[發明專利]電磁波傳感器

有效

• 申請號: 201880090884.0
• 申請日: 2018-03-07
• 公開（公告）號: CN111886483B
• 公開（公告）日: 2023-05-16
• 發明（設計）人: 太田尚城;原晉治;青木進;小村英嗣;海津明政
• 申請（專利權）人: TDK株式會社
• 主分類號: G01J1/02
• 分類號: G01J1/02
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 楊琦;池兵

1.一種電磁波傳感器，其特征在于，具有：

第一基板；

與所述第一基板相對設置的透射紅外線的第二基板，在所述第二基板與所述第一基板之間形成內部空間；

設置在所述內部空間中的、由所述第二基板支承的多個輻射熱計膜；

形成于所述第一基板的局部熱源；

將所述第一基板與所述第二基板連接的第一電連接部件；和

在所述第二基板上或所述第二基板內延伸的引線，其將所述第一電連接部件與所述輻射熱計膜連接，

所述電磁波傳感器具有從所述第二基板向所述第一基板延伸的第二電連接部件，

所述輻射熱計膜由所述第二電連接部件以與所述第二基板隔開間隔的方式支承，所述第二電連接部件由導體形成。

2.根據權利要求1所述的電磁波傳感器，其特征在于：

所述電磁波傳感器具有插入所述第二電連接部件并將所述第二電連接部件斷開的電容器。

3.根據權利要求1所述的電磁波傳感器，其特征在于：

具有形成于所述第二基板的、用于從所述多個輻射熱計膜中選擇一個輻射熱計膜的多個選擇晶體管。

4.根據權利要求3所述的電磁波傳感器，其特征在于：

所述選擇晶體管以避開所述第二基板的與所述輻射熱計膜相對的區域的方式配置。

5.根據權利要求3所述的電磁波傳感器，其特征在于：

具有形成在所述第二基板的外側表面的濾光膜，其用于使能量大于所述選擇晶體管的能帶隙的光衰減。

6.根據權利要求1所述的電磁波傳感器，其特征在于：

所述多個輻射熱計膜至少沿第一方向以一定間隔排列成行，所述第一電連接部件位于所述多個輻射熱計膜的所述行的一端側或另一端側，將所述第一電連接部件和最靠近所述第一電連接部件的所述輻射熱計膜連接的所述引線的長度比所述間隔長。

7.根據權利要求6所述的電磁波傳感器，其特征在于：

所述多個輻射熱計膜沿與所述第一方向交叉的第二方向以一定間隔排列成多個列，所述多個輻射熱計膜形成由多個所述行和所述多個列構成的陣列，多個所述第一電連接部件中的一部分的所述第一電連接部件交替地位于所述多個行的一端側和另一端側，所述多個第一電連接部件中的其余部分的所述第一電連接部件交替地位于所述多個列的一端側和另一端側。

8.根據權利要求7所述的電磁波傳感器，其特征在于：

位于所述行的所述一端側的多個所述第一電連接部件和位于所述行的所述另一端側的多個所述第一電連接部件中的至少一者在所述第一方向上相互錯開。

9.根據權利要求7所述的電磁波傳感器，其特征在于：

位于所述列的所述一端側的多個所述第一電連接部件和位于所述列的所述另一端側的多個所述第一電連接部件中的至少一者在所述第二方向上相互錯開。

10.根據權利要求1所述的電磁波傳感器，其特征在于：

具有位于所述輻射熱計膜與所述第一基板之間的、用于使來自所述第一基板的輻射衰減的第一輻射屏蔽件。

11.根據權利要求10所述的電磁波傳感器，其特征在于：

具有從所述第二基板向所述第一基板延伸的支承部件，所述第一輻射屏蔽件由所述支承部件支承。

12.根據權利要求10所述的電磁波傳感器，其特征在于：

所述第一輻射屏蔽件的與所述輻射熱計膜相對的面為對紅外線進行反射的反射面，所述反射面與所述輻射熱計膜的間隔為2～3.5μm。

13.根據權利要求1所述的電磁波傳感器，其特征在于：

具有位于所述內部空間的吸氣膜。