[發明專利]檢查插入于基板的多個引腳的插入狀態的方法及基板檢查裝置

有效

• 申請號: 201880078897.6
• 申請日: 2018-12-28
• 公開（公告）號: CN111480088B
• 公開（公告）日: 2022-05-27
• 發明（設計）人: 具大成;林祐永;金龍
• 申請（專利權）人: 株式會社高迎科技
• 主分類號: G01R31/68
• 分類號: G01R31/68;H05K1/02
• 代理公司: 北京青松知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 11384
• 代理人: 鄭青松

1.一種基板檢查裝置，所述基板檢查裝置檢查插入于基板的多個引腳的插入狀態，包括：

通信電路，所述通信電路與在基板插入引腳的引腳插入裝置進行通信；

多個光源，所述多個光源向通過所述引腳插入裝置而插入了多個第一引腳的第一基板照射圖案光；

圖像傳感器，所述圖像傳感器接收從所述多個第一引腳分別反射的圖案光；

一個以上的存儲器，所述存儲器存儲表示針對所述多個第一引腳分別設置的基準高度和基準位置的引腳插入基準信息；及

一個以上的處理器；

所述一個以上的處理器，

利用通過所述圖像傳感器而接收的從所述多個第一引腳分別反射的圖案光，生成所述多個第一引腳各自的三維圖像，

利用所述三維圖像，生成表示所述多個第一引腳各自的引腳插入狀態的引腳插入狀態信息，

利用所述引腳插入基準信息及所述多個第一引腳的各個引腳插入狀態信息中至少一者，在所述多個第一引腳中檢測發生插入不良的至少一個第二引腳，

基于所述至少一個第二引腳的引腳插入狀態信息，生成用于調整所述引腳插入裝置的多個工藝參數中的至少一個第一工藝參數的控制信號，控制所述通信電路，以使將所述控制信號發送給所述引腳插入裝置。

2.根據權利要求1所述的基板檢查裝置，其中，

所述引腳插入狀態信息包括表示引腳尖端高度的信息、表示引腳臺肩高度的信息、表示引腳尖端位置的信息及表示引腳插入位置的信息。

3.根據權利要求1所述的基板檢查裝置，其中，

所述多個工藝參數包括用于調整引腳插入力的工藝參數、用于調整引腳插入位置的工藝參數、用于調整引腳插入速度的工藝參數、用于調整引腳插入所利用的引腳插入頭的移動速度的工藝參數及用于調整鐵砧的位置的工藝參數。

4.根據權利要求1所述的基板檢查裝置，其中，

所述一個以上的處理器，

基于所述引腳插入基準信息，確認所述多個第一引腳各自的基準位置，基于所述引腳插入狀態信息，確認所述多個第一引腳各自的引腳插入位置，

算出所述多個第一引腳各自的基準位置與引腳插入位置的差異，

如果在所述多個第一引腳中檢測到所述算出的差異為預先設置的第一臨界值以上的至少一個引腳，則將所述檢測到的至少一個引腳檢測為發生插入不良的所述至少一個第二引腳。

5.根據權利要求4所述的基板檢查裝置，其中，

所述一個以上的處理器，

將所述多個工藝參數中為了調整所述至少一個第二引腳的基準位置與引腳插入位置的差異而能夠利用的至少一個工藝參數決定為所述至少一個第一工藝參數，

生成用于調整所述至少一個第一工藝參數的控制信號，以使所述至少一個第二引腳的插入位置與所述至少一個第二引腳的基準位置的引腳插入位置差異不足所述第一臨界值。

6.根據權利要求1所述的基板檢查裝置，其中，

所述一個以上的處理器，

算出基于所述引腳插入狀態信息而確認的所述多個第一引腳各自的引腳尖端位置與引腳插入位置的差異，

如果在所述多個第一引腳中檢測到所述算出的差異為預先設置的第二臨界值以上的至少一個引腳，則將所述檢測到的至少一個引腳檢測為發生插入不良的所述至少一個第二引腳。

7.根據權利要求6所述的基板檢查裝置，其中，

所述一個以上的處理器，

將所述多個工藝參數中為了調整所述至少一個第二引腳的引腳尖端位置與引腳插入位置的差異而能夠利用的至少一個工藝參數決定為所述至少一個第一工藝參數，

生成用于調整所述至少一個第一工藝參數的控制信號，以使所述至少一個第二引腳的引腳尖端位置與引腳插入位置的差異不足所述第二臨界值。