[發(fā)明專利]LED陣列的波長轉(zhuǎn)換層圖案化

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201880090080.0
• 申請日: 2018-12-20
• 公開（公告）號: CN111712932B
• 公開（公告）日: 2023-10-20
• 發(fā)明（設(shè)計）人: D·R·錢柏林;E·M·勒林;D·B·羅伊特曼;清水健太郎
• 申請（專利權(quán)）人: 亮銳有限責(zé)任公司
• 主分類號: H01L33/50
• 分類號: H01L33/50
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 于非凡;閆小龍

1. 一種方法，包括：

將波長轉(zhuǎn)換層沉積到表面上，所述波長轉(zhuǎn)換層包括光引發(fā)劑和粘合劑材料；和

通過將納米壓印光刻工藝施加于所述波長轉(zhuǎn)換層來圖案化所述波長轉(zhuǎn)換層，所述納米壓印光刻工藝包括：

在所述波長轉(zhuǎn)換層上施加納米壓印模具；

固化所述波長轉(zhuǎn)換層，使得所述光引發(fā)劑經(jīng)歷脫羧；和

在所述固化后從所述波長轉(zhuǎn)換層上去除所述納米壓印模具。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述脫羧產(chǎn)生超堿。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其中，所述超堿在所述粘合劑材料的反應(yīng)性鏈端和可交聯(lián)襯底中的一個上引起催化作用。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述粘合劑材料在所述固化期間經(jīng)歷縮聚和開環(huán)聚合中的一個。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述波長轉(zhuǎn)換層用紫外（UV）光固化。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述光引發(fā)劑是通過一種或多種堿與酸的相互作用生成的鹽。

7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，還包括：使用熱固化和后烘烤中的一個去除所述超堿。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，還包括：將第一轉(zhuǎn)換器膜施加到第一發(fā)光器件上，并且將第二轉(zhuǎn)換器膜施加到第二發(fā)光器件上，使得所述第一轉(zhuǎn)換器膜和所述第二轉(zhuǎn)換器膜是通過使所述波長轉(zhuǎn)換層圖案化生成的所述波長轉(zhuǎn)換層的段。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述粘合劑材料包括硅氧烷材料、聚硅氮烷或溶膠-凝膠材料中的一個或多個。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述波長轉(zhuǎn)換層還包括多個光學(xué)隔離顆粒。

11.一種器件，包括：

多個GaN臺面；

與所述GaN臺面接觸的網(wǎng)狀壁；和

沉積到所述網(wǎng)狀壁中的多個腔中的波長轉(zhuǎn)換層。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的器件，其中，通過模涂、刮涂、噴涂或?qū)訅褐械闹辽僖粋€，將所述轉(zhuǎn)換器材料沉積到所述多個腔的第一腔和第二腔中。

13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的器件，其中，所述波長轉(zhuǎn)換層包括磷光體顆粒。

14.根據(jù)權(quán)利要求11所述的器件，其中，所述網(wǎng)狀壁的結(jié)構(gòu)是通過直接紫外（UV）納米壓印光刻工藝、熱納米壓印光刻工藝和接觸印刷工藝中的一個創(chuàng)建的。

15.根據(jù)權(quán)利要求11所述的器件，其中，所述多個腔中的第一腔小于100微米寬。

16.一種器件，包括：

表面上的第一波長轉(zhuǎn)換層，所述第一波長轉(zhuǎn)換層包括光引發(fā)劑和選自硅氧烷材料、聚硅氮烷和溶膠-凝膠材料中的一個或多個的粘合劑材料；

所述表面上的第二波長轉(zhuǎn)換層，所述第二波長轉(zhuǎn)換層包括多個光學(xué)隔離顆粒、脫羧的光引發(fā)劑和選自硅氧烷材料、聚硅氮烷和溶膠-凝膠材料中的一個或多個的粘合劑材料；和

超堿。

17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的器件，還包括納米壓印模具。

18.根據(jù)權(quán)利要求16所述的器件，其中，所述第一波長轉(zhuǎn)換層和所述第二波長轉(zhuǎn)換層是相同的原始波長轉(zhuǎn)換層的部分，并且所述第二波長轉(zhuǎn)換層是所述原始波長轉(zhuǎn)換層經(jīng)歷了經(jīng)由脫羧而固化的部分。

19.根據(jù)權(quán)利要求16所述的器件，其中，所述脫羧的光引發(fā)劑經(jīng)由UV光被脫羧。

20.根據(jù)權(quán)利要求16所述的器件，其中所述超堿是通過脫羧創(chuàng)建的。