[發(fā)明專利]氣體吹掃用端口

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201880086095.X
• 申請日: 2018-02-19
• 公開（公告）號: CN111587480A
• 公開（公告）日: 2020-08-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 松鳥千明;西坂幸一
• 申請（專利權(quán)）人: 未來兒股份有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673;B65D85/86;F16K15/08
• 代理公司: 北京信慧永光知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11290
• 代理人: 崔迎賓;李雪春

本發(fā)明提供氣體吹掃用端口，其安裝于收納容器，所述收納容器通過在一端部具有容器主體開口部的容器主體和相對于容器主體開口部可裝拆且能夠封閉容器主體開口部的蓋體在內(nèi)部形成收納空間，所述氣體吹掃用端口具備密封面(852)，所述密封面(852)設(shè)置在通氣通道形成部(831)以及、氣體吹掃用端口的通氣通道形成部(831)和所述止回閥部件以外的部分(85)中的至少一方上，與氣體注入端口貼緊，在密封面(852)具備貼緊墊，所述貼緊墊用于防止氣體注入端口和密封面(852)之間的氣體泄漏且由彈性體構(gòu)成。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及用于收納、保管、搬運(yùn)和運(yùn)輸由半導(dǎo)體晶片等構(gòu)成的基板等時所使用的收納容器的氣體吹掃(gas purge)用端口(port)。

背景技術(shù)

作為用于收納由半導(dǎo)體晶片構(gòu)成的基板并在工廠內(nèi)的工序以及通過陸運(yùn)手段、空運(yùn)手段、海運(yùn)手段等運(yùn)輸手段運(yùn)輸、搬運(yùn)基板的收納容器，具備容器主體和蓋體的結(jié)構(gòu)，以往以來已為公眾所知。

容器主體具有在一端部形成有容器主體開口部、另一端部被封閉的筒狀的壁部。蓋體相對于容器主體開口部可裝拆，能夠封閉容器主體開口部。通過用蓋體封閉容器主體，在收納容器內(nèi)形成收納基板等的收納空間。收納空間通過由容器主體的壁部和蓋體的內(nèi)表面包圍而形成，能夠收納多個基板。

在作為蓋體的一部分的、封閉容器主體開口部時與收納空間相對的部分設(shè)置有前部保持構(gòu)件。在用蓋體封閉容器主體開口部時，前部保持構(gòu)件能夠支承多個基板的邊緣部。另外，后側(cè)基板支承部以與前部保持構(gòu)件成對的方式設(shè)置于壁部。后側(cè)基板支承部能夠支承多個基板的邊緣部。當(dāng)用蓋體封閉容器主體開口部時，后側(cè)基板支承部與前部保持構(gòu)件協(xié)同動作支承多個基板，由此在以規(guī)定的間隔使相鄰的基板彼此分開排列的狀態(tài)下保持多個基板(參照專利文獻(xiàn)1、專利文獻(xiàn)2)。

另外，在容器主體以及蓋上設(shè)置有過濾器。根據(jù)需要，在過濾器內(nèi)部設(shè)置有止回閥。通過過濾器，利用氮?dú)獾炔换顫姎怏w或者除去了水分(使水分成為1％以下)的干燥空氣(以下稱為吹掃氣體(purge gas))，從收納容器的外部對收納空間進(jìn)行氣體吹掃。止回閥防止通過氣體吹掃填充到收納空間內(nèi)的氣體漏出(參照專利文獻(xiàn)3)。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本專利公報特許第4204302號

專利文獻(xiàn)2：日本專利公報特許第4201583號

專利文獻(xiàn)3：日本專利公報特許第5241607號

近年，要求半導(dǎo)體工藝的微小化和提高半導(dǎo)體芯片的成品率。因此，對收納半導(dǎo)體晶片的收納容器也要求將來自構(gòu)成收納容器的材質(zhì)的有機(jī)氣體和氯氣等釋放氣體(outgas)、金屬成分、容器內(nèi)部的濕度降低到極限。

因此，利用吹掃氣體進(jìn)行氣體吹掃，但是由于吹掃氣體通過設(shè)置有金屬制彈簧的止回閥部件中的通氣空間，所以存在如下的問題：金屬制彈簧所含的金屬成分混入吹掃氣體中，另外也擔(dān)心金屬由于腐蝕而脫落，導(dǎo)致顆粒附著，不能將收納容器的內(nèi)部的環(huán)境保持為潔凈狀態(tài)。由于該問題，存在半導(dǎo)體芯片的成品率降低這樣的問題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明目的在于提供能夠用吹掃氣體有效地置換收納容器的收納空間內(nèi)的氣體并且能夠維持收納容器內(nèi)部的潔凈度的氣體吹掃用端口。