[發明專利]電磁波傳感器

有效

• 申請號: 201880090884.0
• 申請日: 2018-03-07
• 公開（公告）號: CN111886483B
• 公開（公告）日: 2023-05-16
• 發明（設計）人: 太田尚城;原晉治;青木進;小村英嗣;海津明政
• 申請（專利權）人: TDK株式會社
• 主分類號: G01J1/02
• 分類號: G01J1/02
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 楊琦;池兵

本發明提供一種電磁波傳感器，其能夠抑制來自局部熱源的熱對輻射熱計膜造成的影響。電磁波傳感器(1)具有：第一基板(2)；與第一基板(2)相對設置的透射紅外線的第二基板(3)，在第二基板(3)與第一基板(2)之間形成內部空間(7)；設置在內部空間(7)中的、由第二基板(3)支承的多個輻射熱計膜(8)；形成于第一基板(2)的局部熱源(9)；將第一基板(2)與第二基板(3)連接的第一電連接部件(5)；和在第二基板(3)上或第二基板(3)內延伸的引線(10)，其將第一電連接部件(5)與輻射熱計膜(8)連接。

技術領域

本發明涉及電磁波傳感器，特別涉及具有輻射熱計膜的紅外線傳感器。

背景技術

已知一種紅外線傳感器，其具有輻射熱計膜，在紅外波長范圍檢測對象物的溫度分布。在這樣的紅外線傳感器中，輻射熱計膜因從外部入射到輻射熱計膜且被輻射熱計膜吸收的紅外線而發生溫度變化，輻射熱計膜的溫度變化作為電阻變化而被取出。對象物的溫度與從該對象物發射的發射率(輻射能量)之間存在相關關系(斯特藩-玻爾茲曼(Stefan-Boltzmann)定律)。因此，通過檢測由從對象物發射的輻射熱引起的輻射熱計膜的溫度變化，能夠測定對象物的溫度分布。

由上述內容可知，在具有輻射熱計膜的紅外線傳感器中，需要盡可能排除輻射熱以外的熱的影響。因此，一般而言，為了抑制對流的影響，輻射熱計膜設置在具有透射紅外線的窗的真空殼體中。另外，具有輻射熱計膜的紅外線傳感器包括將輻射熱計膜的電阻變化轉換為電信號的ROIC(Read?Out?Integrated?Circuit：讀出集成電路)等部件。這樣的部件為局部熱源，因此，有可能對輻射熱計膜的測定結果造成大的影響。即，在搭載有紅外線傳感器的紅外線攝像機中，這樣的局部熱源可能會被拍攝到圖像中。

日本特許第5923617號公報中公開了一種MEMS傳感器，其中，在第一晶片上形成有ROIC，在第二晶片上支承有微輻射熱計。微輻射熱計經由彎曲形狀的引線而被第二晶片支承，第二晶片的與微輻射熱計相對的面為凹部。由此，微輻射熱計配置成浮置在第一晶片與第二晶片之間的空間中。ROIC和微輻射熱計通過在與晶片正交的方向上在第一晶片與第二晶片之間延伸的焊錫材料電連接。

發明內容

在日本特許第5923617號公報中公開的MEMS傳感器中，作為局部熱源的ROIC與微輻射熱計設置在不同的晶片(基板)上，因此，能夠抑制由ROIC產生的熱的影響。但是，來自ROIC的熱經由焊錫材料被傳遞至第二晶片，進而通過引線被傳遞至微輻射熱計，因此，依然無法充分抑制來自ROIC的熱的影響。

本發明的目的在于提供一種電磁波傳感器，其能夠抑制來自局部熱源的熱對輻射熱計膜造成的影響。

本發明提供一種電磁波傳感器，其具有：第一基板；與第一基板相對設置的透射電磁波的第二基板，在第二基板與第一基板之間形成內部空間；設置在該內部空間中的、由第二基板支承的多個輻射熱計膜；形成于第一基板的局部熱源；將第一基板與第二基板連接的第一電連接部件；和在第二基板上或第二基板內延伸的引線，其將第一電連接部件與輻射熱計膜連接。

引線在第二基板上或第二基板內延伸。換言之，引線沿著其路徑與第二基板物理接觸。從局部熱源經由第一電連接部件向引線傳遞的熱，穿過沿著其路徑的物理上的接觸部而向第二基板擴散。即，第二基板作為吸收引線的熱的吸熱件發揮作用，因此，能夠抑制來自局部熱源的熱對輻射熱計膜造成的影響。

上述的以及其它的本申請的目的、特征和優點，通過參照例示本申請的附圖的在下面敘述的詳細說明，將變得明確。

附圖說明

圖1是本發明的第一實施方式的紅外線傳感器的概略側面圖。

圖2是從圖1的Z方向上方看的紅外線傳感器的概略平面圖。

圖3是圖1所示的紅外線傳感器的立體圖。

圖4是第二防反射膜的概略截面圖。