[發明專利]維持恒壓的液體供給裝置

有效

• 申請號: 201880083003.2
• 申請日: 2018-11-08
• 公開（公告）號: CN111656503B
• 公開（公告）日: 2023-08-04
• 發明（設計）人: 李連范;林澤圭;林根福;趙皓峻;金圣洙;安哲秀;金哲泳;楊承和
• 申請（專利權）人: 先技高科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 北京知聯天下知識產權代理事務所(普通合伙) 11594
• 代理人: 張陸軍;張迎新

本發明公開一種維持恒壓的液體供給裝置及利用其的液體供給方法,在用于容納以可變的液體供給壓力供給的液體的容器(vessel)中，設置主氮氣供給部件和壓力微調用氮氣加壓部件，并對容器內部的壓力進行實時監視來控制操作，從而使最終供給端維持一定的恒壓，能夠十分穩定地供給藥品，而且具有經濟性。在維持恒壓的液體供給裝置(100)的容器(vessel)(10)中容納有用于持續地維持一定壓力的液體，通過主液體供給部件(20)向所述容器(10)供給適量的用于維持一定壓力的液體，并且通過第一加壓部件(30)向所述容器(10)供給用于維持一定恒壓的主氮氣，而且通過第二加壓部件(40)進一步供給或者排出氮氣以微調液體的供給壓力和主氮氣的恒壓間的壓差，并通過水位傳感器(60)感知所述容器(10)內的液體水位，通過輸出端壓力維持部件(70)使從所述容器(10)排出的液體的排出壓力維持一定。

技術領域

本發明涉及維持恒壓的液體供給裝置及利用其的液體供給方法，更具體地，涉及一種維持恒壓的液體供給裝置，在用于容納以可變的液體供給壓力供給的液體的容器(vessel)中，設置主氮氣供給部件和壓力微調用氮氣加壓部件，并對容器內部的壓力進行實時監視來控制操作，從而使最終供給端維持一定的恒壓，能夠十分穩定地供給藥品，而且可提高設備的運行率并增加生產量及提高質量，因此具有經濟性。

背景技術

在半導體、LCD等各種產業生產線上，液體供給裝置在材料供給壓力不穩定、過高時，為了使供給壓力穩定且為了通過減壓效果來實現精確的分配作業，組合使用除抽送裝置以外的壓力調壓器、壓差式流量計及各種傳感器。

液體壓力調壓器作為通過對從泵中高壓吐出的液體進行減壓并以適當的壓力供給到Pro-Pump并吐出，而且在液體的供給壓力(Inlet?Pressure)以各種方式變化的情況下可維持一定出口壓力(Outlet?Pressure)的裝置，是為了使大量設備穩定地運行所必備的設備。優選地，使用者應該選擇最適合作業的壓力調壓器產品，此時重要的考量內容包括種類、材質、入口及出口的壓力、流量條件、溫度、壓力、大小、其他限制條件等。

壓差式流量計結構簡單且可應用于液體、氣體、蒸汽中的任意一個，而且壓差式流量計很久以前就作為工業用流量計被廣為使用。壓差式流量計的基本結構包括縮窄機構及壓差檢測儀，如果在流體流動的管道中間設置縮窄機構并使流體的通過面積變窄，則基于縮窄機構上產生的阻力，其前后產生壓力差，在該壓力差，即壓差和流量之間存在可用伯努利原理(Bernoulli′s?Principle)表達的一定的關系式。利用該原理的便是壓差式流量計。生成壓差的傳感器中具有代表性的包括文丘里管、孔口、流量噴嘴V-Cone等，所述壓差檢測儀根據傳送方式、測量原理可大體分為氣式、電式、光式，目前主流為電式。

此外，如前面所述的現有的液體供給裝置是主要由主供給管直接供給液體的方式，由于主液體供給的升壓、減壓等壓力變化或者將多個設備同時連接到主管道并使用時的主供給壓力的變化，因此經常發生液體供給量不規則的變化，從而在液體供給和后續工藝的質量方面頻繁發生問題。

此外，在選擇用于構成現有的液體供給裝置的流量計類型時，頻繁地嘗試使用更廉價的設備從而與該設備的水平進匹配，而不選擇功能良好的傳感器，因此由于誤測引起的維護或者替換費用導致發生費用增加的問題。尤其，電子流量計雖然是在液體移動時通過電磁感應定律產生的電動勢來測量流量和流速的相對可靠性高的流量計，但是價格為幾千萬元(韓元)左右，價格昂貴,因此導致經濟性下降。

因此，需要急需研發一種能夠解決現有的液體供給裝置中存在的問題且通過以一定的恒壓維持出口壓力來實現穩定的藥品供給并具有經濟性的相關設備。

發明內容

【技術問題】