段(11L)與所述第一上部軌道區段(11U)之間的距離。

2.如權利要求1所述的設備(100)，其中所述路徑切換組件(150)包括一個或多個載體傳送元件(152)，所述一個或多個載體傳送元件(152)在所述路徑切換方向(S)上是可移動的，以用于在所述路徑切換方向(S)上傳送所述載體(10)。

3.如權利要求1所述的設備(100)，其中所述一個或多個載體傳送元件(152)連接到設置在所述真空腔室(210)外部的傳送致動器(154)。

4.如權利要求2所述的設備(100)，其中所述一個或多個載體傳送元件(152)連接到設置在所述真空腔室(210)外部的傳送致動器(154)。

5.如權利要求1至4中任一項所述的設備(100)，其中所述一個或多個載體傳送元件(152)包括用于保持所述載體(10)的載體保持部分(153)。

6.如權利要求1至4中的任一項所述的設備(100)，其中所述第一 下部軌道區段(11L)包括用于在所述運輸方向(T)上引導所述載體(10)的非接觸式引導布置(140)。

7.如權利要求5所述的設備(100)，其中所述第一 下部軌道區段(11L)包括用于在所述運輸方向(T)上引導所述載體(10)的非接觸式引導布置(140)。

8.如權利要求1至4中的任一項所述的設備(100)，其進一步包括具有至少一個穩定磁體(161)的至少一個側面穩定裝置(160)，所述至少一個側面穩定裝置(160)被配置為在橫向于所述運輸方向(T)的側向方向(L)上對所述載體(10)施加恢復力(F)。

9.如權利要求5所述的設備(100)，其進一步包括具有至少一個穩定磁體(161)的至少一個側面穩定裝置(160)，所述至少一個側面穩定裝置(160)被配置為在橫向于所述運輸方向(T)的側向方向(L)上對所述載體(10)施加恢復力(F)。

10.如權利要求1至4中任一項所述的設備(100)，其進一步包括安全布置(170)，所述安全布置(170)包括由以下項組成的群組中的至少一個元件：設置在所述載體運輸空間(15)的至少一個側面處的側向防護引導元件；以及用于為所述載體(15)提供豎直支撐的安全輥(172)。

11.如權利要求1至4任一項所述的設備(100)，其進一步包括調整裝置(155)，所述調整裝置(155)被配置為調整由以下項組成的群組中的一者或多者：側面 穩定裝置(160)的至少一個穩定磁體(161)的相對于所述載體運輸空間(15)的豎直位置、所述至少一個穩定磁體(161)的取向或角位置、側向防護引導元件的豎直位置、以及所述側向防護引導元件的取向或角位置。