[發明專利]基板收納容器

在審

• 申請號: 201880091729.0
• 申請日: 2018-04-25
• 公開（公告）號: CN112074944A
• 公開（公告）日: 2020-12-11
• 發明（設計）人: 松鳥千明
• 申請（專利權）人: 未來兒股份有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673
• 代理公司: 北京信慧永光知識產權代理有限責任公司 11290
• 代理人: 崔迎賓;李雪春

1.一種基板收納容器，其特征在于，具備：

容器主體，具備筒狀壁部，所述壁部的一端部具有形成容器主體開口部的開口周緣部而另一端部封閉，由所述壁部的內表面形成能夠收納多張基板的基板收納空間，所述基板收納空間與所述容器主體開口部連通；

蓋體，相對于所述容器主體開口部可裝拆，能夠封閉所述容器主體開口部；以及

通氣路，能夠連通所述基板收納空間和所述容器主體的外部空間，

所述通氣路形成于嵌入成型于所述容器主體的通氣路形成部件。

2.根據權利要求1所述的基板收納容器，其特征在于，

所述通氣路形成部件至少形成有一個通氣路。

3.根據權利要求1或者2所述的基板收納容器，其特征在于，

所述通氣路形成部件由多個部件組合構成。

4.根據權利要求3所述的基板收納容器，其特征在于，

所述通氣路形成部件具備：

第一部件部，形成氣體流入所述通氣路形成部件的通氣路的部分；以及

第二部件部，形成流入所述通氣路形成部件的通氣路的氣體在所述通氣路中碰撞而改變氣體流動的方向的部分。

5.根據權利要求1至4中任一項所述的基板收納容器，其特征在于，

附加部件能夠可裝拆地安裝到所述通氣路形成部件。