[發明專利]用于封閉MEMS元件的柔性膜片中的開口的方法在審
| 申請號： | 201880088165.5 | 申請日： | 2018-12-20 |
| 公開（公告）號： | CN111655608A | 公開（公告）日： | 2020-09-11 |
| 發明（設計）人： | C·赫爾梅斯;J·布茨;B·格爾 | 申請（專利權）人： | 羅伯特·博世有限公司 |
| 主分類號： | B81C1/00 | 分類號： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 永新專利商標代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鳴慧 |
| 地址： | 德國斯*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 封閉 mems 元件 柔性 膜片 中的 開口 方法 | ||
本發明涉及一種用于封閉在MEMS元件的柔性膜片中的開口的方法，所述方法包括以下步驟：?提供在所述柔性膜片中的至少一個開口，?將封閉材料布置在所述至少一個開口的區域中，?至少使施加在所述至少一個開口的區域中的所述封閉材料熔化并且隨后使熔化的材料冷卻以用于封閉所述至少一個開口。
技術領域
本發明涉及一種用于封閉MEMS元件的柔性膜片中的開口的方法。
本發明還涉及一種具有柔性膜片的MEMS元件，該柔性膜片具有至少一個開口。
雖然本發明可以普遍地應用于具有柔性膜片的任意MEMS元件，但本發明根據呈具有在上膜片和下膜片之間的限定內壓力的MEMS麥克風或MEMS壓力傳感器的形式的MEMS傳感器進行闡釋。
在已知的MEMS傳感器、如MEMS壓力傳感器或MEMS麥克風中構造有至少一個腔，該腔通過至少一個柔性膜片覆蓋。柔性膜片的取決于壓力的、尤其取決于聲壓的偏移變化通過電容變化探測，該電容變化例如通過在柔性膜片和固定電極面之間的電極產生并且可以讀取該電容變化。在MEMS壓力傳感器的制造期間為了膜片的露出還需要在膜片中的蝕刻入口，以便能夠在整體上露出該膜片。這些開口又必須被封閉，以便提供限定的內壓力。
背景技術
由DE 10 2015 224 520 A1已知用于制造微機械構件的方法，該微機械構件具有襯底和與襯底連接的并且與襯底圍成第一腔的罩，其中，進入開口通過襯底或罩的在方法步驟中過渡到液態聚集態的材料區域在第一平面和第二平面之間基本上完全地被填充，該第一平面基本上平行于襯底的主延伸平面地走向并且布置在進入開口的基本上垂直于主延伸平面構造的區域的背離第一腔的一側上，該第二平面基本上平行于襯底的主延伸平面地走向并且布置在進入開口的基本上垂直于主延伸平面構造的區域的面向第一腔的一側上。
由DE 10 2015 224 506 A1已知用于制造微機械構件的方法，該微機械構件具有襯底和與襯底連接的并且與襯底圍成第一腔的罩，其中，在第一腔中存在第一壓力并且圍入具有第一化學組分的第一氣體混合物，其中，
-在第一方法步驟中，使第一腔與微機械構件的環境連接的進入開口構造在襯底或罩中，其中，
-在第二方法步驟中，在第一腔中調設出第一壓力和/或第一化學組分，其中，
-在第三方法步驟中，借助于激光通過將能量或熱量引入到襯底或罩的吸收部分中來封閉進入開口，其中，在第三方法步驟之前引入到第一腔中的吸氣劑借助于通過激光產生的激光輻射在第三方法步驟期間至少部分地激活。
發明內容
本發明在實施方式中提供一種用于封閉MEMS元件的柔性膜片中的開口的方法，所述方法包括以下步驟：
-在柔性膜片中提供至少一個開口，
-將封閉材料布置在所述至少一個開口的區域中，
-至少使施加在所述至少一個開口的區域中的封閉材料熔化并且隨后使所熔化的材料冷卻來封閉所述至少一個開口。
本發明在另外的實施方式中提供一種具有柔性膜片的MEMS元件，該膜片具有至少一個開口，所述開口通過施加在所述至少一個開口的區域中的封閉材料的熔化和所熔化的封閉材料的隨后的冷卻來封閉。
由此實現的一個優點是，由此能夠實現具有限定的內壓力的MEMS元件的柔性膜片的封閉。另一優點是，開口在其幾何構型方面較少地受限制并且即使這樣能夠實現可靠的封閉。另一優點是，在封閉所述開口時能夠使較少的顆粒達到可能通過柔性膜片限定的腔中。此外，開口能夠以靈活的方式可靠地并且成本有利地封閉。
本發明的另外的特征、優點和另外的實施方式在下面描述或者可以由此公開：
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