[發(fā)明專利]成膜裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201880093587.1
• 申請日: 2018-06-08
• 公開（公告）號: CN112135924B
• 公開（公告）日: 2023-01-03
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 織田容征
• 申請（專利權(quán)）人: 東芝三菱電機產(chǎn)業(yè)系統(tǒng)株式會社
• 主分類號: C23C16/46
• 分類號: C23C16/46;B05D1/26
• 代理公司: 永新專利商標(biāo)代理有限公司 72002
• 代理人: 劉英華

1.一種成膜裝置，具備：基板載置部（53），載置基板（10）；加熱機構(gòu)（2），與所述基板載置部以分離的方式設(shè)置，具有紅外光燈（22），執(zhí)行從所述紅外光燈照射紅外光而將所述基板加熱的加熱處理；以及霧噴射部（1），執(zhí)行霧噴射處理，在所述霧噴射處理中，向所述基板的表面噴射將原料溶液霧化而得到的原料霧（MT），從所述紅外光燈照射的紅外光的波長與所述原料霧的吸收波長區(qū)域不重復(fù)，通過同時執(zhí)行基于所述加熱機構(gòu)的所述加熱處理和基于所述霧噴射部的所述霧噴射處理，從而在所述基板的表面形成薄膜，從所述紅外光燈照射的紅外光的波長被設(shè)定為700nm~900nm。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的成膜裝置，其中，還具備：成膜室（6A），在內(nèi)部收容所述基板、所述加熱機構(gòu)以及所述霧噴射部。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的成膜裝置，其中，還具備：成膜室（6B），在內(nèi)部收容所述基板及所述霧噴射部，所述加熱機構(gòu)配置于所述成膜室外，經(jīng)由所述成膜室執(zhí)行所述加熱處理，所述成膜室將相對于從所述加熱機構(gòu)的所述紅外光燈照射的紅外光而言透射性優(yōu)異的紅外光透射材料作為構(gòu)成材料。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的成膜裝置，其中，所述紅外光透射材料包括石英玻璃、硼硅酸玻璃、藍(lán)寶石、氟化鈣、氟化鋇、氟化鎂、以及氟化鋰中的至少一種。