[發明專利]用于封閉MEMS元件的柔性膜片中的開口的方法

在審

• 申請號: 201880088165.5
• 申請日: 2018-12-20
• 公開（公告）號: CN111655608A
• 公開（公告）日: 2020-09-11
• 發明（設計）人: C·赫爾梅斯;J·布茨;B·格爾
• 申請（專利權）人: 羅伯特·博世有限公司
• 主分類號: B81C1/00
• 分類號: B81C1/00
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 侯鳴慧

1.用于封閉在MEMS元件(1)的柔性膜片(2)中的開口(6)的方法，所述方法包括以下步驟：

-提供在所述柔性膜片(2)中的至少一個開口(6)，

-將封閉材料(8)布置在所述至少一個開口(6)的區域中，

-至少使施加在所述至少一個開口(6)的區域中的所述封閉材料(8)熔化并且隨后使熔化的材料(8)冷卻以用于封閉所述至少一個開口(6)。

2.根據權利要求1所述的方法，其中，尤其在所述至少一個開口(6)的區域中借助于離心涂覆和/或借助于噴射方法和/或借助于晶片的鍵合實現所述封閉材料(8)的施加。

3.根據權利要求1-2中任一項所述的方法，其中，所述熔化借助于激光射束(9、9a、9b、9b‘、9c)實現。

4.根據權利要求1-3中任一項所述的方法，其中，除了施加的所述封閉材料(8)的熔化之外附加地，使所述至少一個開口(6)的區域中的所述柔性膜片(2)的材料熔化。

5.根據權利要求1-4中任一項所述的方法，其中，借助于激光射束(9、9a、9b、9b‘、9c)使所述封閉材料(8)運動到所述至少一個開口(6)的區域中。

6.根據權利要求1-5中任一項所述的方法，其中，至少部分地提供呈膜片材料的形式的所述封閉材料(8)。

7.根據權利要求6所述的方法，其中，通過剝除所述柔性膜片的膜片材料提供所述封閉材料(8)。

8.根據權利要求1-7中任一項所述的方法，其中，借助于光學裝置提供呈空心環(9b、9b‘)或空心橢圓(9c)的形式的所述激光射束(9、9a、9b、9b‘、9c)。

9.根據權利要求1-8中任一項所述的方法，其中，提供在其功率方面和/或在至少一個直徑(30)方面有規律地變動的所述激光射束(9、9a、9b、9b‘、9c)。

10.根據權利要求1-9中任一項所述的方法，其中，所述激光射束(9、9a、9b、9b‘、9c)和所述柔性膜片(2)的平面相對彼此傾斜地布置。

11.根據權利要求1-10中任一項所述的方法，其中，至少部分地借助于所述柔性膜片形成腔并且所述至少一個開口(6)構造為通向所述腔(10)的入口并且通過所述至少一個開口(6)的封閉將限定的壓力圍入所述腔(10)中。

12.具有柔性膜片(2)的MEMS元件(1)，該柔性膜片具有至少一個開口(6)，該開口通過施加在所述至少一個開口(6)的區域中的封閉材料(8)的熔化和熔化的所述封閉材料(8)的隨后的冷卻而封閉。

13.根據權利要求12所述的MEMS元件，其中，在所述柔性膜片(2)下方、尤其在腔(10)的內表面上布置有抗粘附材料。