[發(fā)明專利]維持恒壓的液體供給裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201880083003.2
• 申請日: 2018-11-08
• 公開（公告）號: CN111656503B
• 公開（公告）日: 2023-08-04
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李連范;林澤圭;林根福;趙皓峻;金圣洙;安哲秀;金哲泳;楊承和
• 申請（專利權(quán)）人: 先技高科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 北京知聯(lián)天下知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11594
• 代理人: 張陸軍;張迎新

1.一種維持恒壓的液體供給裝置，其特征在于，所述維持恒壓的液體供給裝置(100)包括：

容器(10)，其用于容納持續(xù)地維持一定壓力的液體；

主液體供給部件(20)，其與所述容器(10)流體連接，而且用于向所述容器(10)供給適量的用于維持一定壓力的液體；

第一加壓部件(30)，其與所述容器(10)流體連接，而且用于向所述容器(10)供給用于維持一定恒壓的主氮?dú)猓?/p>

第二加壓部件(40)，其與所述容器(10)流體連接，而且為了微調(diào)所述液體的供給壓力和所述主氮?dú)獾暮銐洪g的壓差，通過進(jìn)一步供給或者排出氮?dú)馐顾鋈萜?10)內(nèi)的壓力維持一定；

水位傳感器(60)，其設(shè)置于所述容器(10)上且用于感知所述容器(10)內(nèi)液體的水位；

輸出端壓力維持部件(70)，其用于使從所述容器(10)排出的液體的排出壓力維持一定；以及

控制裝置(80)，其用于控制所述維持恒壓的液體供給裝置(100)的整體操作；

所述第二加壓部件(40)包括：第三泵(42)，其用于向所述容器(10)內(nèi)抽送用于微調(diào)壓力的氮?dú)猓坏獨(dú)夤┙o用自動閥(44)，其設(shè)置在所述第三泵(42)與所述容器(10)之間的第三管道(41)上；第四泵(48)，其用于排出供給到所述容器(10)內(nèi)的部分氮?dú)猓灰约暗獨(dú)馀懦鲇米詣娱y(46)，其設(shè)置于在所述第四泵(48)與所述容器(10)之間延伸的第四管道(45)上。

2.如權(quán)利要求1所述的維持恒壓的液體供給裝置，其特征在于，

還包括防過壓排氣部件(50)，當(dāng)在所述容器(10)內(nèi)感知到異常過壓時將氮?dú)鈴乃鋈萜?10)強(qiáng)制地排出到外部。

3.如權(quán)利要求1所述的維持恒壓的液體供給裝置，其特征在于，

所述主液體供給部件(20)包括用于向所述容器(10)內(nèi)抽送用于維持一定壓力的液體的第一泵(22)、設(shè)置于在所述第一泵(22)與所述容器(10)之間延伸的第一管道(21)上的主液體輸入端自動閥(24)和主液體輸入端壓力傳感器(26)。

4.如權(quán)利要求1所述的維持恒壓的液體供給裝置，其特征在于，

所述第一加壓部件(30)包括：第二泵(32)，其用于向所述容器(10)內(nèi)抽送用于維持一定恒壓的氮?dú)猓灰约爸鞯獨(dú)鈮毫鞲衅?36)，其設(shè)置于在所述第二泵(32)與所述容器(10)之間延伸的第二管道(31)上。

5.如權(quán)利要求1所述的維持恒壓的液體供給裝置，其特征在于，

所述輸出端壓力維持部件(70)包括用于將從所述容器(10)排出的液體供給到所需位置而進(jìn)行抽送操作的第五泵(72)、設(shè)置于在所述第五泵(72)與所述容器(10)之間延伸的第五管道(71)上的累計流量計(73)、輸出端自動閥(74)、調(diào)壓器(75)以及輸出端壓力傳感器(76)。