[發明專利]壓力梯度泵

有效

• 申請號: 201880079969.9
• 申請日: 2018-12-10
• 公開（公告）號: CN111433459B
• 公開（公告）日: 2022-07-08
• 發明（設計）人: M.H.R.蒂爾利;J.C.朗格貝格;M.E.達爾格蒂
• 申請（專利權）人: 愛德華茲真空泵有限責任公司
• 主分類號: F04B41/06
• 分類號: F04B41/06;F04B23/04;F04B39/12;F04B37/02;F04B37/14;H01J41/20
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 董均華;劉茜

1.用于在第一開口和第二開口之間提供壓力梯度的設備，所述設備包括：

第一導管，第一導管包括：第一端部，具有圍繞第一開口的第一凸緣；第二端部，具有圍繞第二開口的第二凸緣；以及主體，在所述第一端部和所述第二端部之間，具有第三開口，所述第三開口與所述第一開口和所述第二開口呈分子流動連通；其中，所述第一開口具有第一截面面積，并且所述第二開口具有第二截面面積；

泵送單元，與所述第三開口呈分子流動連通；

第一節流閥，用于控制所述壓力梯度，所述第一節流閥包括：

第一密封盤，第一密封盤具有：

第一表面，提供與所述第一凸緣的密封接觸；

第二表面，面向與所述第一表面相對；以及

第一盤開口，在所述第一表面和所述第二表面之間延伸，并且具有的截面面積小于所述第一截面面積；其中

第一盤開口與第一開口和第二開口對齊。

2.根據權利要求1所述的設備，所述設備還包括第二節流閥，所述第二節流閥包括第二密封盤，第二密封盤具有：

第一表面，提供與所述第二凸緣的密封接觸；

第二表面，面向與所述第二密封盤的所述第一表面相對；以及

第二盤開口，在所述第二密封盤的所述第一表面和所述第二密封盤的所述第二表面之間延伸，并且具有的截面面積小于所述第二截面面積。

3.根據權利要求1所述的設備，還包括第二導管，所述第二導管包括第三凸緣，所述第三凸緣與所述第一密封盤的所述第二表面密封接觸。

4.根據權利要求3所述的設備，其中，所述第二導管還包括：第一端部，其中，所述第三凸緣圍繞所述第二導管中的第一開口；第二端部，第二端部具有圍繞所述第二導管中的第二開口的第四凸緣；以及主體，主體在所述第二導管的所述第一端部和所述第二端部之間，并且具有第三開口，所述第二導管的所述第三開口與所述第二導管的所述第一開口和所述第二開口呈分子流動連通。

5.根據權利要求4所述的設備，還包括第二泵送單元，所述第二泵送單元與所述第二導管中的所述第三開口呈分子流動連通。

6.根據權利要求5所述的設備，還包括：

第一電氣端口和第二電氣端口，連接到所述泵送單元；

第三電氣端口和第四電氣端口，連接到所述第二泵送單元；以及

外部導體，連接在所述第二電氣端口和所述第三電氣端口之間。

7.根據權利要求6所述的設備，其中，所述第一導管的所述主體還包括第四開口、第五開口和第六開口，每個與所述第一導管的所述第一開口和所述第二開口呈分子流動連通，以及其中，所述設備還包括：第三泵送單元，與所述第四開口呈分子流動連通；第四泵送單元，與所述第五開口呈分子流動連通；以及第五泵送單元，與所述第六開口呈分子流動連通；以及其中，所述第三泵送單元、所述第四泵送單元和所述第五泵送單元全部連接到所述第一電氣端口和所述第二電氣端口。

8.根據權利要求3至7中任一項所述的設備，其中，所述第一凸緣和所述第三凸緣由在所述第一密封盤的外部的緊固件連接在一起。

9.根據權利要求8所述的設備，其中，所述緊固件是可釋放的，使得當所述緊固件被釋放時，所述密封盤自由地從所述第二凸緣和所述第三凸緣之間被移除。

10.根據權利要求1至7中任一項所述的設備，其中，存在有從所述泵送單元到所述第一導管的第三開口的線性路徑。