[發明專利]壓力梯度泵

有效

• 申請號: 201880079969.9
• 申請日: 2018-12-10
• 公開（公告）號: CN111433459B
• 公開（公告）日: 2022-07-08
• 發明（設計）人: M.H.R.蒂爾利;J.C.朗格貝格;M.E.達爾格蒂
• 申請（專利權）人: 愛德華茲真空泵有限責任公司
• 主分類號: F04B41/06
• 分類號: F04B41/06;F04B23/04;F04B39/12;F04B37/02;F04B37/14;H01J41/20
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 董均華;劉茜

設備（1300）包括第一泵模塊（1304）、第二泵模塊（1302）和密封盤（1310）。第一泵模塊（1304）包括具有第一開口的第一凸緣、具有第二開口的第二凸緣（1322）和至少一個第一泵（1309）。第二泵模塊（1302）包括具有第三開口的第三凸緣（1320）、具有第四開口的第四凸緣和至少一個第二泵（1306）。密封盤（1310）定位在第二凸緣（1322）和第三凸緣（1320）之間，并且與第二凸緣（1322）和第三凸緣（1320）密封接觸，并且具有盤開口，所述盤開口具有的截面面積小于第二凸緣（1322）中的第二開口的截面面積，并且小于第三凸緣（1320）中的第三開口的截面面積，其中，盤開口與第一開口、第二開口、第三開口和第四開口對準。

背景技術

在顆粒加速器中，顆粒沿著排出路徑加速。通常，路徑的一個部分維持處于比路徑的另一部分更高的壓力，諸如，10^-7mbar，所述另一部分維持處于更低的壓力，諸如，10^-9 mbar至10^-10 mbar的范圍中的超高真空。為了實現此壓差，已研發了直列式（inline）壓力梯度泵，所述直列式壓力梯度泵為加速顆粒提供暢通路徑，同時還提供橫跨泵的壓降。為此，梯度泵在泵腔室的入口和出口處使用節流閥。這些節流閥具有與顆粒路徑對準的小開口，所述開口限制了氣體進入和離開泵腔室的能力。在泵腔室中的離子泵元件捕獲穿過入口節流閥的氣體中的一些，因此降低泵腔室中的壓力。所選擇的泵元件的泵送速度與通過節流閥的氣體傳導的良好平衡比導致在泵主體內在泵入口和出口凸緣之間的壓差。

如果所選擇的泵送元件的最大泵送速度不足以獲得期望壓差，則多個直列式泵可串聯連接在一起，以實現期望壓差。

上文的討論僅被提供用于總體背景技術信息，并且不旨在用于幫助確定所要求主題的范圍。所要求主題不限于解決在背景技術中提出的任何或全部缺點的實施方式。

發明內容

設備包括第一泵模塊、第二泵模塊和密封盤。第一泵模塊包括具有第一開口的第一凸緣、具有第二開口的第二凸緣和至少一個第一泵。第二泵模塊包括具有第三開口的第三凸緣、具有第四開口的第四凸緣和至少一個第二泵。密封盤定位在第二凸緣和第三凸緣之間，并且與第二凸緣和第三凸緣密封接觸，并且具有盤開口，所述盤開口具有的截面面積小于第二凸緣中的第二開口的截面面積，并且小于第三凸緣中的第三開口的截面面積，其中，盤開口與第一開口、第二開口、第三開口和第四開口對準。

在其它實施例中，設備包括導管，所述導管具有：第一端部，具有圍繞第一開口的第一凸緣；第二端部，具有圍繞第二開口的第二凸緣；以及主體，在第一端部和第二端部之間，具有第三開口，所述第三開口與第一開口和第二開口呈分子流動連通。第一開口具有第一截面面積，并且第二開口具有第二截面面積。離子泵與第三開口呈分子流動連通。第一密封盤具有：第一表面，提供與第一凸緣的密封接觸；第二表面，面向與第一表面相對；以及開口，在第一表面和第二表面之間延伸，并且具有的截面面積小于第一截面面積。第二密封盤具有：第一表面，提供與第二凸緣的密封接觸；第二表面，面向與第二密封盤的第一表面相對；以及開口，在第二密封盤的第一表面和第二密封盤的第二表面之間延伸，并且具有的截面面積小于第二截面面積。

在又一實施例中，設備包括容納第一泵送單元的第一殼體和容納第二泵送單元的第二殼體。第一凸緣從第一殼體延伸，并且第二凸緣從第二殼體延伸，并且固定到第一凸緣。第一導體端口和第二導體端口從第一殼體延伸，并且第三導體端口和第四導體端口從第二殼體延伸。導體從第二導體端口延伸到第三導體端口。

提供此發明內容，以呈簡化形式介紹構思的選擇，下文在具體實施方式中進一步描述了所述構思。此發明內容不旨在標識所要求主題的關鍵特征或實質性特征，也不旨在用于幫助確定所要求主題的范圍。

附圖說明

圖1是根據一個實施例的單級壓力梯度泵的部分分解左透視圖。

圖2是圖1的泵的右透視圖。

圖3是圖1的泵的俯視圖。