[發明專利]顯示裝置

有效

• 申請號: 201880086103.0
• 申請日: 2018-12-04
• 公開（公告）號: CN111587453B
• 公開（公告）日: 2023-04-04
• 發明（設計）人: 花田明纮;伊藤友幸
• 申請（專利權）人: 株式會社日本顯示器
• 主分類號: G09F9/30
• 分類號: G09F9/30;G02F1/1368;H01L21/336;H01L29/786;H10K59/12;H05B33/02
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 牛玉婷

本發明的課題為，在使用了聚酰亞胺基板的顯示裝置中，抑制由基板帶電引起的TFT的特性變動。本發明的概要為一種顯示裝置，在由樹脂形成的基板(100)的一面，存在由氧化物半導體(107)形成的第一TFT與由第一多晶硅(102)形成的第二TFT，其特征在于，所述第一TFT與所述第二TFT形成于俯視觀察時不同的部位，所述第二TFT與所述第一TFT相比，形成為在剖視觀察時更靠近所述基板(100)，所述氧化物半導體(107)具有溝道長度與溝道寬度，在所述氧化物半導體(107)與所述基板(100)之間存在第二多晶硅(50)，該第二多晶硅(50)由與所述第一多晶硅(102)相同的材料形成，并形成在與形成有所述第一多晶硅(100)的層相同的層之上。

技術領域

本發明涉及顯示裝置，特別是涉及能夠使基板彎曲的柔性顯示裝置。

背景技術

有機EL顯示裝置、液晶顯示裝置能夠通過使顯示裝置減薄從而使其柔性地彎曲而使用。在該情況下，由薄的玻璃或者薄的樹脂形成用于形成元件的基板。

在有機EL顯示裝置中，通過由TFT(Thin?Film?Transistor，薄膜晶體管)構成的驅動晶體管來驅動有機發光層。當噪聲侵入驅動晶體管時，驅動晶體管的閾值發生變化，不再能夠再現準確的亮度。

在引用文獻1中，記載了在使用頂柵型的TFT形成了驅動晶體管的有機EL顯示裝置中，為了抑制由來自外部的噪聲引起的驅動晶體管的閾值的變動，在比TFT靠下層處使用屏蔽用的金屬薄膜。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2017－505457號公報

發明內容

發明要解決的課題

若由聚酰亞胺等樹脂形成有機EL顯示裝置的基板，則能夠形成柔性的有機EL顯示裝置。但是，可知在使用了樹脂的基板中，與玻璃基板的情況相比，在使有機EL顯示裝置長時間動作的情況下，產生亮度變動。認為該亮度變動是由于長時間動作而在樹脂基板內產生電荷的分布，且驅動晶體管附近的樹脂的帶電對驅動晶體管的特性產生影響的結果。

由氧化物半導體構成的TFT具有漏電流較小的特征。因而，能夠進行低頻驅動，能夠實現消耗電力的降低。但是，由氧化物半導體構成的TFT還存在容易受到基板等上有機的固定電荷所帶來的影響的問題。

另外，在將使用了氧化物半導體的TFT用于液晶顯示裝置那樣的情況下，容易受到來自背光燈的影響。因而，需要設置遮光層。

由低溫多晶硅(以后稱作LTPS(Low?Temperature?Poly－Silicon)構成的TFT具有漏電流相對較大，但遷移率較高的特性。因而，將使用了LTPS的TFT用于掃描線驅動電路等周邊驅動電路、將使用了氧化物半導體的TFT用作像素區域的驅動晶體管或者開關晶體管是合理的。將這種結構稱為混合構造。在本說明書中，作為多晶硅以低溫多晶硅的情況進行說明，但對于其他多晶硅的情況也相同。

在混合構造中，使用了LTPS的TFT與使用了氧化物半導體的TFT由連續的工序制造。在該情況下，對于兩種TFT，需要采用考慮了減輕帶電的影響、來自背光燈的遮光等的結構。

本發明的課題在于，實現在使用了樹脂基板的情況下的、抑制基板的帶電所帶來的影響的結構、抑制外部光對TFT的影響的結構、以及在混合構造中能夠合理地解決這些問題的結構。

用來解決課題的手段

本發明克服了上述課題，代表性的手段如下。